一种大腔体、多功能化学气相沉积设备及使用方法技术

本发明专利技术提供一种大腔体、多功能化学气相沉积设备及使用方法，包括设备本体、基材传输系统、热丝组件、可升降系统、视镜系统、载物台、气体供给系统、尾气处理系统；设备本体包括并列设置的至少两个腔体和设置在腔体之间使相邻的两个腔体连通的隔板，所有的腔体共用气体供给系统和尾气处理系统。本发明专利技术通过设置在腔体中间的隔板的开合，将多个腔体连动，沉积时间较长时，可以使各个腔体同时进行沉积，工艺条件和顺序复杂时，沉积工艺可以在多腔体中按照工艺顺序进行传递，并且采用共同的通用工程系统、配电系统、自动化系统、尾气和循环水处理系统，节省硬件投资和运行成本，实现大规模工业化，适用于同时沉积平面放置和垂直型放置的基材。材。材。

【技术实现步骤摘要】
一种大腔体、多功能化学气相沉积设备及使用方法


[0001]本专利技术设计化学
，具体涉及一种大腔体、多功能化学气相沉积设备及使用方法。

技术介绍

[0002]典型的化学气相沉积工艺是将基材暴露在一种或多种不同的前趋物下，在高温、等离子等反应条件下，让多种气相发生化学反应或/及化学分解，在基材表面产生被沉积的薄膜。相对于等离子技术，热丝法可制备大面积金刚石薄膜，且综合成本最低，具有良好的工业推广潜能。
[0003]目前市场上主流设备生产厂家的设备通常只有一个反应腔，不能同时进行多种工艺，由于沉积不同层次的薄、不同尺寸的膜时，气相的成分和流量不一样，所需的温度也不一样，这样当一种工艺完成后进行另一种工艺时，更改反应条件需要的时间较长，从而造成较高的成本，还会引起瑕疵，造成质量问题。例如，金刚石膜材料沉积时，所需的工作温度范围从1600摄氏度到2400摄氏度，反应压力在5
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100毫巴之间，反应的气相在氢气、甲烷、乙硼烷、氧气、氮气中形成不同的排列组合，适用于不同形态的膜，再加上热丝的使用寿命受到工艺和气相调整的影响很本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大腔体、多功能化学气相沉积设备，其特征在于：包括设备本体(1)，设置在所述设备本体(1)内部的基材传输系统(2)、热丝组件(3)、可升降系统(4)、视镜系统(5)，设置在所述基材传输系统(2)上部的载物台(6)，与所述设备本体(1)相连的气体供给系统(7)和设置在所述设备本体(1)外部的尾气处理系统(8)；所述设备本体(1)包括并列设置的至少两个腔体(1a)和设置在所述腔体(1a)之间使相邻的两个所述腔体(1a)连通的隔板(1b)，每个所述腔体(1a)的内部均设置所述基材传输系统(2)、所述热丝组件(3)、所述可升降系统(4)、所述视镜系统(5)，所有的所述腔体(1a)共用所述气体供给系统(6)和所述尾气处理系统(7)；所述热丝组件(3)包括设置在所述设备本体(1)内部的热丝支架(31)、固定在所述热丝支架(31)上的热丝本体(32)和设置在所述热丝本体(32)两端并与所述热丝本体(32)相连的电极(33)；所述视镜系统(5)设置在所述腔体(1a)的中部和下部，设置在所述腔体(1a)下部的所述视镜系统(5)与所述基材传输系统(2)平行；所述气体供给系统(7)包括依次设置在所述热丝组件(3)上部的气体分配系统(71)、预混合装置(72)，设置在所述腔体(1a)的外部并与所述预混合装置(72)依次相连的气体输入管道(73)、活性气体罐(74)和设置在所述腔体(1a)外部的真空泵(75)和输出管道(76)。2.根据权利要求1所述的一种大腔体、多功能化学气相沉积设备，其特征在于：所述腔体(1a)为双层腔体，所述双层腔体包括外壁和内壁；化学气相沉积设备还包括设置在所述外壁和所述内壁之间用于高温气相沉积时对所述腔体(1a)进行冷却的水冷系统(9)和与所述冷却水系统(9)相连用于循环净化冷却水的冷却水净化系统(10)。3.根据权利要求1所述的一种大腔体、多功能化学气相沉积设备，其特征在于：所述隔板(1b)为固定隔离板，所述隔板(1b)上设置可开合的窗口，所述基材传输系统(2)可穿过所述窗口。4.根据权利要求1所述的一种大腔体、多功能化学气相沉积设备，其特征在于：所述隔板(1b)为可升降隔板。5.根据权利要求1所述的一种大腔体、多功能化学气相沉积设备，其特征在于：所述基材传输系统(2)包括依次设置在全部所述载物台(6)底部的基板(21)、轨道(22)，设置在所述轨道(22)两侧的轨道固定器(23)，设置在所述轨道(22)底部的传动装置(24)和与所述传动装置(24)相连的控制系统(25)；...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢嘉，
申请(专利权)人：北京博纳晶科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：