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本发明提供一种大腔体、多功能化学气相沉积设备及使用方法，包括设备本体、基材传输系统、热丝组件、可升降系统、视镜系统、载物台、气体供给系统、尾气处理系统；设备本体包括并列设置的至少两个腔体和设置在腔体之间使相邻的两个腔体连通的隔板，所有的腔体...
该专利属于北京博纳晶科科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京博纳晶科科技有限公司授权不得商用。

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