一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及高频PCB集成电路板真空处理技术领域，具体公开了一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，包括真空溅射室、一端与真空溅射室连接的且沿其长方向设置有传输机构的输送通道、与输送通道另外一端连接的真空后处理室、安装在真空溅射室内的输送机构一、安装在真空后处理室内的输送机构二。本发明专利技术能够有效的避免元器件从真空溅射室转运到真空后处理室过程中接触氧气，避免其发生氧化。避免其发生氧化。避免其发生氧化。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置


[0001]本专利技术涉及高频PCB集成电路板真空处理
，更具体地讲，涉及一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置。

技术介绍

[0002]现有技术中的智能化涂覆装备无法有效的防止PCB板从涂敷真空溅射室转运到真空后处理室过程中接触氧气，极易造成PCB板涂覆层氧化，从而影响系统辐射距离和灵敏度。

技术实现思路

[0003]本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，能够有效的避免元器件从真空溅射室转运到真空后处理室过程中接触氧气，避免其发生氧化。
[0004]本专利技术解决技术问题所采用的解决方案是：
[0005]一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，包括真空溅射室、一端与真空溅射室连接的且沿其长方向设置有传输机构的输送通道、与输送通道另外一端连接的真空后处理室、安装在真空溅射室内的输送机构一、安装在真空后处理室内的输送机构二。
[0006]使用时，将元器件放置在真空溅射室内进行溅射涂敷；完成后，对于真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，包括真空溅射室、一端与真空溅射室连接的且沿其长方向设置有传输机构的输送通道、与输送通道另外一端连接的真空后处理室、安装在真空溅射室内的输送机构一、安装在真空后处理室内的输送机构二。2.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述输送机构一和输送机构二结构相同，包括置物输送带、与置物输送带连接且用于控制置物输送带靠近或远离传输机构的输送装置。3.根据权利要求2所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述输送装置包括沿输送通道长方向设置且安装在真空后处理室或真空后处理室内的导轨、与导轨滑动配合且用于安装置物输送带的输送组件。4.根据权利要求3所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述输送组件包括与导轨滑动配合且用于安装置物输送带的支撑架、与支撑架传动连接的横移组件。5.根据权利要求2所述的一种具有防护功能的腔室PECVD设备传动装置，其特征在于，所述置物输送带的顶面与...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏斌，张威，黄深荣，童杨，
申请(专利权)人：成都四威高科技产业园有限公司，
类型：发明
国别省市：