化学研磨剂和化学研磨方法技术

本发明专利技术提供一种新型的化学研磨剂和化学研磨方法。具体而言，提供一种化学研磨剂，其为包含(A)水、(B)碱金属盐、和(C)水溶性有机溶剂或具有4～9个羟基的糖醇的铝或铝合金用化学研磨剂，其中，上述碱金属盐相对于上述水的质量比(碱金属盐/水)为0.075以上。还提供一种化学研磨方法，其为铝或铝合金的化学研磨方法，包括将铝或铝合金浸渍在包含(A)水、(B)碱金属盐、和(C)水溶性有机溶剂或具有4～9个羟基的糖醇的铝或铝合金用化学研磨剂中的工序，其中，上述碱金属盐相对于上述水的质量比(碱金属盐/水)为0.075以上。属盐/水)为0.075以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】化学研磨剂和化学研磨方法


[0001]本专利技术涉及铝或铝合金用化学研磨剂和化学研磨方法。

技术介绍

[0002]铝或铝合金被加工而制造出各种各样的物品。由于铝等在表面形成有氧化覆膜，所以为了除去该氧化覆膜而实施蚀刻处理。作为铝或铝合金的化学研磨方法，使用含磷酸的酸性研磨剂的方法是主流(专利文献1、2)。
[0003]迄今为止，为了应对磷的排出限制的强化和提高化学研磨剂的性能，进行了不以磷酸为主体的化学研磨剂的开发，但其性能(化学研磨性、光亮处理性)并不令人满意(专利文献3～5)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2002－187398号公报
[0007]专利文献2：日本特公昭55－44116号公报
[0008]专利文献3：日本特公昭50－9732号公报
[0009]专利文献4：日本特公昭59－45756号公报
[0010]专利文献5：日本特公平5－30914号公报

技术实现思路

[0011]专利技术所要解决的技术问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种化学研磨剂，其特征在于：其为铝或铝合金用化学研磨剂，包含(A)水、(B)碱金属盐、和(C)水溶性有机溶剂或具有4～9个羟基的糖醇，所述碱金属盐相对于所述水的质量比(碱金属盐/水)为0.075以上。2.如权利要求1所述的化学研磨剂，其特征在于：所述化学研磨剂中，所述碱金属盐的浓度为30g/L以上。3.如权利要求1或2所述的化学研磨剂，其特征在于：所述水与所述水溶性有机溶剂的体积比(水:水溶性有机溶剂)为10:90～90:10。4.如权利要求1或2所述的化学研磨剂，其特征在于：所述化学研磨剂中，所述糖醇的浓度为100g/L以上。5.如权利要求1～4中任一项所述的化学研磨剂，其特征在于：所述碱金属盐为碱金属氢氧化物。6.如权利要求1～5中任一项所述的化学研磨剂，其特征在于：所述水溶性有机溶剂为选自具有1～4个羟基的水溶性有机溶剂和聚甘油中的1种以上。7.一种化学研磨方法，其特征在于：其为铝或铝合金的化学研磨...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口佑也，森口朋，原健二，田中克幸，
申请(专利权)人：奥野制药工业株式会社，
类型：发明
国别省市：