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化学研磨剂和化学研磨方法技术
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文档序号:34084852
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本发明提供一种新型的化学研磨剂和化学研磨方法。具体而言,提供一种化学研磨剂,其为包含(A)水、(B)碱金属盐、和(C)水溶性有机溶剂或具有4~9个羟基的糖醇的铝或铝合金用化学研磨剂,其中,上述碱金属盐相对于上述水的质量比(碱金属盐/水)为0...
该专利属于奥野制药工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过奥野制药工业株式会社授权不得商用。
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