【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及pr脉冲电解用镀铜液和利用pr脉冲电解法的镀铜方法。
技术介绍
1、专利文献1是本申请人公开的技术，公开了(1)一种包含选自烯烃类中的至少一种成分的用于pr脉冲电解法的镀铜液用添加剂；(2)一种利用pr脉冲电解法的电镀用酸性镀铜液，其将含有铜离子、以及选自有机酸和无机酸中的至少一种酸成分的酸性水溶液作为基本镀浴，且含有上述添加剂；(3)一种利用pr脉冲电解法的镀铜方法，在上述酸性镀铜液中，以被镀敷物作为阴极，通入pr脉冲电流进行电解镀铜。
2、在使用含有本申请人公开的技术的添加剂的电解镀铜液，利用pr脉冲电解法进行镀铜时，能够维持均匀电化学沉积性良好这样的pr电解镀铜液的优点，还能够提高所形成的镀敷覆膜的外观、覆膜物性、填充性等。而且，含有该添加剂的pr电解镀铜液在利用电解镀铜法进行过孔填充(via filling)、通孔填充(through hole filling)、通孔镀敷等时特别有用。
3、专利文献2公开了(1)一种含有叔胺化合物作为有效成分的脉冲镀铜浴用添加剂，该叔胺化合物是使环氧卤丙烷与...
【技术保护点】
1.一种PR脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
2.如权利要求1所述的PR脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
3.如权利要求1或2所述的PR脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
4.如权利要求1～3中任一项所述的PR脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
5.如权利要求1～4中任一项所述的PR脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
6.如权利要求1～5中任一项所述的PR脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
7.如权利要求1～6中任一项所述的PR脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
8.如权利要求1～7中任一项所述的PR脉冲电解...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种pr脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
2.如权利要求1所述的pr脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
3.如权利要求1或2所述的pr脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
4.如权利要求1～3中任一项所述的pr脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
5.如权利要求1～4中任一项所述的pr脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
6.如权利要求1～5中任一项所述的pr脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
7.如权利要求1～6中任一项所述的pr脉冲电解用镀铜液，其特征在于：
8.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：中亮太，吉川纯二，
申请(专利权)人：奥野制药工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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