薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器技术

本申请提供了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器，该薄膜体声波谐振器包括：基板和压电振荡结构；压电振荡结构包括依次形成于基板的顶表面之上的底部电极、压电薄膜层和顶部电极，底部电极被压电薄膜层覆盖，压电薄膜层开设有通孔，底部电极通过通孔内的导体引至压电薄膜层远离基板的顶表面；基板的顶表面设置有凹槽，凹槽内填充有导电块，导电块与底部电极接触，其中，通孔向基板的正投影位于凹槽所在的区域范围内，并且底部电极至少部分覆盖凹槽。本申请实施例提供的薄膜体声波谐振器，可以具有更高的可靠性。可以具有更高的可靠性。可以具有更高的可靠性。可以具有更高的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙成亮，邹杨，蔡耀，周杰，刘炎，高超，刘鹏，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：