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本申请提供了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器，该薄膜体声波谐振器包括：基板和压电振荡结构；压电振荡结构包括依次形成于基板的顶表面之上的底部电极、压电薄膜层和顶部电极，底部电极被压电薄膜层覆盖，压电薄膜层开设有通孔，底部电极通过通孔内...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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