带有构图声学反射镜的稳固安装的多谐振器体声波滤波器制造技术

一种制造多谐振器体声波（ＢＡＷ）滤波器的方法和用该方法制造的滤波器，具有用做用于多个谐振器部分的声学反射镜的多个材料层，每个谐振器至少包括夹住压电层的顶部电极和底部电极，该方法包括以下步骤：选择用于用做声学反射镜的某些材料层的绝缘材料和用于其它层的金属材料；通过制造工序提供至少一个金属层，利用刻蚀工艺将金属层构图成不同部分，刻蚀工艺充分去除在要放置不同谐振器的位置之间的金属层，以便在不同谐振器底部的层的不同部分之间提供电绝缘；与除了构图相同类型的声学反射镜的任何金属层的刻蚀步骤以外而用相同方式制造的多谐振器ＢＡＷ滤波器中存在的电容耦合相比，提供带有在谐振器之间的减少的电容耦合的多谐振器ＢＡＷ滤波器。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】专利技术的领域本专利技术涉及体声波谐振器。特别是，本专利技术涉及带有声学反射镜的多谐振器体声波滤波器。专利技术的背景薄膜体声波谐振器基于一层压电材料，如ZnO或AlN，并且在某些情况下包括声学反射镜。这种器件将声波转换成电信号，反之依然，并且因其频率与电抗有关而能用做电子电路中的滤波器。通常，声学反射镜是由不同声抗的材料层组合而成。声学反射镜通过淀积不同材料的各个层以便在衬底上形成不同材料的堆叠层而建立在例如玻璃衬底上。接着，在声学反射镜上淀积底部电极，然后在底部电极上淀积压电材料，形成所谓的压电层。最后，在压电层上淀积顶部电极。顶部和底部电极以及压电层的组合形成器件的所谓谐振器部分。声学反射镜用于根据施加于电极的电压反射由压电层产生的声波，由此使衬底与压电层隔离。包括声学反射镜的谐振器的例子公开于下列文章中“Developmentof Miniature Filters for Wireless Applications”IEEE Transactionson Microwave Theory and Techniques，Vol.43，No.12，December 1995。这种谐本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造多谐振器体声波（ＢＡＷ）滤波器的方法，该滤波器具有用做用于多个谐振器部分的声学反射镜的多个材料层，每个谐振器部分至少包括夹住压电层的顶部电极和底部电极，该方法包括以下步骤： ａ）选择用于用做声学反射镜的某些材料层的绝缘材料和用于其它层的金属材料；和 ｂ）经过利用刻蚀工艺将金属层构图成不同部分的制造工序提供制造一个金属层，该刻蚀工艺充分去除在要放置不同谐振器部分的位置之间的金属层，以便在不同谐振器部分下面的层的部分之间提供电绝缘； 由此，与用除了构图相同类型的声学反射镜的任何金属层的刻蚀步骤以外的相同方式制造的多谐振器ＢＡＷ滤波器中存在的电容耦合相比，提供带有在谐振器之...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J埃莱，J凯蒂拉，MT帕塔宁，
申请(专利权)人：诺基亚有限公司，
类型：发明
国别省市：FI[芬兰]