下载带有构图声学反射镜的稳固安装的多谐振器体声波滤波器的技术资料

文档序号:3407124

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一种制造多谐振器体声波(BAW)滤波器的方法和用该方法制造的滤波器,具有用做用于多个谐振器部分的声学反射镜的多个材料层,每个谐振器至少包括夹住压电层的顶部电极和底部电极,该方法包括以下步骤:选择用于用做声学反射镜的某些材料层的绝缘材料和用于...
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