【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种自由站立金刚石厚膜用于声表面波滤波器基板,其特征在于采用无衬底的自由纯净金刚石厚膜作为其衬底材料;应用自由站立金刚石厚膜的成核面,作为沉积叉指换能器和压电薄膜的表面,制备氧化锌/金刚石层状结构的声表面波器件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:白亦真,杜国同,
申请(专利权)人:大连理工大学,
类型:发明
国别省市:91[中国|大连]
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