利用压电衬底非对称最优化切割的表面声波器件制造技术

一种表面声波器件，包含单晶ＬｉＴａＯ＃－［３］的压电衬底和设置在压电衬底表面上形成谐振器的电极图形，电极图形具有在衬底表面上激励的表面声波的声波波长的大约１％至１５％范围内的电极厚度。压电衬底具有由欧拉角（λ，μ，θ）限定的非对称取向，角λ在－４°至４°的范围内，角μ在大约－５２°至大约－３６°的范围内，角θ在大约（－１．３６５λ－４）°至（－１．３６５λ＋４）°的范围内。与在谐振和反谐振频率的最佳化传播损耗同时结合的这种取向提供了在ＲＦ应用中改善的性能。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种表面声波器件，包括： 单晶ＬｉＴａＯ↓［３］的压电衬底；和 设置在所述压电衬底表面上的电极图形，其中所述电极图形形成具有在大约１％Λ至大约１５％Λ范围内的电极厚度的谐振器，其中Λ是在所述压电衬底的所述表面上激励的表面声波的声波波长，其中 所述压电衬底具有由欧拉角（λ，μ，θ）限定的取向，角λ在－４°至４°的范围内，角μ在大约－５２°至－３６°的范围内，角θ在大约（－１．３６５λ－４）°至（－１．３６５λ＋４）°范围内，其中所述角λ和θ之一不等于零度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：NF瑙曼科，BP阿伯特，
申请(专利权)人：索泰克公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]