一种TSK减薄机抛光单元管路结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种TSK减薄机抛光单元管路结构，有效减少管路结晶情况，提升设备稳定性，提高设备利用率，保证了产品品质要求。一种TSK减薄机抛光单元管路结构，包括通过主路管道依次连接的抛光液储罐、气动泵、压力调节阀和抛光终端；其中，气动泵上连接有气压源端，抛光终端包括抛光液入口和抛光液出口，压力调节阀通过主路管道与抛光液入口连接，抛光液出口通过旁路管道与抛光液储罐的入口连接，形成闭合循环管路；所述闭合循环管路的转角和管道接头处均采用直连管道连接。头处均采用直连管道连接。头处均采用直连管道连接。

【技术实现步骤摘要】
一种TSK减薄机抛光单元管路结构


[0001]本技术涉及抛光
，具体为一种TSK减薄机抛光单元管路结构。

技术介绍

[0002]芯片封装在减薄时，由于TSK减薄机抛光单元为湿抛化学工艺，抛光液主要成分为二氧化硅、有机胺，有机胺挥发和接触都会产生较大的刺激，因此在应用过程中通过采用管道进行输送。使用化学抛光液在管道中容易出现结晶，尤其是在管道的接头处和转角处极易引起抛光液频繁结晶和沉淀，导致抛光管路堵塞，此外，抛光液为气动泵提供压力动力，在气动泵施压过程中，管道中的抛光液因抛光管道的多节点导致流速差异显著，从而更易引起的抛光液堆积结晶，抛光液化学腐蚀性极强，结晶滞留设备内部会导致产品背面腐蚀，影响产品质量，减薄机宕机导致利用率降低，影响生产产能。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供一种TSK减薄机抛光单元管路结构，有效减少管路结晶情况，提升设备稳定性，提高设备利用率，保证了产品品质要求。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种TSK减薄机抛光单元管路本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TSK减薄机抛光单元管路结构，其特征在于，包括通过主路管道依次连接的抛光液储罐(1)、气动泵(2)、压力调节阀(3)和抛光终端(4)；其中，气动泵(2)上连接有气压源端，抛光终端(4)包括抛光液入口和抛光液出口，压力调节阀(3)通过主路管道与抛光液入口连接，抛光液出口通过旁路管道与抛光液储罐(1)的入口连接，形成闭合循环管路；所述闭合循环管路的转角和管道接头处均采用直连管道连接。2.根据权利要求1所述的一种TSK减薄机抛光单元管路结构，其特征在于，所述气动泵(2)与气压源端之间设置有压力阀，主路管道上设置有流量调节阀。3.根据权利要求1所述的一种TSK减薄机抛光单元管路结构，其特征在于，所述抛光液入口处和抛光液出口处分别设置有入口流量计(5)和出口流量计(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王涛涛，马勉之，吴树彬，郭博熠，白玉博，刘玉杰，吉武，王祥，李奇，
申请(专利权)人：华天科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：