本实用新型专利技术提供了一种运动模组及具有其的运动装置，运动模组，包括：第一移动组件，包括第一定子部和第一动子部；第一动子部与所第一定子部滑动连接，第一动子部可相对于第一定子部沿水平方向移动；第二移动组件，包括第一磁力部件和第二磁力部件，第一磁力部件固定连接至第一动子部，第二磁力部件与第一磁力部件相对设置，且第二磁力部件沿竖直方向可移动地连接至第一动子部上。本实用新型专利技术解决现有技术中的运动模组的动力源不稳定，加工精度较低的问题。问题。问题。
【技术实现步骤摘要】
运动模组及具有其的运动装置
[0001]本技术涉及微型运动平台
，具体而言，涉及一种运动模组及具有其的运动装置。
技术介绍
[0002]目前，电子信息技术的高速发展带动和催生相关产业链的发展和革新，其中，制约芯片发展的重要因素是制造芯片的设备不完善，以高精度的微动运动平台为例，高精度的微动运动平台可以保证芯片制造过程中的精度要求，提高芯片的质量。
[0003]现有的微动运动平台大多依靠直线电机作为动力源，电机运动过程中，线圈会产生大量的热量，长时间会降低线圈的工作性能，线圈本身及线圈接线处的绝缘性和稳定性也会直接影响电机的质量；此外，运动平台自身的重力也会对加工精度造成影响，进而会导致降低芯片的加工精度。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于提供一种运动模组及具有其的运动装置，以解决现有技术中的运动模组的动力源不稳定，加工精度较低的问题。
[0005]为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种运动模组，包括：第一移动组件，包括第一定子部和第一动子部，第一动子部与所第一定子部滑动连接，第一动子部可相对于第一定子部沿水平方向移动；第二移动组件，包括第一磁力部件和第二磁力部件，第一磁力部件固定连接至第一动子部，第二磁力部件与第一磁力部件相对设置，且第二磁力部件沿竖直方向可移动地连接至第一动子部上。
[0006]进一步地，第一动子部包括水平移动板，水平移动板沿水平方向可移动地设置，第一磁力部件设置在水平移动板上；第二移动组件还包括竖向移动板，竖向移动板滑动连接至水平移动板，第二磁力部件设置在竖向移动板上，第二磁力部件带动竖向移动板沿竖直方向移动。
[0007]进一步地，第一磁力部件包括：第二电路板；第二线圈组，设置在第二电路板的电路连接端面上，并与第二电路板电连接；第二绝缘层，盖设在第二线圈上并与第二电路板连接；第二磁力部件为第二磁钢组。
[0008]进一步地，第一磁力部件还包括第二背板，第二电路板设置在第二背板上，第二背板固定连接至水平移动板上；第二移动组件还包括第二滑轨，第二滑轨设置在水平移动板上，第二滑轨沿竖直方向延伸，竖向移动板连接至第二滑轨上；第一磁力部件设置在第二滑轨的侧方。
[0009]进一步地，第一动子部还包括：第一磁钢组，设置在水平移动板上并位于第一磁力部件的上方；第一定子部包括第一线圈组件和固定板；第一线圈组件设置在固定板上，第一线圈组件与第一磁钢组相对设置，以使第一磁钢组在第一线圈组件的磁力作用下带动水平移动板相对固定板沿水平方向移动。
[0010]进一步地，第一移动组件还包括：第一滑轨，设置在固定板上，第一滑轨沿水平方向延伸；第一滑轨为两个，两个第一滑轨沿在水平方向上相对间隔设置，水平移动板连接至两个第一滑轨上；第一线圈组件设置在两个第一滑轨之间。
[0011]进一步地，运动模组还包括：重力补偿组件，与第二移动组件连接，重力补偿组件对第二移动组件施加与重力方向相反的作用力，以抵消第二移动组件的部分重力。
[0012]进一步地，重力补偿组件包括固定部件和运动部件：固定部件包括第三磁钢组，第三磁钢组固定至水平移动板上，且第三磁钢组沿竖直方向延伸；运动部件包括第四磁钢组，第四磁钢组套设在第三磁钢组上并与竖向移动板连接，第四磁钢组的磁场方向与第三磁钢组的磁场方向相互垂直。
[0013]进一步地，固定部件还包括：安装筒，安装筒固定连接至水平移动板上，第三磁钢组设置在安装筒内；运动部件还包括安装套，安装套套设在安装筒上，第四磁钢组设置在安装套内，且第四磁钢组与安装筒之间设有间隙。
[0014]根据本技术的另一方面，提供了一种运动装置，包括运动模组和负载部件，负载部件安装在运动模组上，通过运动模组驱动负载部件移动，运动模组为上述的运动模组。
[0015]应用本技术的技术方案，根据本技术提供的运动模组，包括第一移动组件和第二移动组件，第一移动组件包括第一定子部和第一动子部；第一动子部与所第一定子部滑动连接，第一动子部可相对于第一定子部沿水平方向移动；第二移动组件包括第一磁力部件和第二磁力部件，第一磁力部件固定连接至第一动子部，第二磁力部件与第一磁力部件相对设置，且第二磁力部件沿竖直方向可移动地连接至第一动子部上。这样通过第一磁力部件和第二磁力部件的相互作用力，使第二磁力部件沿竖直方向移动，在实际应用中，将负载部件安装在第二磁力部件上，通过第二磁力部件驱动负载部件移动，能够实现负载部件的微量移动，提高对工件的加工精度。
附图说明
[0016]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0017]图1示出了根据本技术具体实施例的一种运动模组的结构示意图；
[0018]图2示出了根据本技术具体实施例的一种运动模组的爆炸图；
[0019]图3示出了根据本技术具体实施例的一种运动模组的第二线圈组的爆炸图；
[0020]图4示出了根据本技术具体实施例的一种运动模组的重力补偿组件的结构示意图；
[0021]图5示出了根据本技术具体实施例的一种运动模组的重力补偿组件的充磁方向示意图；
[0022]图6示出了根据本技术具体实施例的一种运动模组的重力补偿组件的爆炸图；
[0023]图7示出了根据本技术具体实施例的运动装置的结构示意图。
[0024]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0025]1、第一移动组件；1001、第一定子部；1002、第一动子部；10、水平移动板；101、连接
部；102、第一板体；103、第二板体；11、第一磁钢组；12、第一线圈组件；13、线槽；14、第一光栅尺；15、第一读头；
[0026]2、第二移动组件；2001、第二定子部；2002、第二动子部；20、第一磁力部件；201、第二电路板；202、第二线圈组；203、第二绝缘层；204、第二背板；21、竖向移动板；22、第二磁力部件；23、第二滑轨；24、第二光栅尺；25、第二读头；
[0027]3、重力补偿组件；30、第三磁钢组；301、第三磁钢；31、第四磁钢组；310、第四磁钢；32、安装筒；33、安装套；330、夹层空间；331、连接凸起；34、连接块；35、定子背铁；
[0028]4、缓冲部件；41、限位板；42、缓冲块；
[0029]5、固定板；
[0030]100、运动模组；200、支撑架；300、负载部件；400、待加工工件。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。基于本实用新本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种运动模组，其特征在于，包括：第一移动组件(1)，包括第一定子部(1001)和第一动子部(1002)，所述第一动子部(1002)与所第一定子部(1001)滑动连接，所述第一动子部(1002)可相对于所述第一定子部(1001)沿水平方向移动；第二移动组件(2)，包括第一磁力部件(20)和第二磁力部件(22)，所述第一磁力部件(20)固定连接至所述第一动子部(1002)，所述第二磁力部件(22)与所述第一磁力部件(20)相对设置，且所述第二磁力部件(22)沿竖直方向可移动地连接至所述第一动子部(1002)上。2.根据权利要求1所述的运动模组，其特征在于，所述第一动子部(1002)包括水平移动板(10)，所述水平移动板(10)沿水平方向可移动地设置，所述第一磁力部件(20)设置在所述水平移动板(10)上；所述第二移动组件(2)还包括竖向移动板(21)，所述竖向移动板(21)滑动连接至所述水平移动板(10)，所述第二磁力部件(22)设置在所述竖向移动板(21)上，所述第二磁力部件(22)带动所述竖向移动板(21)沿竖直方向移动。3.根据权利要求2所述的运动模组，其特征在于，所述第一磁力部件(20)包括：第二电路板(201)；第二线圈组(202)，设置在所述第二电路板(201)的电路连接端面上，并与所述第二电路板(201)电连接；第二绝缘层(203)，盖设在所述第二线圈组(202)上并与所述第二电路板(201)连接；所述第二磁力部件(22)为第二磁钢组。4.根据权利要求3所述的运动模组，其特征在于，所述第一磁力部件(20)还包括第二背板(204)，所述第二电路板(201)设置在所述第二背板(204)上，所述第二背板(204)固定连接至所述水平移动板(10)上；所述第二移动组件(2)还包括第二滑轨(23)，所述第二滑轨(23)设置在所述水平移动板(10)上，所述第二滑轨(23)沿竖直方向延伸，所述竖向移动板(21)连接至所述第二滑轨(23)上；所述第一磁力部件(20)设置在所述第二滑轨(23)的侧方。5.根据权利要求3所述的运动模组，其特征在于，所述第一动子部(1002)还包括第一磁钢组(11)，设置在所述水平移动板(10)上并位于所述第一磁力部件(20)的上方；所述第一定...
【专利技术属性】
技术研发人员：殷小博，胡兵，彭仁强，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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