一种气浮导轨直线电机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气浮导轨直线电机，包括导轨，所述导轨上可滑动地设置有滑块，所述导轨上设置有无铁芯动定子，所述滑块上设置有进气孔和多个气孔，所述多个气孔的开口方向指向所述导轨，所述多个气孔均与进气孔连通。本实用新型专利技术的气浮导轨直线电机采用气浮直线导轨滑块为导向和承载，无铁芯动定子为驱动部组合成气浮直线电机滑台模组，通过气流使导轨运行平稳，能够进行高精度、高直线度、高平面度的运动，克服了传统的直线电机无法做到的高精度以及长行程无法保证导轨高精度的缺点，可以广泛应用在高精密印刷行业、精密测量仪器、空间模拟实验装置、半导体设备、PCB设备、精密多轴工作台等高精度无振动场合。轴工作台等高精度无振动场合。轴工作台等高精度无振动场合。

【技术实现步骤摘要】
一种气浮导轨直线电机


[0001]本技术涉及传动机构
，具体为一种气浮导轨直线电机。

技术介绍

[0002]直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置。它可以看成是一台旋转电机按径向剖开，并展成平面而成。
[0003]直线电机的特点：直接驱动，刚性高，高速度，定位精度高达
±
1um，实现单轴多动子，行程无限制，可任意架构成XY十字组合或龙门等平台。
[0004]市场上的直线电机的导轨为滚珠导轨，普通级长度1m以内导轨的直线度和平行度一般是13um，3m长的导轨本身的直线度和平行度是21um，长度越长导轨的精度越差，常用的导轨最长的3m，长度依然有限，并且安装的时候直线度和平行度最好能调到8um，但是调整很困难，难以调到这个精度，成组导轨的平面高度差可达0.02mm。
[0005]市场上直线电机本体一般采用铝挤型型材结构作为本体，铝挤型型材滑动座作为承载结构，铝型材的加工平面最高精度为10um，长行程的平面度基本上都在0.02
‑
0.05mm，行程越长精度越差，这是由于行程太长，型材本身有变形，加工机台也有相对误差，装配人员手法也会有误差等各种因素的影响，也会导致整体的导轨产品的直线度和平面度相对较差，最终做出来的直线电机模组直线度都在0.02mm以上，平面度都在0.03
‑
0.05mm以上。
[0006]在高精密印刷行业、精密测量仪器、空间模拟实验装置、半导体设备、PCB设备、精密多轴工作台等高精度无振动场合，要求直线度、平面度均为5um以下，这样传统的直线电机就无法达到市场需求。

技术实现思路

[0007]为解决上述问题，本技术提供如下技术方案：提出一种气浮导轨直线电机，包括导轨，所述导轨上可滑动地设置有滑块，所述导轨上设置有无铁芯动定子，所述滑块上设置有进气孔和多个气孔，所述多个气孔的开口方向指向所述导轨，所述多个气孔均与进气孔连通。
[0008]优选的，所述滑块包括顶板，所述顶板位于所述导轨的上方，所述顶板的一端设置有左侧板，所述顶板的另一端设置有右侧板，所述左侧板和右侧板分别位于所述导轨的两侧。
[0009]优选的，所述左侧板的下端设置有侧向伸出的左底板，所述右侧板的下端设置有侧向伸出的右底板。
[0010]优选的，所述多个气孔分别设置在所述顶板、左侧板、右侧板、左底板和右底板上，所述顶板上的气孔的开口方向指向所述导轨的顶部，所述左侧板上的气孔的开口方向指向所述导轨的的一个侧面，所述右侧板上的气孔的开口方向指向所述导轨的的另一个侧面，所述左底板和右底板上的气孔的开口方向均指向所述导轨的底部。
[0011]优选的，所述顶板、左侧板、右侧板、左底板和右底板分别与邻近的导轨表面之间
具有间隙。
[0012]优选的，所述间隙的宽度不大于5um。
[0013]优选的，所述导轨的两侧分别设置有一风琴罩导向钣金件，两处所述风琴罩导向钣金件上设置有风琴罩，所述风琴罩位于所述滑块上方，所述风琴罩导向钣金件上设置有侧封板，所述侧封板将所述导轨的两侧封住，所述导轨的两端分别设置有侧盖板，所述侧盖板遮挡住所述导轨的端部。
[0014]优选的，所述侧盖板的上端固定在所述风琴罩导向钣金件上。
[0015]优选的，所述导轨采用大理石材料制作，所述滑块采用大理石或者高强度铝合金材料制作。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术的直线电机采用气浮直线导轨滑块为导向和承载，无铁芯动定子为驱动部组合成气浮直线电机滑台模组，通过气流使导轨运行平稳，能够进行高精度、高直线度、高平面度的运动，气浮导轨和滑块之间有5um左右的气隙，气源装置从滑块上的进气孔通气、气孔出气，使导轨和滑块之间有5um的气流游走，导轨和滑块之间就没有直接接触，滑块在5um的气隙中进行直线运动，导轨和滑块的直线度、平面度可达到5um以下，绝对定位精度和重复定位精度最高可达到1um以下，导轨长度可以做到3m以上，克服了传统的直线电机无法做到的高精度以及长行程无法保证导轨高精度的缺点，可以广泛应用在高精密印刷行业、精密测量仪器、空间模拟实验装置、半导体设备、PCB设备、精密多轴工作台等高精度无振动场合。
附图说明
[0017]图1为本技术气浮导轨直线电机的结构示意图；
[0018]图2为本技术气浮导轨直线电机的结构示意图俯视图；
[0019]图3为本技术气浮导轨直线电机的结构示意图主视图；
[0020]图4是图3中的A
‑
A剖视图放大图。
[0021]图中：1、导轨；2、滑块；3、无铁芯动定子；4、风琴罩；5、侧盖板；6、侧封板；7、风琴罩导向钣金件；8、进气孔；9、气孔；10、顶板；11、左侧板；12、右侧板；13、左底板；14、右底板。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连
接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]请参阅图1至图4，本技术提供的一种实施例：一种气浮导轨直线电机，包括导轨1，所述导轨1上可滑动地设置有滑块2，所述导轨1上设置有无铁芯动定子3，所述无铁芯动定子3位于导轨1的中部，所述滑块2上设置有进气孔8和多个气孔9，所述多个气孔9的开口方向指向所述导轨1，所述多个气孔9均与进气孔8连通。
[0026]优选的，所述滑块2包括顶板10，所述顶板10位于所述导轨1的上方，所述顶板10的一端设置有左侧板11，所述顶板10的另一端设置有右侧板12，所述左侧板11和右侧板12分别位于所述导轨1的两侧。
[0027]优选的，所述左侧板11的下端设置有侧向伸出的左底板13，所述右侧板12的下端设置有侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮导轨直线电机，包括导轨，所述导轨上可滑动地设置有滑块，所述导轨上设置有无铁芯动定子，其特征在于：所述滑块上设置有进气孔和多个气孔，所述多个气孔的开口方向指向所述导轨，所述多个气孔均与进气孔连通。2.根据权利要求1所述的气浮导轨直线电机，其特征在于：所述滑块包括顶板，所述顶板位于所述导轨的上方，所述顶板的一端设置有左侧板，所述顶板的另一端设置有右侧板，所述左侧板和右侧板分别位于所述导轨的两侧。3.根据权利要求2所述的气浮导轨直线电机，其特征在于：所述左侧板的下端设置有侧向伸出的左底板，所述右侧板的下端设置有侧向伸出的右底板。4.根据权利要求3所述的气浮导轨直线电机，其特征在于：所述多个气孔分别设置在所述顶板、左侧板、右侧板、左底板和右底板上，所述顶板上的气孔的开口方向指向所述导轨的顶部，所述左侧板上的气孔的开口方向指向所述导轨的一个侧面，所述右侧板上的气孔的开口方向指向所述导轨的另一个侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱屯，韩义，
申请(专利权)人：苏州泰莱智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：