表面声波器件及其制造方法技术

技术编号:3405887 阅读:172 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种表面声波器件及其制造方法。实现一种小型、薄型的表面声波器件。表面声波器件的特征在于,其包括:表面声波芯片,其具有形成于压电基板的主面上的IDT电极、从IDT电极引出的取出电极、和沿着压电基板的主面的外周形成的金属接合部;盖基板,其由绝缘性材料构成,具有与取出电极连接的连接电极、外部电极、和将连接电极与外部电极连接的贯通电极,在通过将表面声波芯片和盖基板接合而形成的空间的内部,IDT电极和取出电极被气密密封,在压电基板的主面上形成有辅助部,该辅助部具有即使压电基板或盖基板变形时盖基板也不会接触IDT电极的高度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种表面声波器件,其特征在于,所述表面声波器件包括:表面声波芯片,其具有形成于压电基板的主面上的IDT电极、从所述IDT电极引出的取出电极、和沿着所述压电基板的主面的外周形成的金属接合部;以及盖基板,其由绝缘性材料构 成,具有设于一个主面上的与所述取出电极连接的连接电极、设在另一个主面上的外部电极、和将所述连接电极与所述外部电极进行连接的贯通电极,在通过在所述金属接合部将所述表面声波芯片和所述盖基板接合而形成的空间的内部,所述IDT电极和所述取出 电极被气密密封,在所述空间的内部,在所述压电基板的主面上形成有辅助部,该辅助部具有即使所...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:青木信也
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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