本实用新型专利技术公开了一种读片电压对比装置，应用在晶圆盒内的晶圆位置的检测领域，其技术方案要点是：包括工作台和设置在工作台上的晶圆盒；工作台上水平滑移连接有移载板，移载板上竖直滑移连接有竖直滑移板，竖直滑移板上设置有检测组件；移载板上设有驱动竖直滑移板移动的驱动组件；工作台上设置有若干个开孔和连通若干开孔的连接孔；开孔与晶圆盒的开口对应设置；检测组件包括设置在竖直滑移板上的光电检测元件和光电接收元件，驱动组件驱动光电检测元件和光电接收元件贯穿开孔并沿晶圆排列方向运动。具有的技术效果是：能够快速且精确检测出晶圆在晶圆盒中的放置位置是否准确以及是否出现叠片情况。及是否出现叠片情况。及是否出现叠片情况。
【技术实现步骤摘要】
一种读片电压对比装置
[0001]本技术涉及晶圆盒内的晶圆位置的检测领域，特别涉及一种读片电压对比装置。
技术介绍
[0002]互联网时代，任何技术都离不开晶圆的支撑。在晶圆前端生产流程中，机械抓手需将放置在晶圆盒中的晶圆抓取出来；这就必须保证晶圆放置在晶圆盒中的位置正确。
[0003]目前，公开号为CN213752632U的中国技术，公开了一种晶圆检测装置，包括驱动件、用于承载晶圆传送盒的工作台和用于收发检测信号的检测件，工作台上设有缺口位，检测件沿前后方向布置在晶圆传送盒的开口侧，驱动件连接检测件或工作台，以沿上下方向驱使检测件与工作台发生相对运动。
[0004]现有的晶圆在晶圆盒中的放置情况的检测都是通过人工观察并反馈检查结果，检测速度较慢且检测结果不够精准。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是提供一种读片电压对比装置，其优点是能够快速且精确检测出晶圆在晶圆盒中的放置位置是否准确以及是否出现叠片情况。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0007]一种读片电压对比装置，包括工作台和设置在所述工作台上的晶圆盒；
[0008]所述工作台上水平滑移连接有移载板，所述移载板上竖直滑移连接有竖直滑移板，所述竖直滑移板上设置有检测组件；
[0009]所述移载板上设有驱动竖直滑移板移动的驱动组件；
[0010]所述工作台上设置有若干个开孔和连通若干所述开孔的连接孔；所述开孔与晶圆盒的开口对应设置；
[0011]所述检测组件包括设置在竖直滑移板上的光电检测元件和光电接收元件，所述驱动组件驱动光电检测元件和光电接收元件贯穿开孔并沿晶圆排列方向运动。
[0012]通过上述技术方案，工作台用于承载移载板、检测组件、驱动组件，使设备的各个组件集成在一起，便于组件的集中使用和集中管理；晶圆盒用于放置晶圆；移载板用于承载驱动组件，使驱动组件能够在工作台上滑移，改变检测组件水平方向的位置，驱动组件用于驱动竖直滑移板，使竖直滑移板带动检测组件沿移载板竖直方向滑移，进而使检测组件可以检测放置在多个位置的晶圆盒里的晶圆的情况，提高了设备的灵活性；检测组件用于检测放置在晶圆盒内的晶圆位置是否发生倾斜或存在叠片的情况；工作台上设置的开孔，用于使检测组件通过工作台上的开孔与驱动组件固定连接，连接孔用于使检测组件在工作台上水平滑移提供通道，开孔对应晶圆盒开口设置，便于检测组件通过开孔检测到晶圆盒内的晶圆；光电检测元件和光电接收元件贯穿开孔并沿晶圆排列方向运动，光电检测元件用于发射检验光，光电接收元件用于接收光电检测元件发射的检验光，根据检验光被晶圆阻
挡的情况来检测晶圆的位置是否放置正确以及是否有叠片的情况。
[0013]本技术进一步设置为：所述竖直滑移板上设置有支撑杆，所述支撑杆上设置有固定板，所述光电检测元件和所述光电接收元件固定在固定板上。
[0014]通过上述技术方案，固定板用于固定光电检测元件和光电接收元件，使光电检测元件和光电接收元件固定在同一水平面上，便于光电接收元件更准确的接收光电检测元件发的的检测光；支撑杆用于通过开孔连接固定板和驱动组件。
[0015]本技术进一步设置为：所述驱动组件包括滑移块和驱动滑移块沿移载板竖直方向滑移的步进电机，所述竖直滑移板固定连接在所述滑移块上，所述步进电机固定连接在移载板上。
[0016]通过上述技术方案，滑移块用于支撑和固定竖直滑移板，步进电机用于驱动滑移块移动，使滑移块带动竖直滑移板在移载板竖直方向滑移，从而使检测组件在开孔中竖直滑移，进而使检测组件能够检测晶圆盒内的每一层晶圆的位置情况，使检测结果更加精确。
[0017]本技术进一步设置为：所述滑移块上竖直设置有竖直滑槽，所述移载板上设置有与所述竖直滑槽配合的竖直滑轨。
[0018]通过上述技术方案，竖直滑移板固定在滑移块上，滑移块上的竖直滑槽与移载板上的竖直滑轨配合，从而使竖直滑移板在滑移块的带动下在移载板上竖直滑移，进而使检测组件能够检测晶圆盒中每一层晶圆的位置情况。
[0019]本技术进一步设置为：所述步进电机连接有丝杆，所述丝杆与所述滑移块转动连接。
[0020]通过上述技术方案，滑移块中部贯穿设置有与丝杆配合的螺纹孔，步进电机驱动丝杆旋转，从而使丝杆在滑移块内转动，驱动滑块在移载板上滑移。
[0021]本技术进一步设置为：所述移载板上设置在所述工作台的内壁上，所述移载板上水平设置有水平滑槽，所述工作台上设置有与所述水平滑槽配合的水平滑轨；
[0022]所述工作台上固定连接有驱动气缸，所述驱动气缸的活塞杆与移载板固定连接。
[0023]通过上述技术方案，移载板上固定在工作台的内部，从而减小使用工作空间；移载板上设置的水平滑槽与工作台上设置的水平滑轨配合，驱动气缸释放或收缩活塞杆，活塞杆带动移载板在工作台上水平滑移，使移载板滑移到下一工作区域，进而使检测组件能够检测放置在不同位置的晶圆盒里的晶圆的情况。
[0024]本技术进一步设置为：所述晶圆盒底部设置有凹槽，所述工作台上表面设置有与凹槽配合的定位块。
[0025]通过上述技术方案，工作台上设置的定位块与晶圆盒底部的凹槽配合，能够固定晶圆盒的放置位置，使晶圆盒位置不发生偏移，从而使检测组件检测晶圆位置情况更加精确。
[0026]本技术进一步设置为：工作台上还设置有报警器，所述报警器与检测组件电信号连接。
[0027]通过上述技术方案，在检测组件检测到晶圆位置发生倾斜或者有叠片的情况后，检测组件停止工作，检测组件将以电信号反馈给报警器，从而能够及时发现晶圆出现的问题，及时处理，提高了工作效率。
[0028]综上所述，本技术具有以下有益效果：
[0029]1.驱动组件能够驱动检测组件检测晶圆盒中每一层晶圆的位置放置的情况以及是否有叠片的情况；
[0030]2.移载板在驱动气缸的作用下，带动驱动组件和检测组件滑移到下一个晶圆盒前，检测此晶圆盒内的晶圆位置情况及叠片情况，从而提高了设备的灵活性。
附图说明
[0031]图1是本实施例的整体结构示意图；
[0032]图2是本实施例的驱动组件的结构示意图；
[0033]图3是本实施例的检测组件俯视图。
[0034]附图标记：1、工作台；2、移载板；3、检测组件；4、驱动组件；5、光电检测元件；6、光电接收元件；7、固定板；8、开孔；9、连接孔；10、挡板；11、水平滑轨；12、步进电机；13、驱动气缸；14、连接板；16、阻挡板；17、丝杆；18、支撑杆；19、竖直滑轨；20、竖直滑移板；21、滑移块；23、晶圆盒；24、定位块；25、导柱；26、固定块。
具体实施方式
[0035]以下结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0036]实施例：
[0037]参考图1、图2和图3，一种读片电压对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种读片电压对比装置，包括工作台(1)和设置在所述工作台(1)上的晶圆盒(23)；其特征在于，所述工作台(1)上水平滑移连接有移载板(2)，所述移载板(2)上竖直滑移连接有竖直滑移板(20)，所述竖直滑移板(20)上设置有检测组件(3)；所述移载板(2)上设有驱动竖直滑移板(20)移动的驱动组件(4)；所述工作台(1)上设置有若干个开孔(8)和连通若干所述开孔(8)的连接孔(9)；所述开孔(8)与晶圆盒(23)的开口对应设置；所述检测组件(3)包括设置在竖直滑移板(20)上的光电检测元件(5)和光电接收元件(6)，所述驱动组件(4)驱动光电检测元件(5)和光电接收元件(6)贯穿开孔(8)并沿晶圆排列方向运动。2.根据权利要求1所述的一种读片电压对比装置，其特征在于，所述竖直滑移板(20)上设置有支撑杆(18)，所述支撑杆(18)上设置有固定板(7)，所述光电检测元件(5)和所述光电接收元件(6)固定在固定板(7)上。3.根据权利要求1所述的一种读片电压对比装置，其特征在于，所述驱动组件(4)包括滑移块(21)和驱动滑移块(21)沿移载板竖直方向滑移的步进电机(12)，所述竖...
【专利技术属性】
技术研发人员：翁林，周政，王吉奎，
申请(专利权)人：无锡宇邦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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