【技术实现步骤摘要】
一种基于半导体设备的多机组信号收集装置及收集方法
[0001]本专利技术涉及晶圆加工的信号传输
,具体为一种基于半导体设备的多机组信号收集装置及收集方法。
技术介绍
[0002]在进行晶圆加工时会进行多个工序,如清洗、切片、保温、打磨等等,而不同的加工工序对应的加工设备不同,进而构成流水线式的加工生产线。
[0003]而现有技术在加工过程中,多是通过无线信号的传输实现多工序的控制,在实际加工过程中,多机组设备安装在同一生产线上,通过无线电磁信号传输,将各加工工序的参数传输至控制器中,进行统一的判断和调节,进而形成单一晶圆加工的数据集。
[0004]但在实际生产过程中,多机组设备容易受到电磁的干扰,而设备传输的信号中包含了加工设备对晶圆加工的各项数据和参数,在受到干扰时,容易造成信息缺失、不稳定等情况,进而影响后续的晶圆加工。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种基于半导体设备的多机组信号收集装置及收集方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种基于半导体设备的多机组信号收集装置,所述信号收集装置包括:信号收集箱,所述信号收集箱中设置有控制器,信号收集箱的外侧固定安装有前置信号接收器,前置信号接收器与控制器通过数据线缆电性连接,信号收集箱的内腔中设置有电机驱动升降的升降管;收集组件,所述收集组件固定安装在升降管的上端面,升降管的上端面与信号收集箱的上端内壁之间设置有屏蔽折叠管,所述屏蔽折叠管包裹收集组 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于半导体设备的多机组信号收集装置,其特征在于:所述信号收集装置包括:信号收集箱(1),所述信号收集箱(1)中设置有控制器(2),信号收集箱(1)的外侧固定安装有前置信号接收器(3),前置信号接收器(3)与控制器(2)通过数据线缆电性连接,信号收集箱(1)的内腔中设置有电机(5)驱动升降的升降管(7);收集组件,所述收集组件固定安装在升降管(7)的上端面,升降管(7)的上端面与信号收集箱(1)的上端内壁之间设置有屏蔽折叠管(15),所述屏蔽折叠管(15)包裹收集组件,收集组件包括竖直线性分布的多组信号接收组件(14)和顶球(34),所述顶球(34)位于收集组件的上端,所述信号收集箱(1)的上端中间设置有升降槽(26),收集组件竖直贯穿插接在升降槽(26)中,升降槽(26)中设置有左右对称的一对转动安装的海绵弧块(19),所述信号接收组件(14)的上端设置有防护罩(43),海绵弧块(19)贴合防护罩(43)的弧形外壁,信号接收组件(14)的下端设置有连杆(44),连杆(44)的端部设置有连接盘(45),所述防护罩(43)的上端设置有圆周阵列分布的四组安装杆(46),相邻信号接收组件(14)之间通过安装杆(46)与连接盘(45)之间螺钉紧固实现固定连接;预警组件,所述预警组件包括上支架(4),所述上支架(4)上转动安装有转杆(11),所述转杆(11)的两端分别设置有第一端块(36)和第二端块(38),所述第一端块(36)的下端设置有压杆(13),压杆(13)滑动贯穿信号收集箱(1),信号收集箱(1)中设置有弹性急停按钮(10),压杆(13)的下端正对弹性急停按钮(10),所述第二端块(38)的上端弹性压合在上支架(4)上,第二端块(38)的下端正对信号接收组件(14)上端的顶球(34)。2.根据权利要求1所述的一种基于半导体设备的多机组信号收集装置,其特征在于:所述信号收集箱(1)的内腔中设置有左右对称的一对侧架(8),左右对称的一对侧架(8)上设置有导轨(9),导轨(9)中竖直贯穿设置有侧槽(18),所述升降管(7)的下端设置有螺孔(17),所述电机(5)的上端转动安装有螺杆(6),螺杆(6)螺纹转动插接在螺孔(17)中,升降管(7)的外壁设置有与侧槽(18)配合竖直滑动插接的侧条(33)。3.根据权利要求2所述的一种基于半导体设备的多机组信号收集装置,其特征在于:所述弹性急停按钮(10)的下端电性连接控制器(2),弹性急停按钮(10)设置在侧架(8)上,侧架(8)和信号收集箱(1)上均设置有贯穿孔(12),贯穿孔(12)的内径大于压杆(13)的外径,压杆(13)沿贯穿孔(12)竖直延伸至弹性急停按钮(10)的上端,弹性急停按钮(10)通过电缆(16)电性连接控制器(2)。4.根据权利要求1所述的一种基于半导体设备的多机组信号收集装置,其特征在于:所述转杆(11)的中间贯穿设置有中间套孔(35),所述第一端块(36)和第二端块(38)的侧壁上均设置有铰座(37),转杆(11)通过中间套孔(35)转动安装在上支架(4)的下端,转杆(11)的两端通过铰座(37)分别转动安装在第一端块(36)和第二端块(38)上。5.根据权利要求4所述的一种基于半导体设备的多机组信号收集装置,其特征在于:所述第二端块(38)的上端设置有导向杆(39),所述导向杆(39)滑动贯穿插接在上支架(4)上,导向杆(39)上套接有第二弹簧(40),所述第二弹簧(40)压合在第二端块(38)与上支架(4)之间。6.根据权利要求1所述的一种基于半导体设备的多机组信号收集装置,其特征在于:左右对称的...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴立,方亮,周政,
申请(专利权)人:无锡宇邦半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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