洁净间送风系统技术方案

本申请实施例提供一种洁净间送风系统，应用于洁净厂房，洁净厂房包括：从上至下依次布设且连通的上夹层和洁净间，以及设置于洁净间两侧的回风夹道，回风夹道分别与上夹层和洁净间连通；洁净间送风系统包括：送风装置，设置于上夹层内；第一过滤装置，设置于送风装置的出风侧；冷却装置，设置于回风夹道一端；第二过滤装置，设置于冷却装置的迎风侧或背风侧。通过改变原有的洁净间送风系统，将FFU进风口处的过滤装置拆除，并在冷却装置的迎风侧或背风侧设置第一过滤装置，能够提升洁净间内的风速，降低送风装置的功率，减少送风装置的能耗，延长送风装置的使用寿命。长送风装置的使用寿命。长送风装置的使用寿命。

Clean room air supply system

【技术实现步骤摘要】
洁净间送风系统


[0001]本申请涉及半导体制备
，例如涉及一种洁净间送风系统。

技术介绍

[0002]目前，在半导体产品加工过程中，洁净间内的压力、温度、湿度、洁净度等环境参数对于生产至关重要。当以上任意一个环境参数不达标，均可能影响产品的最终性能，严重时还可能导致整批产品报废。
[0003]当前半导体制造商的洁净厂房包括洁净间，洁净间的顶部设置有上夹层，洁净间的底部设置有下夹层，洁净间的两侧设置有与上夹层和下夹层相连通的回风夹道。其中，上夹层中按一定规律分散布置有风机过滤机组(Fan Filter Unit，简称FFU)，风机过滤机组是一种自带动力的送风装置；下夹层中一般布置有和工艺设备匹配的辅助设备(如泵、废气处理装置等)及动力管道；通常在下夹层两侧至回风夹道的区域设置有干式冷却盘管(Dry Cooling Coil，简称DCC)，其是向洁净间提供显冷量的空调末端设备。
[0004]在实际工作中，室外空气经由新风机组(Make
‑
up Air Unit，简称MAU)处理至温度、湿度、颗粒度等参数符合要求后，通过新风管道送入回风夹道，与回风夹道内空气混合后进入上夹层，上夹层内的FFU为气流提供动力，将气流垂直向下送入洁净间，经过洁净间内的高架地板和华夫筒进入下夹层，随后从下夹层两侧经过DCC冷却后进入回风夹道，重新与新空气混合后进入上夹层，开始下一轮回的循环。
[0005]在上述工作过程中，FFU除了为混合空气提供动力，而且也需要滤除混合空气中的颗粒。所以目前市场上主流的FFU，多数是在FFU的出风口配设过滤装置。而随着半导体加工精度越来越高，对洁净间的空气质量也提出了更高的要求，为此，很多半导体制造商会对已有FFU进行改造，比如在FFU的进风口处增设另一过滤装置，以确保洁净间内的颗粒度达到要求。但是由于经历了两次过滤，导致风阻增大，FFU只有在高负荷的状态下持续工作，才能勉强保证洁净间的风速均值不低于最低标准风速(一般为0.2m/s)；若在气流环境不佳的情况下，洁净间内部分区域很有可能无法达到标准，进而影响产品的最终性能。
[0006]为解决上述问题，相关方案是提高FFU的功率，为气流提供更大的动力。但是提高FFU的功率也必然增大了FFU的能耗，不利于节能减排；而且也增大了对电机的磨损，进而缩短FFU设备的使用寿命；此外设备在运行的过程中噪音变大，也会影响生产环境。

技术实现思路

[0007]为了解决上述技术缺陷，本申请实施例中提供了一种洁净间送风系统。
[0008]为实现上述目的，本申请提供一种洁净间送风系统，应用于洁净厂房，洁净厂房包括：从上至下依次布设且连通的上夹层和洁净间，以及设置于洁净间两侧的回风夹道，回风夹道分别与上夹层和洁净间连通；洁净间送风系统包括：
[0009]送风装置，设置于上夹层内，用于为所述洁净间内的空气提供动力；
[0010]第一过滤装置，设置于送风装置的出风侧，用于对送风装置排出的空气进行过滤；
[0011]冷却装置，设置于回风夹道一端，用于对流经的空气进行换热；
[0012]第二过滤装置，设置于冷却装置的迎风侧或背风侧，用于对流经的空气进行过滤。
[0013]如上所述的洁净间送风系统，冷却装置设置于回风夹道的顶端或底端，第二过滤装置设置于回风夹道内。
[0014]如上所述的洁净间送风系统，洁净厂房还包括位于洁净间下的下夹层，下夹层分别与洁净间、回风夹道连通；
[0015]冷却装置设置于回风夹道的底端；第二过滤装置设置于下夹层或回风夹道内。
[0016]如上所述的洁净间送风系统，冷却装置包括干式冷却盘管。
[0017]如上所述的洁净间送风系统，第二过滤装置铺设在冷却装置的迎风侧的表面上；或者，
[0018]第二过滤装置固定在冷却装置的背风侧的表面上。
[0019]如上所述的洁净间送风系统，第二过滤装置至少部分遮挡冷却装置的冷却面。
[0020]如上所述的洁净间送风系统，第二过滤装置包括：
[0021]固定框，固定设置于冷却装置的迎风侧或背风侧；
[0022]滤网，设置于固定框上。
[0023]如上所述的洁净间送风系统，滤网包括过滤棉。
[0024]如上所述的洁净间送风系统，第二过滤装置用于拦截直径大于等于0.3微米的颗粒。
[0025]如上所述的洁净间送风系统，还包括：新风机组，该新风机组的新风管道与回风夹道连通。
[0026]本申请提供的洁净间送风系统，通过对原有洁净间送风系统进行优化，将FFU进风口处的过滤装置拆除，并在冷却装置的迎风侧或背风侧设置第二过滤装置，能够在保障洁净间内空气质量的同时，提升洁净间内的风速，使洁净间内的风速稳定维持在标准要求以上。并且，通过上述优化，还大大降低了送风装置的功率，进而减少了送风装置的能耗，延长了送风装置的使用寿命。
[0027]在此基础上，通过对第二过滤装置的安装位置、安装面积进行优化，能够进一步有效提高洁净间内的风速，从而保证洁净厂房内、尤其是洁净间内的环境参数达标。
附图说明
[0028]图1是一种现有洁净厂房的布局结构示意图；
[0029]图2是本申请实施例提供的洁净间送风系统应用于一种洁净厂房的结构示意图；
[0030]图3是本申请实施例提供的洁净间送风系统应用于另一种洁净厂房的结构示意图一；
[0031]图4是本申请实施例提供的洁净间送风系统应用于另一种洁净厂房的结构示意图二；
[0032]图5是本申请实施例提供的第二过滤装置的结构示意图；
[0033]图6是本申请实施例提供的送风装置的剖视图一；
[0034]图7是本申请实施例提供的送风装置的剖视图二；
[0035]图8是本申请实施例提供的冷却装置的结构示意图。
[0036]附图标记：
[0037]10
‑
送风装置；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
11
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进风口；
[0038]12
‑
风机；
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13
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安全罩；
[0039]20
‑
第一过滤装置；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
30
‑
冷却装置；
[0040]31
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换热翅片；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
32
‑
换热管路；
[0041]33
‑
集水盘；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
40
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第二过滤装置；
[0042]41
‑
固定框；
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
42
‑
滤网；
[0043]100
‑
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种洁净间送风系统，应用于洁净厂房，所述洁净厂房包括：从上至下依次布设且连通的上夹层和洁净间，以及设置于洁净间两侧的回风夹道，所述回风夹道分别与所述上夹层和所述洁净间连通；其特征在于，所述洁净间送风系统包括：送风装置，设置于所述上夹层内，用于为所述洁净间内的空气提供动力；第一过滤装置，设置于送风装置的出风侧，用于对送风装置排出的空气进行过滤；冷却装置，设置于所述回风夹道一端，用于对流经的空气进行换热；第二过滤装置，设置于所述冷却装置的迎风侧或背风侧，用于对流经的空气进行过滤。2.根据权利要求1所述的洁净间送风系统，其特征在于，所述冷却装置设置于所述回风夹道的顶端或底端，所述第二过滤装置设置于所述回风夹道内。3.根据权利要求1所述的洁净间送风系统，其特征在于，所述洁净厂房还包括位于所述洁净间下的下夹层，所述下夹层分别与所述洁净间、所述回风夹道连通；所述冷却装置设置于所述回风夹道的底端；所述第二过滤装置设置于所述下夹层...

【专利技术属性】
技术研发人员：邬蕊，刘晓明，王楠，
申请(专利权)人：北京燕东微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：