一种全自动晶圆背面激光标记装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆激光标记技术领域，公开一种全自动晶圆背面激光标记装置及方法。该装置包括：机械系统，包括机架、设置在所述机架上的夹具组件，用于固定和校平待标记晶圆；上下料系统，用于放置待标记晶圆和已标记晶圆；机械手系统，用于取放和移送待标记晶圆、及已标记晶圆；晶圆自动寻边系统，用于对机械手系统移送的待标记晶圆进行自动寻边校准；视觉系统，用于检测寻边校准后的待标记晶圆得到试打标的定位数据，并对实际打标位置进行测量确定其是否超差。双激光系统，用于根据所述定位数据进行试打标，在实际打标位置不超差时，完成对待打标晶圆进行标记。本发明专利技术提高了晶圆激光标记的效率，可以适应变形较大的晶圆，提高晶圆激光标记的精度。激光标记的精度。激光标记的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动晶圆背面激光标记装置及方法


[0001]本专利技术涉及晶圆激光标记
，更具体的说，特别涉及一种全自动晶圆背面激光标记装置及方法。

技术介绍

[0002]随着晶圆的广泛使用，传统的晶圆标记方法如：气动冲针、丝网印刷、机械压痕、喷墨打印、化学腐蚀等，但这些加工方式都存在着不同的缺陷与不足，使得激光标记日渐成为当今晶圆标记的主流。激光标记是利用高能量密度的激光对工件表面进行局部照射，使得表层材料气化或发生颜色变化的化学反应，从而留下永久性标记的一种打标方法。
[0003]在目前使用的晶圆标记系统中，晶圆标记平台存在着很大的缺陷，其只能利用晶圆的最外侧边缘部分支撑在打标夹具上，为了不遮挡住标记区域，晶圆的中间大部分为悬空，而且由于晶圆制作工艺的影响造成晶圆本身存在变形，使得夹具上的晶圆整体变形较大，给晶圆的定位、打标精度、质量和速度都带来了较大影响。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于针对现有技术存在的技术问题，提供一种全自动晶圆背面激光标记装置及方法，能够提高激光标记的精度和工作效率。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动晶圆背面激光标记装置，其特征在于：包括：机械系统，包括机架、设置在所述机架上的夹具组件，用于固定和校平待标记晶圆；上下料系统，用于放置待标记晶圆和已标记晶圆；机械手系统，用于取放和移送待标记晶圆、及已标记晶圆；晶圆自动寻边系统，用于对机械手系统移送的待标记晶圆进行自动寻边校准；视觉系统，用于检测寻边校准后的待标记晶圆得到试打标的定位数据，并对实际打标位置进行测量确定其是否超差；双激光系统，用于根据所述定位数据进行试打标，在实际打标位置不超差时，完成对待打标晶圆进行标记。2.根据权利要求1所述的全自动晶圆背面激光标记装置，其特征在于：所述机械系统还包括大理石基座和夹具组件安装板，所述夹具组件安装板上设置所述夹具组件，两者通过大理石基座设置在所述机架上；所述夹具组件包括设置在所述夹具组件安装板上的电动升降组件和电动旋转组件，所述电动旋转组件上设置有晶圆夹具，所述电动升降组件包括设置在所述夹具组件安装板上的电动升降台，所述电动升降台上设置有晶圆压板。3.根据权利要求2所述的全自动晶圆背面激光标记装置，其特征在于：所述电动升降组件采用两组分别设置在所述晶圆夹具的两侧，所述晶圆压板与所述电动旋转组件之间还设置导向轴和轴承。4.根据权利要求3所述的全自动晶圆背面激光标记装置，其特征在于：所述上下料系统包括料架机构，所述料架机构的工作台上设置有晶圆料盒、料盒固定块和料盒检测装置，所述晶圆料盒包括待标记晶圆料盒和NG料盒；所述料架机构上还设置有防倾斜的挡板。5.根据权利要求4所述的全自动晶圆背面激光标记装置，其特征在于：所述视觉系统包括上视觉检测组件、视觉定位组件和下视觉检测组件；所述上视觉检测组件设置于所述晶圆自动寻边系统的上方，用于自动识别待标记晶圆的边缘条码或WAFER ID；所述视觉定位组件设置于所述双激光系统的上方，用于自动抓取待标记晶圆上面的特征点，得到试打标的定位数据；所述下视觉检测组件设置于所述双激光系统的下方，用于测量待标记晶圆上的实际标记位置。6.根据权利要求5所述的全自动晶圆背面激光标记装置，其特征在于：所述视觉定位组件包括升降台垫板、设置于升降台垫板上的Z轴电动平台、安装于Z轴电动平台上的升降台连接板，所述升降台...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄政，张兵，郑盼，陈兆华，李荣广，郭良，温尧明，覃忠贤，焦波，谢圣君，吕启涛，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：