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本发明涉及晶圆激光标记技术领域，公开一种全自动晶圆背面激光标记装置及方法。该装置包括：机械系统，包括机架、设置在所述机架上的夹具组件，用于固定和校平待标记晶圆；上下料系统，用于放置待标记晶圆和已标记晶圆；机械手系统，用于取放和移送待标记晶圆...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

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