机械手手指、机械手及其使用方法技术

本申请涉及一种机械手手指、机械手及其使用方法。在本申请的一实施例中，所述机械手手指包括：手指；及一或多个测温元件，其设置在所述手指内，并分别连接到所述手指的表面上的一或多个测温触点。所述机械手手指可用于在晶圆的传输过程中实时监测晶圆的温度。的传输过程中实时监测晶圆的温度。的传输过程中实时监测晶圆的温度。

【技术实现步骤摘要】
机械手手指、机械手及其使用方法


[0001]本申请大体上涉及半导体制造设备领域，且更具体来说，涉及一种机械手手指、机械手及其使用方法。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，通常使用机械手完成晶圆在各个腔室之间或工位之间的传输。机械手手指安装在传输腔室或前端模块的运动单元上，随运动单元进行旋转、伸展和升降等运动。晶圆放置于机械手手指上并随机械手手指的运动在各个腔室之间传送。
[0003]晶圆的温度是半导体制造工艺中的重要指标之一，监测并控制晶圆的温度可以提高产品的可靠性。然而，当前的半导体制造设备无法在晶圆的传输过程中监测晶圆的温度。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中的不足，本申请提供了一种可利用机械手手指在晶圆的传输过程中实时监测晶圆的温度的技术方案，其可为解决晶圆的预热或冷却及材料等相关参数优化问题提供支持。
[0005]在一方面，本申请提供了一种机械手手指，所述机械手手指可包括：手指；及一或多个测温元件，其设置在所述手指内，并分别连接到所述手指的表面上的一或多个测温触点。
[0006本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手手指，其包括：手指；及一或多个测温元件，其设置在所述手指内，并分别连接到所述手指的表面上的一或多个测温触点。2.根据权利要求1所述的机械手手指，其中所述手指的形状为长方形、扇形或类似手指的异种形状。3.根据权利要求1所述的机械手手指，其中所述手指的材料为绝缘材料。4.根据权利要求3所述的机械手手指，其中所述绝缘材料包括陶瓷。5.根据权利要求1所述的机械手手指，其中所述手指的所述表面设置有用以接触并支撑晶圆的至少一个接触结构。6.根据权利要求5所述的机械手手指，其中所述接触结构包括支撑触点、支撑线、支撑斜面或真空吸附结构中的至少一者。7.根据权利要求5所述的机械手手指，其中所述一或多个测温触点中的至少一个测温触点设置在所述接触结构处。8.根据权利要求5所述的机械手手指，其中所述一或多个测温触点中的至少一个测温触点设置在不同于所述接触结构的额外位置处。9.根据权利要求8所述的机械手手指，其中所述至少一个测温触点在未放置晶圆时的初始高度比所述接触结构的高度高。10.根据权利要求9所述的机械手手指，其中所述初始高度与所述接触结构的高度的差值小于或等于1000μm。11.根据权利要求1所述的机械手手指，其中所述一或多个测温元件包括热电偶丝，所述一或多个测温触点包括涂覆在所述一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘春，姜宗帅，吕光泉，
申请(专利权)人：拓荆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：