一种多层载板搬运系统及方法技术方案

本申请实施例提供一种多层载板搬运系统及方法，涉及太阳能电池生产技术领域。多层载板搬运系统的多载板提升搬运装置设置于输送带上方且能够移动至多载板缓存升降装置的顶部内，多载板缓存升降装置内具有能够在顶部和底部之间升降移动的多层载板缓存架，多载板提升搬运装置被配置成能够依次抓取输送带上的载板并分层设置，还能够将抓取的分层载板同时搬运并放置于位于多载板缓存升降装置顶部的多层载板缓存架上；多载板输出装置设置于多载板缓存升降装置的底部外，多载板输出装置被配置成能够同时移出位于多载板缓存升降装置底部的多层缓存架上的分层载板。多层载板搬运系统及方法实现多层载板同时传送，用以提高生产效率，保证载板定位精度。保证载板定位精度。保证载板定位精度。

【技术实现步骤摘要】
一种多层载板搬运系统及方法


[0001]本申请涉及太阳能电池生产
，具体而言，涉及一种多层载板搬运系统及方法。

技术介绍

[0002]太阳能电池是公认的未来可大规模推广应用的清洁能源之一，我国对高效电池的支持力度逐年上升，高效异质结电池在高效电池领域中又占据了很大比重。高效异质结电池制备过程中最为关键的工序是PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)、RPD(Rcactivc Plasma Deposition，反应等离子体沉积)或PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)。该工序通常是先通过传送装置将硅片原片移载到载板上，再通过移载机构带动已排布硅片的载板放置到腔室中进行镀膜。
[0003]为了避免镀膜时镀膜到硅片背面，需要将载板及硅片按照精确定位的方式放置于腔室中，一般载板及硅片的放置精度不大于
±
0.1mm。为了保证放置精度，这对载板的定位精度和硅片的放置精度均提出了更高要求。另外，随着镀膜工艺的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层载板搬运系统，其特征在于，其包括多载板提升搬运装置以及沿输送方向依次排布的输送带、多载板缓存升降装置和多载板输出装置；所述多载板提升搬运装置设置于所述输送带上方且能够移动至所述多载板缓存升降装置的顶部内，所述多载板缓存升降装置内具有能够在顶部和底部之间升降移动的多层载板缓存架，所述多载板提升搬运装置被配置成能够依次抓取所述输送带上的载板并分层设置，还能够将抓取的分层载板同时搬运并放置于位于所述多载板缓存升降装置顶部的所述多层载板缓存架上；所述多载板输出装置设置于所述多载板缓存升降装置的底部外，所述多载板输出装置被配置成能够同时移出位于所述多载板缓存升降装置底部的所述多层缓存架上的分层载板。2.根据权利要求1所述的多层载板搬运系统，其特征在于，所述多载板提升搬运装置包括用于分层抓取载板的抓取模组和用于实现所述抓取模组横移的横移模组，所述抓取模组安装于所述横移模组上。3.根据权利要求2所述的多层载板搬运系统，其特征在于，所述抓取模组包括至少两个夹爪组、至少两个夹紧气缸和至少两个升降气缸，所述夹爪组与所述夹紧气缸、所述升降气缸一一对应，每个夹爪组包括相对设置的两个夹爪，所有夹爪组的其中一个夹爪位于所述输送方向的同一侧，所述夹爪组的另外一个夹爪位于所述输送方向的另一侧；每个所述夹紧气缸被配置成能够驱动对应的所述夹爪组张合，每个所述升降气缸被配置成能够驱动对应的所述夹爪组升降。4.根据权利要求3所述的多层载板搬运系统，其特征在于，位于同一侧的所有所述夹爪中的一个夹爪具有缺口，其他夹爪位于所述缺口内，且能够自由移出。5.根据权利要求1所述的多层载板搬运系统，其特征在于，所述多层载板缓存架包括多层层叠设置的缓存托板，每层缓存托板的两侧具有沿输送方向布置的导向槽，所述导向槽的两端分别为插入口和拔出口；可选地，所述导向槽内设置有缓存胶条。6.根据权利要求5所述的多层载板搬运系统，其特征在于，每层所述缓存托板的上板面设置有多个可滚动的支撑轮，所述支撑轮能够托住所...

【专利技术属性】
技术研发人员：许明现，蔡涔，谷士斌，洪昀，张杜超，
申请(专利权)人：东方日升常州新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：