基板处理系统技术方案

本发明专利技术提供了一种基板处理系统，包括装载单元、过渡单元、工艺单元、至少一个第一传送单元、至少一个第一位置检测单元、至少一个第二传送单元以及至少一个第二位置检测单元。所述基板处理系统中，包括第一位置检测单元和第二位置检测单元，从而保证了同一所述第一传送单元中的机械臂部分或全部同步运动，也保证了同一所述第二传送单元中的机械臂部分或全部同步运动，从而能够保证同时在所述装载单元和过渡单元之间，以及所述过渡单元和所述工艺单元之间同时搬运多个基板，提高了基板的处理效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
基板处理系统


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种基板处理系统。

技术介绍

[0002]现有的基板处理系统在基板搬运时，一次仅搬运一片基板，基板的搬运效率很低，从而导致基板处理系统中的过渡单元和工艺单元则会出现大量闲置的情况，大大降低了基板的处理效率。
[0003]因此，有必要提供一种新型的基板处理系统以解决现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种基板处理系统，实现了不同单元之间多个基板的同时搬运，提高了基板的处理效率。
[0005]为实现上述目的，本专利技术的所述基板处理系统，包括：装载单元，用于装载基板；过渡单元，用于临时存放基板和/或对基板进行预处理工艺；工艺单元，用于对基板进行加工工艺；至少一个第一传送单元，设置于所述装载单元和所述过渡单元之间，且所述第一传送单元包括至少两个机械臂，用于在所述装载单元和所述过渡单元之间取放基板；至少一个第一位置检测单元，固定于所述第一传送单元上，用于检测所述第一传送单元中机械臂的位置，以使同一所述第一传送单元中的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理系统，其特征在于，包括：装载单元，用于装载基板；过渡单元，用于临时存放基板和/或对基板进行预处理工艺；工艺单元，用于对基板进行加工工艺；至少一个第一传送单元，设置于所述装载单元和所述过渡单元之间，且所述第一传送单元包括至少两个机械臂，用于在所述装载单元和所述过渡单元之间取放基板；至少一个第一位置检测单元，固定于所述第一传送单元上，用于检测所述第一传送单元中机械臂的位置，以使同一所述第一传送单元中的机械臂部分或全部同步运动；至少一个第二传送单元，设置于所述过渡单元和所述工艺单元之间，且所述第二传送单元包括至少两个机械臂，用于在所述过渡单元和所述工艺单元之间取放基板；以及，至少一个第二位置检测单元，固定于所述第二传送单元上，用于检测所述第二传送单元中机械臂的位置，以使同一所述第一传送单元中的机械臂部分或全部同步运动。2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述第一位置检测单元的数量与所述第一传送单元中机械臂的数量相同，所述第一位置检测单元与所述第一传送单元中的机械臂一一对应设置。3.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述第二位置检测单元的数量与所述第二传送单元中机械臂的数量相同，所述第二位置检测单元与所述第二传送单元中的机械臂一一对应设置。4.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述第一位置检测单元的数量小于所述第一传送单元中机械臂的数量，一个所述第一位置检测单元与所述第一传送单元中的m个机械臂对应设置，m为大于1的自然数。5.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述第二位置检测单元的数量小于所述第二传送单元中机械臂的数量，一个所述第二位置检测单元与所述第二传送单元中的m个机械臂对应设置，m为大于1的自然数。6.根据权利要求1
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5任一所述的基板处理系统，其特征在于，所述第一位置检测单元和所述第二位置检测单元均为影像检测单元、超声波检测单元和光检测单元中的一种。7.根据权利要求6所述的基...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭博，陈兴隆，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：