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本发明提供了一种基板处理系统，包括装载单元、过渡单元、工艺单元、至少一个第一传送单元、至少一个第一位置检测单元、至少一个第二传送单元以及至少一个第二位置检测单元。所述基板处理系统中，包括第一位置检测单元和第二位置检测单元，从而保证了同一所述...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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