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本申请涉及一种机械手手指、机械手及其使用方法。在本申请的一实施例中，所述机械手手指包括：手指；及一或多个测温元件，其设置在所述手指内，并分别连接到所述手指的表面上的一或多个测温触点。所述机械手手指可用于在晶圆的传输过程中实时监测晶圆的温度。...
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