本发明专利技术涉及一种轴连接式的巴条对准和保护装置及工作方法，属于半导体测试领域，包括真空装载平台和对准/保护板，对准/保护板通过一转动轴连接在真空装载平台靠近巴条放置区域的一侧；对准/保护板的材质为具有弹性的高分子材料，在巴条测试前的上条阶段，对准/保护板通过转动轴转动至水平方向起保护作用，用于降低巴条上条阶段的掉落风险；在巴条对准阶段，对准/保护板通过转动轴转动至竖直方向并紧贴真空装载平台，并且对准/保护板的上端高度高于真空装载平台上沿，用于巴条靠在对准/保护板进行对准。本发明专利技术的对准/保护板，能够“一板两用”，在上条时降低巴条在真空控制口掉落的风险，在巴条对准时能够保证巴条整体平行。行。行。
【技术实现步骤摘要】
一种轴连接式的巴条对准和保护装置及其工作方法
[0001]本专利技术涉及一种轴连接式的巴条对准和保护装置及其工作方法，属于半导体测试
，特别是半导体激光器制造中间结构的性能测试。
技术介绍
[0002]半导体激光器(LD)的出现，极大地推动了激光技术的发展，LD由于具有重量轻、体积小、电光转换效率高等显著优点，被广泛应用于信息技术、通信和医学、军事等领域。在半导体激光器的快速发展过程中，如何保证激光器性能的可靠性和重复性是具有较大挑战性的问题，自动巴条测试机在质量把控，确保器件可靠性方面中起到了至关重要的作用。
[0003]从晶片到封装好的激光器的整个流程中，晶片解理成巴条是首要步骤，可以通过表征巴条的电学及光学性能来衡量封装后激光器的性能，若巴条性能表现不佳，封装后的激光器性能也会满足不了使用需求，因此需要通过自动巴条测试机将性能不佳的巴条筛选出来，不再进行下一工艺的进行，这既节约了时间成本同时也提高了产品良率。
[0004]自动巴条测试机可以测试电参数及光学参数，电参数主要包括开启电压、阈值电流、斜率效率、工作电压、电阻等参数；光学参数主要包括波长、半高宽、快轴发散角及慢轴发散角等参数。
[0005]巴条以晶片为基础进行解理，由于在实际的应用过程中，激光器管芯腔长和周期较短，以微米为计量单位，所以通过解理一个晶片可以得到数量众多的巴条，而对于每根巴条，都需要进行性能筛选，因此高效且准确地巴条测试在实际生产中是尤为重要的。
[0006]传统的自动巴条测试机主要包括CCD相机、真空装载平台、积分球、探针及电源等重要组件，测试时将巴条放置在真空装载平台上，通过CCD相机反馈巴条具体位置，继而探针接触巴条进行后续测试。其中将巴条放置在真空装载平台上的过程是首要且复杂的过程，需要上条，摆条及调平行等操作，缩短此过程时间对于整个测试过程而言具有重要的意义。
[0007]欧洲专利EP1220394A2公开了一种自动巴条测试机的检测装置，包括承载装置、可移动测试装置及探测装置，承载装置用来放置巴条，可移动测试装置确保以一个相对方向对半导体激光器进行测试，探测装置用于围绕激光器进行采样，这种巴条测试检测装置较快速，且将测试的错误率降低，保证了测试结果的准确性，为自动巴条测试机的设计提供了一种优化的思路，但此设计并没有过多的关注承载装置的对准和保护需求，依然存在上条摆条耗时且易掉落的问题。
技术实现思路
[0008]针对现有自动巴条测试机的不足，本专利技术提出一种轴连接式的巴条对准和保护装置及其工作方法，本专利技术的对准/保护板，能够“一板两用”，在上条时降低巴条在真空控制口掉落的风险，在巴条对准时能够保证巴条整体平行。
[0009]本专利技术采用以下技术方案：
[0010]一种轴连接式的巴条对准和保护装置，包括真空装载平台和对准/保护板，所述对准/保护板通过一转动轴连接在真空装载平台靠近巴条放置区域的一侧，巴条放置区域设置有真空口，巴条通过真空口吸附在巴条放置区域上，在本专利技术中，真空装载平台优选设有4组真空口，利用真空吸附使巴条固定在真空装载平台上，每个真空口单独开启或关闭，以方便进行上条摆条及自动测试的进行，在探针扎测时保持稳定，测试时通过真空吸附巴条属于常规技术，此处不再赘述；
[0011]所述对准/保护板的材质为具有弹性的高分子材料，可降低对端面的损伤，所述转动轴沿对准/保护板的长度方向设置，在巴条测试前的上条阶段，对准/保护板通过转动轴转动至水平方向起保护作用，用于降低巴条上条阶段的掉落风险；在巴条对准阶段，对准/保护板通过转动轴转动至竖直方向并紧贴真空装载平台，并且对准/保护板的上端高度高于真空装载平台上沿，用于巴条靠在对准/保护板进行对准；
[0012]所述对准/保护板的长度L1大于巴条放置区域长度L2，所述对准/保护板的宽度W大于转动轴到巴条放置区域的距离，小于转动轴到真空装载平台底部的距离。
[0013]本专利技术提供的轴连接式的巴条对准和保护装置，在真空装载平台和对准/保护板之间采用转动轴连接，由于轴的可转动性，使对准/保护板可以更换不同角度，因此对准/保护板可以根据扎测机不同的工作状态更换角度，以启动装置的对准和保护功能。
[0014]优选的，所述对准/保护板的材质为聚酯弹性体、含氟弹性体或有机硅弹性体。若为较硬的材料，如金属材料，则会对巴条表面及巴条端面产生不可逆转的损伤。
[0015]优选的，所述对准/保护板的宽度方向上(即两个短边)，以及远离巴条放置区域的长边方向上(即远离巴条放置区的长边)均设置有保护外沿，除转动轴连接的边以外其他三边均带有保护外沿，所述保护外沿的高度优选为0.5cm，以达到更好地规避巴条掉落的风险。
[0016]在进行扎测测试前的上条阶段，用吸笔将巴条从物料盒中取出，放置到真空口处，期间吸笔一直开启吸附功能，当放置到真空口处的瞬间，吸笔吸附功能关闭，吸附力消失，可能会导致巴条位置脱离真空控制口，传统的自动巴条测试机没有保护装置，巴条存在掉落的风险，本专利技术设置有对准/保护板，具有保护开启，对准/保护板角度旋转到与真空装载平台水平的方向，有效规避了由于吸笔吸附力的瞬间消失导致巴条在真空控制口处掉落的风险，从而避免了巴条因表面或端面损坏而无法继续进行测试的异常情况，具体的：在对准/保护板启用保护功能时，对准/保护板沿真空装载平台水平展开，因为对准/保护板具有1.5cm的宽度及0.5cm的保护外沿，所以在巴条因意外情况从真空装载平台上坠落时及时起到承接作用，防止巴条直接坠落至仪器机箱台面(为金属台面)，与此同时，由于保护板为高分子弹性材料，对巴条表面及端面损伤较小，该巴条可继续根据测试需求进行基本电参数及光参数的测定。
[0017]上条后进入巴条对准阶段，测试人员需要将巴条端面调节至与真空装载平台外延平行且相切的位置，以保证后续积分球进行光采集，分析巴条的光学参数等信息，传统的自动巴条测试机真空装载平台外沿无任何装置，由于此阶段真空口中真空吸附作用，巴条的位置移动较困难，当用推Bar治具对巴条进行位置调整时，如果用力较小，则巴条位置不易移动，用力较大时，则容易导致一端移动过大。本专利技术中设置的对准/保护板具有对准功能，对准/保护板通过转动轴进行角度旋转，对准/保护板位置旋转至与真空装载平台外沿紧贴
的状态，且对准/保护板高度高于真空装载平台上沿，用治具轻轻推动巴条两端死点(即两端未进行光刻、腐蚀等工艺的无图形管芯)，使巴条和真空载物平台最外沿平行且相切，巴条靠近真空装载平台外延排列成一排，因为对准/保护板的存在，巴条位置不会有太大移动，且能保证巴条整体平行，这极大地缩短了巴条调平行的时间，有效提高了巴条测试的整体效率。
[0018]在开始测试前进入测试预备阶段，对准/保护板进入待工作状态，其角度转换成向下且与地面垂直，为测试阶段积分球的工作做好准备。
[0019]优选的，所述对准/保护板的长度L为14cm，略长于巴条放置区域长度L2，对准/保护板宽度W为1.5cm，略高于真空装载平台上沿。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种轴连接式的巴条对准和保护装置，其特征在于，包括真空装载平台和对准/保护板，所述对准/保护板通过一转动轴连接在真空装载平台靠近巴条放置区域的一侧，巴条放置区域设置有真空口，巴条通过真空口吸附在巴条放置区域上；所述对准/保护板的材质为具有弹性的高分子材料，所述转动轴沿对准/保护板的长度方向设置，在巴条测试前的上条阶段，对准/保护板通过转动轴转动至水平方向起保护作用，用于降低巴条上条阶段的掉落风险；在巴条对准阶段，对准/保护板通过转动轴转动至竖直方向并紧贴真空装载平台，并且对准/保护板的上端高度高于真空装载平台上沿，用于巴条靠在对准/保护板进行对准；所述对准/保护板的长度L1大于巴条放置区域长度L2，所述对准/保护板的宽度W大于转动轴到巴条放置区域的距离，小于转动轴到真空装载平台底部的距离。2.根据权利要求1所述的轴连接式的巴条对准和保护装置，其特征在于，所述对准/保护板的材质为聚酯弹性体、含氟弹性体或有机硅弹性体。3.根据权利要求1所述的轴连接式的巴条对准和保护装置，其特征在于，所述对准/保护板的宽度方向上，以及远离巴条放置区域的长边方向上均设置有保护外沿，所述保护外沿的高度优选为0.5cm。4.根据权利要求1所述的轴连接式的巴条对准和保护装置，其特征在于，所述对准/保护板的长度L为14cm，宽度W为1.5cm。5.根据权利要求1所述的轴连接式的巴条对准和保护装置，其特征在于，所述真空装载平台为铜镀金材料。6.根据权利要求1所述的轴连接式的巴条对准和保护装置，其特征在于，所述真空装载平台的巴条放置区域两端分别固定设置有一铜连接块，两铜连接块与对准/保护板之间安装所述转动轴。7.根据权利要求6所述的轴连接式的巴条对准和保护装置，其特征在于，每个铜连接块上设置有圆弧槽，所述转动轴铰接在两铜连接块上且能够在该圆弧槽内转动，所述对准/保护板的长度方向所对应的一边与转动轴固...
【专利技术属性】
技术研发人员：王潇潇，苏建，陈康，郑铁民，徐现刚，
申请(专利权)人：山东华光光电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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