一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法技术方案

本发明专利技术实施例公开了一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法，包括图像采集模块和主控模块；其中，图像采集模块中多个模拟信号处理模块均与数字信号处理模块电连接；主控模块向图像采集模块发送图像采集指令；数字信号处理模块按照同一时钟信号向多个模拟信号处理模块分别发送图像采集指令；模拟信号处理模块激励成像传感器采集图像信息；主控模块计算精确高度数据，以驱动光刻机运动台实现调焦调平。本发明专利技术可以解决现有多路图像调焦调平存在时延的问题，能够实现从采集命令触发到成像传感器采集和反馈均为同一时钟，改善多路成像传感器的图像采集的同步性以及实时性，保证多个调焦调平点的同步配置。焦调平点的同步配置。焦调平点的同步配置。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法


[0001]本专利技术实施例涉及光刻机
，尤其涉及一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法。

技术介绍

[0002]投影光刻机是一种把掩膜图案通过投影物镜投影到硅片表面的设备。在光刻机的曝光过程中，如果硅片相对于物镜焦平面离焦或倾斜，会使曝光视场内某些区域处于有效焦深之外，将严重影响光刻质量，因此必须采用调焦调平系统进行精确控制。
[0003]图1是现有的光刻机调焦调平系统的控制逻辑示意图，参考图1，常见的调焦调平的控制逻辑中，采用多个相机分别采集打在运动台上的多个斑点图像，其中斑点位置对应表明需要调平调焦的点；当相机采集到数据以后，首先传输给图像处理板101，通过FPGA芯片完成粗定位；而后将粗定位的数据传输给多点拟合板102，由多点拟合板102中的DSP芯片进行数据运算得到各个斑点位置的垂向高度数据；而后将该数据告知运动台，运动台会根据各个斑点位置的高度进行垂向控制，使运动台实现调焦调平。
[0004]在该控制方案中，可以看出一个图像处理板设置有三个接口，分别对应接收三个相机的图像采集本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机多路同步调焦调平系统，其特征在于，包括图像采集模块和主控模块；所述图像采集模块包括多个成像传感器、多个模拟信号处理模块和一个数字信号处理模块，所述多个成像传感器和所述多个模拟信号处理模块一一对应电连接，所述多个模拟信号处理模块均与所述数字信号处理模块电连接；所述主控模块用于接收图像采集触发信号，并向所述图像采集模块发送图像采集指令；所述数字信号处理模块用于根据所述图像采集指令，按照同一时钟信号向所述多个模拟信号处理模块分别发送图像采集指令；所述模拟信号处理模块用于根据所述图像采集指令激励对应的所述成像传感器采集光刻机运动台上斑点的图像信息，并转换为数字图像信号；所述数字信号处理模块还用于对所述数字图像信号进行处理并传输给所述主控模块；所述主控模块用于根据所述数字图像信号进行粗定位，生成粗定位高度数据；还用于根据所述数字图像信号和所述粗定位高度数据，计算精确高度数据，并向运动台分系统提供精确高度数据，以驱动所述光刻机运动台实现调焦调平。2.根据权利要求1所述的光刻机多路同步调焦调平系统，其特征在于，所述主控模块包括FPGA芯片和DSP芯片，所述FPGA芯片分别与所述数字信号处理模块和所述DSP芯片电连接；所述DSP芯片用于接收图像采集触发信号，并通过所述FPGA芯片向所述图像采集模块发送图像采集指令；所述数字信号处理模块还用于对所述数字图像信号进行处理并传输给所述FPGA芯片；所述FPGA芯片用于根据所述数字图像信号进行粗定位，生成粗定位高度数据；所述DSP芯片还用于根据所述数字图像信号和所述粗定位高度数据，计算精确高度数据，并通过所述FPGA芯片向运动台分系统提供精确高度数据，以驱动所述光刻机运动台实现调焦调平。3.根据权利要求1所述的光刻机多路同步调焦调平系统，其特征在于，所述图像采集模块还包括移位寄存器电路；所述移位寄存电路包括一个输入端和多个同步输出端，所述多个同步输出端的输出时钟一致；所述移位寄存器电路的输入端与所述数字信号处理模块电连接，所述多个同步输出端分别与多个模拟信号处理模块一一对应电连接。4.根据权利要求1所述的光刻机多路同步调焦调平系统，其特征在于，包括第一板卡和第二板卡，所述主控模块设置在所述第一板卡上，所述成像传感器和所述多个模拟信号处理模块设置在所述第二板卡上；所述数字信号处理模块设置在所述第一板卡或所述第二板卡上；或者，所述光刻机多路同步调教调平系统还包括第三板卡，所述数字信号处理模块设置在所述第三板卡上。5.根据权利要求1所述的光刻机多路同步调焦调平系统，其特征在于，所述光刻机多路同步调教调平系统还包括扩展器，所述扩展器包括一个输出接口和多个输入接口；所述扩展器的输出接口与所述数字信号处理模块电连接，所述扩展器的多个输入端一一对应与所述多个模拟信号处理模块电连接。6.根据权利要求5所述的光刻机多路同步调焦调平系统，其特征在于，所述多个输入接口包括Cameralink接口和网络接口。
7.根据权利要求1所述的光刻机多路同步调焦调平系统，其特征在于，所述FPGA芯片包括图像数据接收模块、触发信号接收模块和高度数据输出模块，所述图像数据接收模块与所述数字信号处理模块电连接，所述触发信号接收模块与整机控制分系统电连接，所述高度数据输出模块与所述运动台分系统电连接。8.一种光刻机多路同步调焦调平方法，其特征在于，采用如权利要求1
‑
7任一项所述的光刻机多路同步调焦调平系统执行，光刻机多路同步调焦调平系统包括多个调焦调平周期，在一个调焦调平周期内，所述光刻机多路同步调焦调平方法包括：主控模块接收图像采集触发信号，并向图像采集模块发送图像采集指令；数字信号处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈钰思阳，杨宣华，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：