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本发明实施例公开了一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法，包括图像采集模块和主控模块；其中，图像采集模块中多个模拟信号处理模块均与数字信号处理模块电连接；主控模块向图像采集模块发送图像采集指令；数字信号处理模块按照同一时钟信号向多个模拟信号处...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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