一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构，解决现有多模非圆柱谐振腔(柱状腔)MPCVD装置密封尺寸过大、密封性能欠佳的技术问题。本实用新型专利技术包括生长腔室，设于生长腔室上方的连通腔室，设于生长腔室内的水冷台，设于水冷台上的螺纹钼台；生长腔室和连通腔室之间设有石英玻璃窗口，生长腔室侧壁开设有侧开口，侧开口上设有炉门，石英玻璃窗口与生长腔室连接处设有第一双槽密封结构，侧开口与生长腔室连接处设有第二双槽密封结构，生长腔室底部开设有排气口，第一双槽密封结构、第二双槽密封结构和排气口连接有真空泵。本实用新型专利技术通过双槽密封结构增强了石英玻璃窗口与柱状腔炉门的密封性能，减少了金刚石的污染。染。染。

A microwave plasma cylindrical cavity double sealing furnace door structure

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构


[0001]本技术属于金刚石加工
，具体涉及一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构。

技术介绍

[0002]MPCVD法是制备高品质金刚石的首选方法，MPCVD法与产生等离子体的其他方法相比，微波激发的等离子体具有无电极物质污染、可控性好、等离子体密度高等一系列优点。金刚石MPCVD装置经历了从早期的石英管式、石英钟罩式，到后期的圆柱谐振腔式、椭球谐振腔式等多个发展阶段。金刚石MPCVD 装置的核心部件是用于产生微波等离子体的谐振腔结构以及谐振腔的真空密封结构，优异的真空性能直接决定金刚石的生产品质。因此，微波谐振腔的设计和改进对金刚石膜沉积技术的发展有着重要的意义。
[0003]多模非圆柱谐振腔(碟形腔)MPCVD装置的专利技术，避免了石英窗口易被氢等离子体刻蚀所造成的硅污染等问题。它的主要特点是从腔体的下方输入微波，其通过一环形天线来完成，而环状的石英窗则被安置在了环形天线的下方，石英窗被藏在沉积台的下方，使石英环远离等离子体。这一设计结构使MPCVD 金刚石膜沉积装置的功率达到了10kw以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构，其特征在于：包括生长腔室(1)，设于生长腔室(1)上方的连通腔室(2)，设于生长腔室(1)内的水冷台(3)，设于水冷台(3)上用于放置金刚石晶体(4)的螺纹钼台(5)；生长腔室(1)和连通腔室(2)之间设有石英玻璃窗口(6)，生长腔室(1)侧壁开设有便于金刚石晶体(4)取放的侧开口(7)，侧开口(7)上设有炉门(8)，石英玻璃窗口(6)与生长腔室(1)连接处设有第一双槽密封结构，侧开口(7)与生长腔室(1)连接处设有第二双槽密封结构，生长腔室(1)底部开设有用于排气的排气口(9)，第一双槽密封结构、第二双槽密封结构和排气口(9)连接有真空泵(10)。2.根据权利要求1所述的一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构，其特征在于：连通腔室(2)内设有用于微波导入的波导管(11)。3.根据权利要求1所述的一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构，其特征在于：螺纹钼台(5)顶部设有等离子体(12)。4.根据权利要求1所述的一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构，其特征在于：第一双槽密封结构包括由内至外依次套装于生长腔室(1)外壁与石英玻璃窗口(6)密封贴合的第一内密封圈(13)和第一外密封圈(14)。5.根据权利要求4所述的一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构，其特征在于：石英玻璃窗口(6)上分别开设有用于第一内密封圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁稳，李兵，袁良，
申请(专利权)人：成都稳正科技有限公司，
类型：新型
国别省市：