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本实用新型公开了一种微波等离子柱状腔体双密封炉门结构，解决现有多模非圆柱谐振腔(柱状腔)MPCVD装置密封尺寸过大、密封性能欠佳的技术问题。本实用新型包括生长腔室，设于生长腔室上方的连通腔室，设于生长腔室内的水冷台，设于水冷台上的螺纹钼台；...
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