一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具，旨在可以适用于不同尺寸抛光底盘的抛光垫的裁剪，并方便收纳存放，其技术方案：一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具，包括主杆、伸缩杆和副杆，所述主杆上设有可转动的转动件，所述伸缩杆的一端通过第一锁紧件与转动件连接、另一端通过第二锁紧件与副杆连接，所述副杆的底部设有刀片；当第一锁紧件和第二锁紧件均处于紧固状态时，将主杆抵紧在抛光垫上且其轴线穿过抛光底盘的圆心与抛光底盘相垂直，刀片抵紧在抛光底盘的外缘跟随伸缩杆的转动进行裁剪；当第一锁紧件和第二锁紧件均处于解锁状态时，主杆和副杆可分别绕伸缩杆的两个端部进行转动，属于半导体晶片加工技术领域。属于半导体晶片加工技术领域。属于半导体晶片加工技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具


[0001]本技术属于半导体晶片加工
，更具体而言，涉及一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具。

技术介绍

[0002]抛光是半导体晶片在加工过程中必不可少的一道工序，可以让半导体晶片的表面光滑，提高其精度。半导体晶片抛光时需要用到抛光垫，抛光垫会粘贴在抛光底盘上，使用时将半导体晶片贴合到抛光垫上，通过抛光底盘的旋转来抛光半导体晶片，为了保证抛光质量，抛光垫需要经常更换。
[0003]抛光垫在更换时，是将抛光垫粘贴到抛光底盘上，然后人工裁剪掉抛光垫的多余部分，使其吻合抛光底盘的盘面，避免旋转时出现脱胶的情况，但是使用刀片直接裁剪时，抛光垫的边缘容易参差不齐，且裁剪效率低。
[0004]针对这种情况，CN113442181A公开了一种用于抛光垫的裁剪装置及方法，所述装置包括：裁剪主体，所述裁剪主体的边缘弧度与抛光盘的边缘弧度相同；所述裁剪主体的至少一端设置有裁剪刀片，所述裁剪刀片能够紧贴所述抛光盘的边缘，以裁剪待裁剪的抛光垫中与所述抛光盘不适应的部分；设置在所述主体上的至少一个按压单元，所述按压单元用于在裁剪过程中按压所述裁剪主体，以实现所述待裁剪的抛光垫在裁剪过程中不会与所述抛光盘之间发生相对移动。
[0005]上述裁剪装置虽然能够裁剪抛光垫，但是其裁剪主体的长度是固定不变的，也就是一个裁剪装置只能对应一个抛光底盘的尺寸进行裁剪，适用性比较差；
[0006]同时，该裁剪装置的结构是无法改变的，既无法伸缩，又无法折叠，在裁剪完毕后，只能够按现状进行存放，非常不好收纳。

技术实现思路

[0007]本技术的主要目的在于提供一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具，旨在可以适用于不同尺寸抛光底盘的抛光垫的裁剪，并方便收纳存放。
[0008]根据本技术的第一方面，提供了一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具，包括主杆、伸缩杆和副杆，所述主杆上设有可转动的转动件，所述伸缩杆的一端通过第一锁紧件与转动件连接、另一端通过第二锁紧件与副杆连接，所述副杆的底部设有刀片；
[0009]当第一锁紧件和第二锁紧件均处于紧固状态时，将主杆抵紧在抛光垫上且其轴线穿过抛光底盘的圆心与抛光底盘相垂直，刀片抵紧在抛光底盘的外缘跟随伸缩杆的转动进行裁剪；
[0010]当第一锁紧件和第二锁紧件均处于解锁状态时，主杆和副杆可分别绕伸缩杆的两个端部进行转动。
[0011]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，所述转动件包括环状本体，所述环状本体内固定有用于与主杆转动连接的轴承，所述环状本体的外壁周向并排布置有两个夹片；
[0012]所述第一锁紧件包括第一螺杆把手、与第一螺杆把手相配合的螺母，所述夹片和伸缩杆上均设有第一通孔，所述第一螺杆把手穿过夹片和伸缩杆上的第一通孔与所述螺母锁紧，拧松第一螺杆把手主杆便可绕伸缩杆的端部进行转动。
[0013]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，所述第二锁紧件包括第二螺杆把手，所述伸缩杆上设有第二通孔，所述副杆上设有与第二通孔相对应的第一螺纹孔，所述第二螺杆把手穿过第二通孔与第一螺纹孔锁紧，拧松第二螺杆把手副杆便可绕伸缩杆的端部进行转动。
[0014]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，所述伸缩杆包括第一管体、套设在第一管体内的第二管体，所述第一管体与转动件连接，所述第二管体与第二锁紧件连接且可沿第一管体的长度方向伸缩；所述第一管体和第二管体均为方管。
[0015]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，所述第一管体上设有沿其长度方向延伸的长腰孔，所述第二管体上设有与长腰孔相对应的第二螺纹孔，还包括第三螺杆把手，所述第三螺杆把手穿过长腰孔与第二螺纹孔锁紧，进而阻止第二管体的伸缩。
[0016]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，当第一锁紧件和第二锁紧件均处于紧固状态时，主杆与第一管体之间的夹角为90
°
，副杆与第二管体之间的夹角为90
°
。
[0017]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，所述第一管体的上侧设有第一限位板，所述第一限位板用于抵紧夹片靠近第一管体的一端，当主杆向上转动使夹片抵紧第一限位板时，主杆与第一管体之间的夹角为90
°
。
[0018]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，所述第二管体的上侧设有第二限位板，所述第二限位板用于抵紧副杆靠近第一管体的一侧，当副杆向上转动抵紧第二限位板时，副杆与第二管体之间的夹角为90
°
。
[0019]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，所述主杆用于与抛光垫接触的一面设有弹性软垫。
[0020]上述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具中，所述刀片通过一刀片夹具固定在所述副杆的底部。
[0021]本技术上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
[0022]本技术中，当第一锁紧件和第二锁紧件均处于紧固状态时，主杆会抵紧在抛光垫上且其轴线穿过抛光底盘的圆心与抛光底盘相垂直，伸缩杆可以绕着主杆转动，进而带着副杆和刀片一起转动，刀片抵紧在抛光底盘的边缘裁剪抛光垫，伸缩杆可以改变主杆与副杆之间的距离，进而改变刀片的旋转半径，可以适用于不同尺寸抛光底盘的抛光垫的裁剪；
[0023]当第一锁紧件和第二锁紧件均处于解锁状态时，主杆和副杆可分别绕伸缩杆的两个端部进行转动，进而折叠整个工具，使该工具便于收纳存放。
附图说明
[0024]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0025]图1是本技术实施例1的正视图；
[0026]图2是本技术实施例1的俯视图；
[0027]图3是本技术实施例1折叠时的结构示意图；
[0028]图4是本技术实施例1使用时的结构示意图。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本技术的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0030]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同方案。
[0031]实施例1
[0032]参照图1至图4所示，本技术一个实施例中，一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具，包括主杆1、伸缩杆2和副杆3，所述主杆1上设有可转动的转动件4，所述伸缩杆2的一端通过第一锁紧件5与转动件4连接、另一端通过第二锁紧件6与副杆3连接，所述副杆3的底部设有刀片7；
[0033]当第一锁紧件5和第二锁紧件6均处于紧固状态时，将主杆1抵紧在抛光垫上且其轴线穿过抛光底盘的圆心与抛光底盘相垂直，刀片7抵紧在抛光底盘的外缘跟随伸缩杆2的转动裁剪抛光垫，伸缩杆2可以改变主杆1与副杆3之间的距离，进而改变刀片7的旋转半径，可以适用于不同尺寸抛光底盘的抛光垫的裁剪；
[0034]当第一锁紧件5和第二锁紧件6均处于解锁状态时，主杆1和副杆3可分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具，其特征在于，包括主杆、伸缩杆和副杆，所述主杆上设有可转动的转动件，所述伸缩杆的一端通过第一锁紧件与转动件连接、另一端通过第二锁紧件与副杆连接，所述副杆的底部设有刀片；当第一锁紧件和第二锁紧件均处于紧固状态时，将主杆抵紧在抛光垫上且其轴线穿过抛光底盘的圆心与抛光底盘相垂直，刀片抵紧在抛光底盘的外缘跟随伸缩杆的转动进行裁剪；当第一锁紧件和第二锁紧件均处于解锁状态时，主杆和副杆可分别绕伸缩杆的两个端部进行转动。2.根据权利要求1所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具，其特征在于，所述转动件包括环状本体，所述环状本体内固定有用于与主杆转动连接的轴承，所述环状本体的外壁周向并排布置有两个夹片；所述第一锁紧件包括第一螺杆把手、与第一螺杆把手相配合的螺母，所述夹片和伸缩杆上均设有第一通孔，所述第一螺杆把手穿过夹片和伸缩杆上的第一通孔与所述螺母锁紧，拧松第一螺杆把手主杆便可绕伸缩杆的端部进行转动。3.根据权利要求1所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具，其特征在于，所述第二锁紧件包括第二螺杆把手，所述伸缩杆上设有第二通孔，所述副杆上设有与第二通孔相对应的第一螺纹孔，所述第二螺杆把手穿过第二通孔与第一螺纹孔锁紧，拧松第二螺杆把手副杆便可绕伸缩杆的端部进行转动。4.根据权利要求1所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具，其特征在于，所述伸缩杆包括第一管体、套设在第一管体内的第二管体，所述第一管体与转动件连接，所述第二管体与第二锁紧件...

【专利技术属性】
技术研发人员：翁吉露，郑金龙，周铁军，廖彬，曾琦，王驭辉，张昌文，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：