一种分子泵的动叶列组及分子泵制造技术

本实用新型专利技术提供的一种分子泵的动叶列组及分子泵，属于分子泵技术领域，分子泵的动叶列组包括：第一叶列，至少具有一层；所述第一叶列包括第一中心圆盘和多个围绕所述第一中心圆盘周向设置的第一叶齿；所述第一叶齿的齿面为扭曲面；第二叶列，至少具有一层；所述第二叶齿的齿面为直面；本实用新型专利技术的分子泵的动叶列组，通过将第一叶列的齿面设置为扭曲面，可以实现增加沿第一圆盘中心的周向设置第一叶齿的数量，加大叶齿的倾角，加大节弦比，增加叶齿的表面积，达到提高叶列组的抽速；同时，所述第二叶列的第二叶齿的齿面仍设置为直面，有效的保证了加工制造成本。保证了加工制造成本。保证了加工制造成本。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵的动叶列组及分子泵


[0001]本技术涉及分子泵
，具体涉及一种分子泵的动叶列组及分子泵。

技术介绍

[0002]分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
[0003]其中，动叶列组是分子泵最核心的部件，动叶列组是由多层叶列组成；在现有技术中，每组动叶列的结构基本不相同，从而前段获得较大的抽速和后端获得较大的压缩比。

技术实现思路

[0004]因此，本技术提供了一种提高分子泵整体前段获得较大抽速和后端获得较大的压缩比的分子泵的动叶列组。
[0005]本技术还提供一种分子泵。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供的一种分子泵的动叶列组，包括：
[0007]第一叶列，至少具有一层；所述第一叶列包括第一中心圆盘和多个围绕所述第一中心圆盘周向设置的第一叶齿；所述第一叶齿的齿面为扭曲面；
[0008]第二叶列，至少具有一层；包括第二中心圆盘和围绕所述第二中心圆盘周向设置的第二叶齿；所述第二叶齿的齿面为直面。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分子泵的动叶列组，其特征在于，包括：第一叶列(1)，至少具有一层；所述第一叶列(1)包括第一中心圆盘(4)和多个围绕所述第一中心圆盘(4)周向设置的第一叶齿(3)；所述第一叶齿(3)的齿面(9)为扭曲面；第二叶列(2)，至少具有一层；包括第二中心圆盘(6)和围绕所述第二中心圆盘(6)周向设置的第二叶齿(5)；所述第二叶齿(5)的齿面(9)为直面。2.根据权利要求1所述的分子泵的动叶列组，其特征在于，所述第一叶齿(3)的齿顶(8)的中心线与水平面所成的锐角夹角为α，α的范围为25
°‑
35
°
；所述第一叶齿(3)的齿根(7)的中心线与水平面所成的锐角夹角为β，β的范围为45
°‑
55
°
。3.根据权利要求2所述的分子泵的动叶列组，其特征在于，所述第一叶齿(3)的齿顶(8)的中心线与水平面所成的锐角夹角为α，α为30
°
；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓高飞，张鹏，王浩为，罗守庚，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：