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一种分子泵的动叶列组及分子泵制造技术
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文档序号:33971829
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本实用新型提供的一种分子泵的动叶列组及分子泵,属于分子泵技术领域,分子泵的动叶列组包括:第一叶列,至少具有一层;所述第一叶列包括第一中心圆盘和多个围绕所述第一中心圆盘周向设置的第一叶齿;所述第一叶齿的齿面为扭曲面;第二叶列,至少具有一层;所...
该专利属于北京中科九微科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中科九微科技有限公司授权不得商用。
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