一种D320干涉仪标准镜装置制造方法及图纸

技术编号:33970049 阅读:14 留言:0更新日期:2022-06-30 02:18
本实用新型专利技术公开了一种D320干涉仪标准镜装置,包括自下而上依次设置的干涉仪本体、移相器、标准镜本体、待测载台以及反射标准镜,还包括对标准镜本体进行安装的夹持组件与对标准镜本体高度进行调节的调节组件;所述夹持组件数量为两组且呈相对设置,所述夹持组件包括夹持驱动器与位于所述夹持驱动器活塞杆端的夹持块;所述调节组件包括调节驱动器与位于所述调节驱动器活塞杆端的升降板,所述夹持驱动器位于所述升降板两端,所述夹持块位于所述升降板上。本实用新型专利技术采用夹持组件对标准镜本体进行快速夹紧,夹持稳定性高,有效地保证了后续的检测效果,采用调节组件对标准镜本体与干涉仪之间的间距位置进行调整,提高了操作效率与操作精度。与操作精度。与操作精度。

【技术实现步骤摘要】
一种D320干涉仪标准镜装置


[0001]本技术属于标准镜
,尤其涉及一种D320干涉仪标准镜装置。

技术介绍

[0002]D320标准镜,是一种相较于普通标准镜口径更大的标准镜,在进行光学检测过程中,D320标准镜会与干涉仪配合,进而对待测产品的光学性能进行有效的检测。
[0003]在D320标准镜的实际使用中,根据待测产品的结构不同,需要对D320标准镜与干涉仪之间的间距位置进行调整,目前采用的调整方式为人工调整,即操作中手持工具将D320标准镜从干涉仪上拆卸下来,根据实际需求,将其安装于相应位置处,以满足待测产品的检测需求,这种人工调整的方式存在着较大缺陷,比如操作步骤繁杂、操作精度较低等问题。

技术实现思路

[0004]本技术克服了现有技术的不足,提供一种D320干涉仪标准镜装置,以解决现有技术中存在的问题。
[0005]为达到上述目的,本技术采用的技术方案为:一种D320干涉仪标准镜装置,包括自下而上依次设置的干涉仪本体、移相器、标准镜本体、待测载台以及反射标准镜,还包括对标准镜本体进行安装的夹持组件与对标准镜本体高度进行调节的调节组件;其中:
[0006]所述夹持组件数量为两组且呈相对设置,所述夹持组件包括夹持驱动器与位于所述夹持驱动器活塞杆端的夹持块,所述夹持块为半圆形环状结构体,所述夹持块上设有环状卡槽,两个夹持块形成对标准镜本体进行安装的圆形环状结构体;
[0007]所述调节组件包括调节驱动器与位于所述调节驱动器活塞杆端的升降板;所述夹持驱动器位于所述升降板两端,所述夹持块位于所述升降板上,所述调节组件对安装后的标准镜本体进行高度调节。
[0008]本技术一个较佳实施例中,所述干涉仪本体上设置有竖向立板,所述升降板、待测载台以及发射标准镜呈自下而上间隔设置。
[0009]本技术一个较佳实施例中,所述竖向立板上设置有导轨,所述升降板通过所述导轨与所述竖向立板连接。
[0010]本技术一个较佳实施例中,所述导轨上设置有刻度线。
[0011]本技术一个较佳实施例中,所述夹持驱动器与所述调节驱动器均为液压缸。
[0012]本技术一个较佳实施例中,所述环状卡槽内设有填充轨道,所述填充轨道内填充有海绵。
[0013]本技术一个较佳实施例中,所述填充轨道数量为两组且位于所述环状卡槽两端。
[0014]本技术一个较佳实施例中,所述调节驱动器数量为两个且分列于所述升降板两端。
[0015]本技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷,本技术具备以下有益效果:
[0016](1)本技术采用夹持组件对标准镜本体进行快速夹紧,夹持稳定性高,有效地保证了后续的检测效果,采用调节组件对标准镜本体与干涉仪之间的间距位置进行调整,减少人力消耗的同时,提高了操作效率与操作精度;
[0017](2)导轨上刻度线的存在,能够对标准镜本体的位置进行实时观察,保证标准镜本体所处的位置精度,进而保证后续对产品的检测精度。
附图说明
[0018]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明;
[0019]图1为本技术优选实施例的整体结构示意图;
[0020]图2为图1中A部放大图;
[0021]图3为本技术优选实施例的主视图;
[0022]图中:100、干涉仪本体;200、移相器;400、待测载台;500、反射标准镜;
[0023]1、夹持组件;11、夹持驱动器;12、夹持块;121、环状卡槽;2、调节组件;21、调节驱动器;22、升降板;3、竖向立板;4、导轨;41、刻度线;5、填充轨道。
具体实施方式
[0024]以下将以图式揭露本技术的多个实施方式,为明确说明起见,许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而,应了解到,这些实务上的细节不应用以限制本技术。也就是说,在本技术的部分实施方式中,这些实务上的细节是非必要的。此外,为简化图式起见,一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
[0025]另外,在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,并非特别指称次序或顺位的意思,亦非用以限定本技术,其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本技术要求的保护范围之内。
[0026]如图1所示,一种D320干涉仪标准镜装置,包括自下而上依次设置的干涉仪本体100、移相器200、标准镜本体、待测载台400以及反射标准镜500,还包括对标准镜本体进行安装的夹持组件1与对标准镜本体高度进行调节的调节组件2,将待测产品放置在待测载台400上之后,根据产品的实际检测需求,由调节组件2对标准镜本体(图中未示出)与干涉仪本体100之间的距离进行调整,以满足产品的实际检测需求,调整完成之后,由干涉仪本体100、移相器200、标准镜本体以及反射标准镜500配合,实现对待测产品的光学性能检测。
[0027]结合图1与图2所示,夹持组件1数量为两组且呈相对设置,夹持组件1包括夹持驱动器11与位于夹持驱动器11活塞杆端的夹持块12,夹持块12为半圆形环状结构体,夹持块12上设有环状卡槽121,两个夹持块12形成对标准镜本体进行安装的圆形环状结构体,在对标准镜本体进行安装过程中,操作者可将标准镜本体放置在两个夹持块12的环状卡槽121内,而环状卡槽121内设有填充轨道5,填充轨道5内填充有海绵,填充轨道5数量为两组且位
于环状卡槽121两端,两组填充轨道5的存在,通过填充海绵,能够对标准镜本体两面进行柔性支撑,避免标准镜本体受损,进而保证检测效果。
[0028]结合图1与图3所示,调节组件2包括调节驱动器21与位于调节驱动器21活塞杆端的升降板22;夹持驱动器11位于升降板22两端,夹持块12位于升降板22上,调节组件2对安装后的标准镜本体进行高度调节,在对标准镜本体安装完成之后,根据产品的实际检测需求,由调节组件2对标准镜本体所处高度进行调节,即对标准镜本体与干涉仪本体100之间的距离进行调整,采用夹持驱动器11驱动升降板22进行运动,由升降板22带动标准镜本体进行运动,以满足产品的实际检测需求。
[0029]在本实施例中,干涉仪本体100上设置有竖向立板3,升降板22、待测载台400以及发射标准镜呈自下而上间隔设置,升降板22能够相对竖向立板3进行上下运动,而待测载台400与发射标准镜固定于竖向立板3上。
[0030]进一步地,在本实施例中,竖向立板3上设置有导轨4,升降板22通过导轨4与竖向立板3连接,导轨4上设置有刻度本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种D320干涉仪标准镜装置,包括自下而上依次设置的干涉仪本体、移相器、标准镜本体、待测载台以及反射标准镜,其特征在于,还包括对标准镜本体进行安装的夹持组件与对标准镜本体高度进行调节的调节组件;其中:所述夹持组件数量为两组且呈相对设置,所述夹持组件包括夹持驱动器与位于所述夹持驱动器活塞杆端的夹持块,所述夹持块为半圆形环状结构体,所述夹持块上设有环状卡槽,两个夹持块形成对标准镜本体进行安装的圆形环状结构体;所述调节组件包括调节驱动器与位于所述调节驱动器活塞杆端的升降板,所述夹持驱动器位于所述升降板两端,所述夹持块位于所述升降板上,所述调节组件对安装后的标准镜本体进行高度调节。2.根据权利要求1所述的D320干涉仪标准镜装置,其特征在于,所述干涉仪本体上设置有竖向立板,所述升降板、待测载台以...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴爱华彭永民
申请(专利权)人:苏州沛斯仁光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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