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本实用新型公开了一种D320干涉仪标准镜装置，包括自下而上依次设置的干涉仪本体、移相器、标准镜本体、待测载台以及反射标准镜，还包括对标准镜本体进行安装的夹持组件与对标准镜本体高度进行调节的调节组件；所述夹持组件数量为两组且呈相对设置，所述夹...
该专利属于苏州沛斯仁光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州沛斯仁光电科技有限公司授权不得商用。

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