【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电力电子技术和电磁兼容技术，特别涉及离子注入机中的大功率工频变压器软启动装置。
技术介绍
现有的半导体集成电路制造技术中，离子注入机是必不可少的工艺设备。在离子注入机中有不少大功率工频变压器，在过去，启动这些变压器采用硬启动的办法，常常由于启动电流过大出现保险丝烧断或断路器跳闸而使启动失败，而且这种硬启动出现的大的过渡过程会产生很大的电磁干扰而影响其他电子设备的正常运行。近些年多采用软启动的办法，在电源与被控变压器之间串联限流电力器件，能使启动电流逐渐平滑地升高达到额定值，克服了硬启动的不足。但是，在已采用的软启动装置回路中，有的由于限流时间过长而影响变压器工作，有的因电路元件多、设计复杂，影响电路可靠性。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术中存在的缺陷，提供一种通过工频低压配电及控制的大功率工频变压器软启动装置。为了实现上述目的，本技术的大功率工频变压器软启动装置串联在电源与被控变压器之间，包括断路器和与其串联的软启动控制单元，其中软启动控制单元主要包括大功率限流电阻和与其并联的软启动开关，断路器的开关与软启动开关之间连接有延时单元。所述的软启动...
【技术保护点】
一种大功率工频变压器软启动装置，串联在电源与被控变压器（Ｔ）之间，其特征在于，它包括断路器（ＣＢ）和与其串联的软启动控制单元（ＳＣ），其中软启动控制单元（ＳＣ）主要包括大功率限流电阻（Ｒ）和与其并联的软启动开关（Ｋ），断路器（ＣＢ）的开关与软启动开关（Ｋ）之间连接有延时单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙雪平，蔡先武，郭健辉，文超，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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