物品搬运车制造技术

物品搬运车具备行进体、保持物品（6）的保持装置（23）、搭载于行进体而使保持装置相对于行进体升降的升降装置，保持装置具备与升降装置连结的连结部（31）、支承物品的物品支承部（51），其特征在于，保持装置具备弹性支承机构（36）和引导机构（37），前述弹性支承机构被设置于物品支承部和连结部之间，将物品支承部以相对于连结部在上下方向上具有弹性的状态支承，前述引导机构将物品支承部相对于连结部的上下方向的移动引导，引导机构允许物品支承部相对于连结部的上下方向的平行移动，并且限制物品支承部相对于连结部的摆动。品支承部相对于连结部的摆动。品支承部相对于连结部的摆动。

【技术实现步骤摘要】
物品搬运车


[0001]本专利技术涉及物品搬运车，前述物品搬运车具备沿行进路径行进的行进体、保持物品的保持装置、搭载于行进体而使保持装置相对于行进体升降的升降装置。

技术介绍

[0002]以往的这种物品搬运车被日本特开2016
‑
094263号公报(专利文献1)公开。以下，
技术介绍
的说明中括号内表示的附图标记是专利文献1的附图标记。
[0003]专利文献1所公开的物品搬运车(1)具备在行进轨道(2)上沿移动路径行进的行进移动部(16)、支承于行进移动部(16)且将物品(搬运物6)悬挂支承的支承机构(23)、将支承机构(23)升降移动自如地支承的升降支承部(17)。支承机构(23)具有升降体(31)、引导支承部(35)、缓冲体(36)，前述缓冲体(36)位于升降体(31)和引导支承部(35)之间，承受引导支承部(35)的载荷，在上下方向上自由地弹性变形。因此，能够将行进移动部(16)行进时的振动、升降体(31)升降时传向物品(6)的振动抑制成较少。
[0004]专利文献1所公开的物品搬运车(1)为了将物品(6)载置于地面上的支承台(4)，使缠绕体(28)旋转驱动，将卷绕带(24a)放出，由此，使支承机构(23)与物品(6)一同下降。一般地，在支承台(4)设置有用于将物品(6)定位的定位销等定位机构，所以为了将物品(6)适当地移载至支承台(4)，需要使物品(6)以适当的姿势下降至支承台(4)。
[0005]但是，专利文献1所公开的物品搬运车(1)中，引导支承部(35)相对于升降体(31)被经由缓冲体(36)支承，所以相对于引导支承部(35)作用偏移的载荷的情况下，有引导支承部(35)相对于升降体(31)倾斜的情况。例如，在物品(6)的重心的位置有偏移的情况下等，缓冲体(36)的变形量上产生偏移，有引导支承部(35)相对于升降体(31)倾斜、物品(6)呈相对于适当的姿势倾斜的姿势的情况。这样，物品(6)相对于适当的姿势倾斜的姿势下下降至支承台(4)的情况下，有不能将物品(6)适当地移载至支承台(4)的情况。另一方面，若为了限制物品(6)呈倾斜的姿势而使缓冲体(36)的弹性模量变高，则难以将传向物品(6)的振动适当地抑制。

技术实现思路

[0006]因此，希望实现一种物品搬运车，前述物品搬运车能够将传向物品的振动抑制成较少，且能够抑制物品相对于适当的姿势倾斜，将物品适当地载置于载置部位。
[0007]本申请的物品搬运车的特征在于，具备行进体、保持装置、升降装置，前述行进体沿行进路径行进，前述保持装置保持物品，前述升降装置被搭载于前述行进体，使前述保持装置相对于前述行进体升降，前述保持装置具备与前述升降装置连结的连结部、接触前述物品来支承前述物品的物品支承部，前述保持装置具备弹性支承机构和引导机构，前述弹性支承机构被设置于前述物品支承部和前述连结部之间，将前述物品支承部以相对于前述连结部在上下方向上具有弹性的状态支承，前述引导机构将前述物品支承部相对于前述连结部的前述上下方向的移动引导，前述引导机构构成为，允许前述物品支承部相对于前述
连结部的前述上下方向平行移动，并且限制前述物品支承部相对于前述连结部的摆动。
[0008]根据本结构，在物品支承部和连结部之间设置有弹性支承机构，所以能够借助弹性支承机构使行进体行进引起的行进体的振动、被升降装置升降引起的保持装置的振动等衰减。由此，能够将传向物品的振动抑制成较少。
[0009]此外，根据本结构，引导机构构成为限制物品支承部相对于连结部的摆动，所以能够限制物品支承部相对于连结部倾斜。因此，例如物品的重心有偏移等而相对于物品支承部作用偏移的载荷的情况下，也能够限制物品支承部及支承于物品支承部的物品相对于连结部倾斜。因此，借助升降装置使保持装置下降来将物品载置于载置部位的情况下，能够避免发生物品的姿势相对于适当姿势倾斜从而不能将物品适当地载置的情况。另一方面，引导机构允许物品支承部相对于连结部的上下方向的平行移动。因此，不会由于引导机构妨碍借助弹性支承机构缓和作用于物品支承部及支承于物品支承部的物品的上下方向的振动的效果。
[0010]这样根据本结构，能够将传向物品的振动抑制成较少，且能够抑制物品相对于适当的姿势倾斜，将物品适当地载置于载置部位。
附图说明
[0011]图1是物品搬运设备的侧视图。
[0012]图2是顶棚搬运车的侧视图。
[0013]图3是一对搬运物支承部位于支承用位置的保持装置的纵剖侧视图。
[0014]图4是保持装置的俯视图。
[0015]图5是在物品搬运车的行进状态下物品支承部向行进方向倾斜的情况的侧视图。
[0016]图6是物品被适当地移载至载置部位的情况的侧视图。
[0017]图7是物品被以倾斜的状态移载至载置部位的情况的侧视图。
具体实施方式
[0018]1.实施方式以下，基于附图，对将本专利技术的物品搬运车应用于物品搬运设备的情况的实施方式进行说明。
[0019]如图1所示，在物品搬运设备设置有物品搬运车1、处理装置3和支承台等载置部位4，前述物品搬运车1构成为，沿配设于顶棚侧的行进轨道2行进自如的顶棚搬运车，前述处理装置3相对于容纳于物品6的基板进行处理，前述支承台等载置部位4被以与该处理装置3相邻的状态设置于地面上。这里，支承台是物品搬运车1的物品6的载置部位4的一例。这样，在本实施方式中，由行进轨道2构成物品搬运车1的行进路径。被物品搬运车1搬运的物品6是将容纳物容纳的搬运容器，具体地，是容纳多个半导体基板作为容纳物的前端开启式晶圆传送盒(Front Opening Unify Pod)。
[0020]载置物品6的支承台等载置部位4被在物品搬运车1的行进路径的下方设置，被沿物品搬运车1的行进方向X设置多个。物品搬运车1搬运物品6且借助升降装置24使物品6下降，将物品6载置于载置部位4。此外，物品搬运车1从载置部位4接收物品6，借助升降装置24使其上升，向另外的搬运目的地搬运物品6。在本实施方式中，将这样的物品搬运车1和载置
部位4之间的物品6的交接称作移载，将这样的动作称作移载动作。在本实施方式中，在载置部位4的载置物品6的载置面4a，设置有物品6的定位用的卡合凸部P。本例中，在载置面4a上，三个卡合凸部P被以位于三角形的顶点部分的位置关系配置。本例中，作为物品6的前端开启式晶圆传送盒被载置于作为载置部位4的支承台后，借助处理装置3从该前端开启式晶圆传送盒内取出半导体基板，进行既定的处理。并且，物品搬运车1接收容纳有处理已完成的半导体基板的前端开启式晶圆传送盒，向另外的处理装置3等搬运目的地搬运。
[0021]〔物品〕如图2所示，本实施方式的物品6具备容纳多个基板的主体部7、在比该主体部7靠上方的物品6的上部具备的凸缘部9。此外，该物品6具备将在主体部7的前表面形成的基板出入用的开口关闭的盖体5(参照图6)。盖体5被相对于主体部7装卸自如地设置。另外，以下，沿着上下方向Z的上下方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物品搬运车，其特征在于，具备行进体、保持装置、升降装置，前述行进体沿行进路径行进，前述保持装置保持物品，前述升降装置被搭载于前述行进体，使前述保持装置相对于前述行进体升降，前述保持装置具备与前述升降装置连结的连结部、接触前述物品来支承前述物品的物品支承部，前述保持装置具备弹性支承机构和引导机构，前述弹性支承机构被设置于前述物品支承部和前述连结部之间，将前述物品支承部以相对于前述连结部在上下方向上具有弹性的状态支承，前述引导机构将前述物品支承部相对于前述连结部的前述上下方向的移动引导，前述引导机构构成为，允许前述物品支承部相对于前述连结部的前述上下方向平行移动，并且限制前述物品支承部相对于前述连结部的摆动。2.如权利要求1所述的物品搬运车，其特征在于，前述物品支承部具备一对把持部，一对前述把持部被配置成，在作为沿着前述行进路径的方向的行进方向上彼此离开，前述弹性支承机构以一对把持部彼此独立地上下移动的方式支承一对前述把持部，前述引导机构构成为引导关于一对把持部的每一个的相对于前述连结部的前述上下方向的移动。3.如权利要求2所述的物品搬运车，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：富田大地，大塚洋，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：