一种LCD管靶的两端喷砂防护治具及其使用方法技术

技术编号:33926616 阅读:13 留言:0更新日期:2022-06-25 21:49
本发明专利技术提供一种LCD管靶的两端喷砂防护治具及其使用方法,所述两端喷砂防护治具包括设置在LCD管靶的第一端的一体型防护治具和设置在LCD管靶的第二端的分体型防护治具;所述分体型防护治具由卡箍固定连接的两个完全相同的第一部件和第二部件组成;所述LCD管靶的两端喷砂防护治具的使用方法操作简单,实现了两端喷砂防护治具快速安装及拆卸,适合应用于LCD管靶的大规模工业化生产。LCD管靶的大规模工业化生产。LCD管靶的大规模工业化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种LCD管靶的两端喷砂防护治具及其使用方法


[0001]本专利技术涉及管靶加工
,尤其涉及一种LCD管靶的两端喷砂防护治具及其使用方法。

技术介绍

[0002]近年来,随着溅射靶材和溅射技术的日益发展,溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用,溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。为了提高靶材的利用率,人们越来越多地制造和使用管状靶材(简称管靶),即把靶材做成管子形状,管子里面装有静止不动的磁体。溅射过程中,管靶以一定的速度转动,所以也被称为旋转靶材。由于转动的管靶和静止不动的磁体之间发生相对运动,使得整个管靶表面均匀地发生溅射,靶材材料的利用率可以高达70%以上。与平面靶相比,管靶具有利用率高、镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点,是理想的溅射靶材,市场需求量巨大。随着镀膜行业从使用平面靶向使用管靶转变,管靶正在成为磁控溅射设备的标准选材。
[0003]对管靶进行喷砂处理是靶材组件加工过程的一个重要工艺。喷砂处理是采用压缩空气为动力,以形成高速喷射束将喷料(铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂、海砂)高速喷射到需处理工件表面,使工件表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲击和切削作用,使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度,使工件表面的机械性能得到改善,因此提高了工件的抗疲劳性,增加了它和涂层之间的附着力,延长了涂膜的耐久性,也有利于涂料的流平和装饰。在喷砂过程中,需要对非喷砂面进行防护,避免非喷砂面喷伤。
[0004]CN207480409U公开了一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,包括端部设有卡槽的靶材备管,还包括缓冲层和防护层,所述缓冲层覆盖卡槽的内壁和外壁,防护层套设在缓冲层的外侧,防护层通过锁紧件固定在靶材备管的端部,所述大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置可以根据备管卡槽尺寸灵活调整防护装置尺寸,对备管卡槽进行精准防护,且拆卸方便。
[0005]CN208791738U公开了一种旋转靶材用的连接装置、端盖及防护装置,所述连接装置包括端盖和防护装置,所述端盖包括轴连接器和插接靶材的靶材连接器,所述防护装置与所述端盖相配合,所述防护装置包括防护罩,所述防护罩由至少两个弧形的子罩体首尾相连共同围合形成,所述防护罩包覆所述靶材连接器和所述靶材的端部,所述防护罩包覆所述靶材连接器的一端设置有防护板,所述防护板固定于所述靶材连接器的靠近所述轴连接器的端面。所述旋转靶材用的防护装置能够防止喷涂过程中的粉末溅射到端盖上,延长端盖的使用寿命,而且喷涂靶材的效率更高。
[0006]但上述防护装置的结构复杂,在实际使用过程中安装、拆卸较为困难,不适合工厂大规模使用。
[0007]液晶显示屏(LCD)制备过程中用到的LCD管靶的各项指标要求极为严格,因此,开发一种结构简单、使用方便的LCD管靶的两端喷砂防护治具及其使用方法具有重要意义。

技术实现思路

[0008]鉴于现有技术中存在的问题,本专利技术提供一种LCD管靶的两端喷砂防护治具及其使用方法,所述两端喷砂防护治具对LCD管靶的两端分别进行有效防护,避免了LCD管靶两端的非喷砂面在喷砂处理过程中造成损伤,同时避免了两端喷砂死角的产生,保证了LCD管靶的成材率;所述两端喷砂防护治具的使用方法操作简单,实现了两端喷砂防护治具快速安装及拆卸,适合应用于LCD管靶的大规模工业化生产。
[0009]为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:
[0010]第一方面,本专利技术提供一种LCD管靶的两端喷砂防护治具,所述两端喷砂防护治具包括设置在LCD管靶的第一端的一体型防护治具和设置在LCD管靶的第二端的分体型防护治具;所述分体型防护治具由卡箍固定连接的两个完全相同的第一部件和第二部件组成。
[0011]LCD管靶在喷砂处理过程中的非喷砂面包括两端非喷砂面和中间非喷砂面两大部分,本专利技术提供一种LCD管靶的两端喷砂防护治具对两端非喷砂面进行防护。其中,一体型防护治具对LCD管靶的第一端非喷砂面进行有效防护,防止第一端的非喷砂面损伤。由于LCD管靶的第二端的尾部设置有法兰,不利于一体型防护治具的安装,因此,本专利技术还提供分体型防护治具,对LCD管靶第二端的非喷砂面进行有效防护;所述分体型防护治具通过卡箍进行固定,方便安装及拆卸。卡箍是本领域技术人员公知的一种连接部件,起紧箍连接作用。本专利技术所述的两端喷砂防护治具相较于现有技术中仅使用防护胶带对LCD管靶进行喷砂防护遮蔽而言,实现了对LCD管靶两端非喷砂面的有效防护,不会由于喷砂气压较大等因素造成两端喷砂防护治具脱落现象,具有大规模推广应用潜力。
[0012]优选地,所述LCD管靶的第二端的尾部设置有法兰。
[0013]优选地,所述一体型防护治具包括沿着LCD管靶的第一端向内依次设置的空心圆柱和空心圆台;所述空心圆柱和空心圆台一体成型。
[0014]优选地,所述空心圆柱的厚度为1~1.5cm,例如可以是1cm、1.1cm、1.2cm、1.3cm、1.4cm或1.5cm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0015]优选地,所述空心圆柱的长度为75~80mm,例如可以是75mm、76mm、77mm、78mm、79mm或80mm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0016]本专利技术优选所述空心圆柱的长度为75~80mm,实现了一体型防护治具对LCD管靶第一端的非喷砂面的有效防护。
[0017]优选地,所述空心圆台的高度为1.5~2cm,例如可以是1.5cm、1.6cm、1.7cm、1.8cm、1.9cm或2cm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0018]优选地,所述第一部件和第二部件各自独立地包括沿着LCD管靶的第二端向内依次设置的半盘体、空心半圆柱和空心半圆台;所述半盘体、空心半圆柱和空心半圆台一体成型。
[0019]本专利技术中所述半盘体的主要作用是方便工人拿取第一部件和第二部件,有利于分体型防护治具的安装及拆卸。
[0020]优选地,所述空心半圆柱的厚度为1~1.5cm,例如可以是1cm、1.1cm、1.2cm、1.3cm、1.4cm或1.5cm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0021]本专利技术优选所述空心圆柱的厚度为1~1.5cm,优选所述空心半圆柱的厚度为1~1.5cm,既可以减少LCD管靶的两端喷砂防护治具的制做成本,降低LCD管靶处理成本,又能够对LCD管靶非喷砂面进行有效防护。当空心圆柱及空心半圆柱的厚度小于1cm时,LCD管靶的两端喷砂防护治具在喷砂处理过程中会被损坏,对LCD管靶非喷砂面不能进行有效防护,还需要频繁更换,增加LCD管靶处理成本;当空心圆柱及空心半圆柱的厚度大于1.5cm时,增加了LCD管靶的两端喷砂防护治具的制做成本,且安装拆卸较为困难。
[0022]优选地,所述空心半圆柱的长度为165~170mm,例如可以是165mm、166mm、167mm、168本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LCD管靶的两端喷砂防护治具,其特征在于,所述两端喷砂防护治具包括设置在LCD管靶的第一端的一体型防护治具和设置在LCD管靶的第二端的分体型防护治具;所述分体型防护治具由卡箍固定连接的两个完全相同的第一部件和第二部件组成。2.根据权利要求1所述的两端喷砂防护治具,其特征在于,所述LCD管靶的第二端的尾部设置有法兰。3.根据权利要求1或2所述的两端喷砂防护治具,其特征在于,所述一体型防护治具包括沿着LCD管靶的第一端向内依次设置的空心圆柱和空心圆台;所述空心圆柱和空心圆台一体成型。4.根据权利要求3所述的两端喷砂防护治具,其特征在于,所述空心圆柱的厚度为1~1.5cm;优选地,所述空心圆柱的长度为75~80mm。5.根据权利要求3所述的两端喷砂防护治具,其特征在于,所述空心圆台的高度为1.5~2cm。6.根据权利要求1~5任一项所述的两端喷砂防护治具,其特征在于,所述第一部件和第二部件各自独立地包括沿着LCD管靶的第二端向内依次设置的半盘体、空心半圆柱和空心半圆台;所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军潘杰王学泽赵丽李闯范文新周伟君
申请(专利权)人:广东江丰电子材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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