【技术实现步骤摘要】
一种LCD平面靶材组件的吊装装置
[0001]本技术属于液晶显示面板
,涉及LCD平面靶材组件,尤其涉及一种LCD平面靶材组件的吊装装置。
技术介绍
[0002]磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式,就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上,使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫溅射靶材。溅射靶材有金属,合金,陶瓷化合物等。溅射靶材的要求较传统材料行业高,一般对尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制等各项均有要求;此外,还会对表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成分与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等具有较高要求或特殊要求。
[0003]在目前LCD行业中,所使用的靶材都是尺寸较为庞大的LCD平面靶材组件,而且LCD平面靶材组件往往是由铜背板及金属材料(铝、钛、铜、钨等) 焊接而成,在焊接完成后需要利用C
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SCAN检测来判断是否达到焊接结合度的要求。C >‑
SCA本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种LCD平面靶材组件的吊装装置,其特征在于,所述LCD平面靶材组件的吊装装置包括吊装固定板,在所述吊装固定板的相对两端分别设置至少两组与LCD平面靶材组件相对应的螺纹孔,在所述吊装固定板的四角分别设置吊环,所述LCD平面靶材组件的吊装装置还包括四条带有吊钩的吊链,所述吊钩与所述吊环扣合连接。2.根据权利要求1所述的LCD平面靶材组件的吊装装置,其特征在于,所述吊装固定板的中部设置至少两个放置LCD平面靶材组件的凹槽,且每组所述螺纹孔分别设置在每个所述凹槽的相对两端。3.根据权利要求2所述的LCD平面靶材组件的吊装装置,其特征在于,每个所述凹槽的深度均为5
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10mm。4.根据权利要求1所述的LCD平面靶材组件的吊装装置,其特征在于,所述LCD平面靶材组件的吊装装置还包括吊装横杆,所述吊装横杆的两端分别固定两条所述带有吊钩的吊链,所述吊装横杆的中部设置用于与吊装行车连接的吊...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军,潘杰,王学泽,赵丽,闻人湖丹,范文新,周伟君,
申请(专利权)人:广东江丰电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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