基于ＤＤＳ技术的步进电机运动控制器制造技术

本发明专利技术是一种基于ＤＤＳ技术的步进电机运动控制器，是在ＦＰＧＡ芯片中，建立微处理器接口和Ｘ、Ｙ、轴的初始速度寄存器、驱动速度寄存器、加速度寄存器、减速度寄存器、加／减速度变化率寄存器、运行步长寄存器、正向软限位寄存器、负向软限位寄存器、命令字寄存器，以及Ｘ、Ｙ、Ｚ轴运动控制模块。运动控制模块分别控制Ｘ、Ｙ、Ｚ三轴的步进电机，它主要由ＤＤＳ、状态机、逻辑位置寄存器、软限位模块、运行步长控制器、加速模块、减速模块、多路数据选择器等模块构成。本发明专利技术将直接数字频率合成（ＤＤＳ）技术应用于运动控制器中，实现了三轴步进电机的Ｔ型调速和Ｓ型调速控制，可实现步进电机的匀速、加速、减速运行，运行速度、加速度及减速度可通过微处理器来设置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于运动控制
，具体的说，是指在FPGA (现场可编程逻辑 门阵列)芯片内部实现了基于DDS技术的三轴步进电机运动控制器。可以应用 于任何使用步进电机的线性运动控制场合。
技术介绍
晶圆检测设备是半导体生产过程中的必需设施，晶圆检测设备中显微镜的运 动控制非常关键，三轴步进电机运动控制器是显微镜电动控制台的核心部分。显 微镜电动控制台一般采用专业运动控制芯片或运动控制卡来实现，价格昂贵，采 用FPGA来实现运动控制器，可大幅度降低费用，以极低的成本实现运动控制器， 并且可以非常方便的进行二次开发。
技术实现思路
本专利技术提供一种基于DDS技术的步进电机运动控制器，将DDS技术应用于 运动控制领域，在一片FPGA芯片内部设计实现了三轴步进电机运动控制器，该 控制器可以实现梯形调速及S形调速，输出脉冲频率连续可调，分辨率极高，可 达0.011176Hz。有正向定步长运行、负向定步长运行、正向持续运行、负向持续 运行、归零五种运动方式。设置了软限位功能和限位开关接口以保证整个运动系 统的安全性。留有微处理器接口，可以使用ARM等微处理器方便的进行控制。 内部设有逻辑位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于ＤＤＳ技术的步进电机运动控制器，其特征在于是在ＦＰＧＡ芯片中，建立微处理器接口和Ｘ、Ｙ、轴的初始速度寄存器、驱动速度寄存器、加速度寄存器、减速度寄存器、加／减速度变化率寄存器、运行步长寄存器、正向软限位寄存器、负向软限位寄存器、命令字寄存器，以及Ｘ、Ｙ、Ｚ轴运动控制模块；Ｘ、Ｙ、Ｚ轴的各寄存器分别与Ｘ、Ｙ、Ｚ轴运动控制模块建立通讯连接，微处理器接口由存储器和二级寄存器构成，存储器为１２个１６ｂｉｔ结构，负责接收外部处理器的命令并转发给相应的寄存器以控制Ｘ、Ｙ、Ｚ轴运动控制模块，或者从相应的寄存器中提取Ｘ、Ｙ、Ｚ轴运动控制模块的当前运行状态并发送给外部处理器；Ｘ、Ｙ、Ｚ轴运动控制模块分别...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苟成全，黄福光，
申请(专利权)人：芯硕半导体中国有限公司，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]