【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压电陶瓷驱动器的驱动方法。
技术介绍
微位移技术是精密机械与精密仪器的关键技术之一，随着科技的发展，无论在航天，生物学，光学，微电子学等领域，都迫切需要高精度的微动工作台。微动工作台多采用压电陶瓷驱动器，现在应用最广的是以机械串联，电学并联方式极化而成的多层压电陶瓷驱动器。压电陶瓷驱动具有位移分辨率高，体积小，响应快，输出力大，不发热等优点，但其固有的迟滞，蠕变，非线性严重影响了它的应用。德国PI公司生产的压电陶瓷驱动器的蠕变误差也达到了1％～2％。压电陶瓷驱动器虽然是微定位技术中的理想器件，但它存在着位移行程过小的缺点，一般只有不到二十个微米的行程，而一般的微操作都要求定位范围能达到100纳米以上。因而很多微位移机构都采用了柔性铰链微位移放大机构。柔性铰链属于一种弹性变形件，可对微位移进行放大与导向。但是在对位移进行放大的同时，也极大地加剧了压电陶瓷蠕变，迟滞和非线性对位移精度的影响。比如，MPT系列纳米级精密定位工作台，主要应用于精密进给系统，精密位移补偿，生物工程，微刻蚀，扫描隧道显微镜等领域。为了克服压电陶瓷位移行程过小的缺点，该工作台采用...
【技术保护点】
压电陶瓷驱动器抗蠕变驱动方法，其特征是设置二级反向施压的驱动方法，在驱动电压按△Ｖ变化后，按第一阶段和第二阶段分别呈台阶式反向施压；在所述第一个阶段中，为抵消大量变形滞后的９０度电畴、克服蠕变发生，反向施加变化幅值为ａ１、周期为ｂ１ 的阶跃式驱动电压；在所述第二阶段，为克服逐渐驱缓的蠕变量，反向施加变化幅值为ａ２、周期为ｂ２的阶跃式驱动电压，其中，ａ１大于ａ２、ｂ１小于ｂ２。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：余晓芬，范伟，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]
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