一种自动补液的雾化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种自动补液的雾化装置。该自动补液的雾化装置主要包括补液槽和储液槽。其中，补液槽内盛装有第一液体，且补液槽内设置有超声雾化片，超声雾化片能够将补液槽内的第一液体雾化为雾滴。储液槽内盛装有第二液体，且补液槽内设置有驱动装置，驱动装置能够将第二液体驱动至补液槽内，以使第一液体的体积保持不变。该自动补液的雾化装置通过驱动装置以一定的速度驱动储液槽中的第二液体进入至补液槽中，进而实现补液槽中的第一液体的体积恒定，即实现第一液体的液面高度保持不变，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。进而提高太阳能电池的发电效率。进而提高太阳能电池的发电效率。

【技术实现步骤摘要】
一种自动补液的雾化装置


[0001]本技术涉及太阳能电池生产设备
，尤其涉及一种自动补液的雾化装置。

技术介绍

[0002]太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源、同时也是清洁能源，不会产生任何的环境污染。在太阳能的有效利用中，太阳能光电利用是近些年来发展最快、最具活力的研究领域，太阳能电池发电是其中最受瞩目的项目之一。为此，人们研制并开发了太阳能电池。近年来PERC(发射极及背表面钝化)太阳能电池进入发展的瓶颈期，钙钛矿太阳能电池由于成本低、效率高，作为研究热点的新型技术，已逐步从实验室走向量产化。
[0003]钙钛矿太阳能电池常是在镀有透明导电薄膜的玻璃上制备，无论是晶硅电池还是钙钛矿电池在制作过程中都需要制备较多的薄膜层，进而减少薄膜层对光线的反射，提高发电效率。目前，由于等离子体雾相气化沉积设备所制备的薄膜层具备特殊的物理化学特性，因此等离子体雾相气化沉积设备被广泛地用于钙钛矿太阳能电池的量化生产中。
[0004]等离子体雾相气化沉积设备的工艺气体特性为雾相，薄膜层的制备需要精确控制，且对工艺气体的均匀性及稳定性要求较高；雾相的工艺气体获得需要雾化发生器，其雾化原理为雾化发生器产生的超声波通过雾化介质传播至液面，在气液界面处形成表面张力波，由于超声空化作用而使液体分子作用力破坏，进而从液体表面脱出形成雾滴，从而液体被雾化为气溶胶状态。所以液面距离雾化发生器的高度对于液体的雾化特性非常重要，但由于雾化本身的过程经常伴随着消耗液体而导致液面高度降低，这样就会导致现有技术中的雾化装置经常会遇到液面波动问题，进而导致雾化浓度波动，影响镀膜工艺的质量。
[0005]因此，亟需设计一种自动补液的雾化装置来解决现有技术中的技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提出一种自动补液的雾化装置，该自动补液的雾化装置结构简单、能够保持液面高度稳定，且能够精确控制液面高度，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
[0007]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0008]本技术提供一种自动补液的雾化装置，包括：
[0009]补液槽，所述补液槽内盛装有第一液体，且所述补液槽内设置有超声雾化片，所述超声雾化片能够将所述补液槽内的所述第一液体雾化为雾滴；
[0010]储液槽，所述储液槽内盛装有第二液体，且所述补液槽内设置有驱动装置，所述驱动装置能够将所述第二液体驱动至所述补液槽内，以使所述第一液体的体积保持不变。
[0011]作为一种可选的技术方案，所述自动补液的雾化装置包括补液管，所述补液管的一端连通于所述驱动装置，另一端连通于所述补液槽。
[0012]作为一种可选的技术方案，所述补液槽和所述储液槽之间设置有隔板，所述隔板
上开设有溢流孔，所述溢流孔的高度高于所述第二液体的液面高度。
[0013]作为一种可选的技术方案，所述溢流孔的位置沿所述第一液体的液面高度方向可调节。
[0014]作为一种可选的技术方案，所述自动补液的雾化装置包括雾化槽，所述雾化槽与所述补液槽连通，所述超声雾化片能够将雾化槽内的第一液体雾化为雾滴。
[0015]作为一种可选的技术方案，所述超声雾化片设置在所述雾化槽的正下方，且所述超声雾化片固接于所述补液槽的内壁上。
[0016]作为一种可选的技术方案，所述自动补液的雾化装置包括第一管路和第二管路，所述第一管路和所述第二管路均连通于所述雾化槽，所述第一管路中通有惰性气体；所述惰性气体能够带动所述雾滴流动至所述第二管路。
[0017]作为一种可选的技术方案，所述第一管路伸入所述雾化槽内的长度大于所述第二管路伸入所述雾化槽内的长度。
[0018]作为一种可选的技术方案，所述自动补液的雾化装置包括三通管路，所述三通管路包括管路a、管路b和管路c，所述管路a连通于所述第二管路，所述管路b连通于工艺腔室，所述管路c连通于所述储液槽。
[0019]作为一种可选的技术方案，所述三通管路上包覆有冷凝装置。
[0020]本技术的有益效果在于：本技术提供一种自动补液的雾化装置，该自动补液的雾化装置主要包括补液槽和储液槽。其中，补液槽内盛装有第一液体，且补液槽内设置有超声雾化片，超声雾化片能够将补液槽内的第一液体雾化为雾滴。储液槽内盛装有第二液体，且补液槽内设置有驱动装置，驱动装置能够将第二液体驱动至补液槽内，以使第一液体的体积保持不变。该自动补液的雾化装置通过驱动装置以一定的速度，不断地驱动储液槽中的第二液体进入至补液槽中，补液槽中多余的第一液体通过溢流孔流回储液槽，进而实现补液槽中的第一液体的体积恒定，即确保第一液体的液面高度保持不变，进而使得经过超声雾化片形成的雾滴浓度和体积达到工艺的要求，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
附图说明
[0021]图1为本技术提供的自动补液的雾化装置的结构示意图。
[0022]附图标记
[0023]1、补液槽；11、超声雾化片；2、储液槽；21、驱动装置；22、补液管；3、雾化槽；4、隔板；41、溢流孔；5、第一管路；6、第二管路；7、三通管路；71、冷凝装置。
具体实施方式
[0024]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0025]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理
解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0027]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0028]如图1所示，本实施例提供一种自动补液的雾化装置，该自动补液的雾化装置不仅能够应用于太阳能电池制造过程中，而且还能应用于其他半导体元器件的制备工艺中。该自动补液的雾化装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动补液的雾化装置，其特征在于，包括：补液槽(1)，所述补液槽(1)内盛装有第一液体，且所述补液槽(1)内设置有超声雾化片(11)，所述超声雾化片(11)能够将所述补液槽(1)内的所述第一液体雾化为雾滴；储液槽(2)，所述储液槽(2)内盛装有第二液体，且所述补液槽(1)内设置有驱动装置(21)，所述驱动装置(21)能够将所述第二液体驱动至所述补液槽(1)内，以使所述第一液体的体积保持不变。2.根据权利要求1所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述自动补液的雾化装置包括补液管(22)，所述补液管(22)的一端连通于所述驱动装置(21)，另一端连通于所述补液槽(1)。3.根据权利要求1所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述补液槽(1)和所述储液槽(2)之间设置有隔板(4)，所述隔板(4)上开设有溢流孔(41)，所述溢流孔(41)的高度高于所述第二液体的液面高度。4.根据权利要求3所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述溢流孔(41)的位置沿所述第一液体的液面高度方向可调节。5.根据权利要求1所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述自动补液的雾化装置包括雾化槽(3)，所述雾化槽(3)与所述补液...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨星，李长江，周文彬，徐全军，王文静，
申请(专利权)人：昆山晟成光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：