一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶及其加工设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶及其加工设备，属于半导体芯片测试探针加工设备领域。一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶加工设备，包括：工作台、外研磨机构和内研磨机构；所述工作台的上端固定安装有所述内研磨机构；所述内研磨机构包括固定座一、固定座二、活动杆和金属丝；所述固定座一与所述固定座二与所述工作台固定安装；所述固定座一滑动连接有所述活动杆；所述活动杆设置有所述金属丝；与现有技术相比，本申请的的一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶加工设备能够对钯合金套桶的内外表面进行同步打磨，提高了加工效率。加工效率。加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶及其加工设备


[0001]本专利技术涉及半导体芯片测试探针加工设备领域，具体涉及一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶及其加工设备。

技术介绍

[0002]集成电路测试探针套桶是探针的基本结构部件，它一方面要求机械性能，即将探针顶柱头和底板头约束，保持弹簧探针轴向可正常伸缩，完成弹性测试良好接触，另一方面要求电性能，即以极低的阻抗，使测试信号通过两边探针头，实现精密电性能测试。因此探针套桶在整个探针中起到了非常重要的作用，它的性能优劣，直接影响探针的质量。现有的合金套桶在成型时，需要进行表面打磨，但是现有的加工设备往往只能对合金套桶的外表面进行打磨，合金套桶的内表面无法进行处理；如中国专利CN201911375762.9记载的一种管体抛光设备及其使用方法，其装置只能针对罐体外壁进行打磨；因此，提出一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶加工设备

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本专利技术提出了一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶及其加工设备。
[0004]本专利技术的目的可以通过以下技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片测试探针用钯合金套桶加工设备，其特征在于，包括：工作台(1)、外研磨机构和内研磨机构；所述工作台(1)的上端固定安装有所述内研磨机构；所述内研磨机构包括固定座一(2)、固定座二(3)、活动杆(4)和金属丝(5)；所述固定座一(2)与所述固定座二(3)与所述工作台(1)固定安装；所述固定座一(2)滑动连接有所述活动杆(4)；所述活动杆(4)设置有所述金属丝(5)；所述内研磨机构通过设置四个拉杆(6)张紧所述金属丝(5)；所述外研磨机构布置在所述固定座一(2)与所述固定座二(3)之间；所述外研磨机构设置有四个研磨轮(7)；所述研磨轮(7)的两端转动连接有滑块(8)；所述滑块(8)与所述外研磨机构滑动连接。2.根据权利要求1所述的半导体芯片测试探针用钯合金套桶加工设备，其特征在于，所述内研磨机构包括转盘(10)、弹簧和齿条(14)；所述工作台(1)在所述固定座一(2)的两侧均固定安装有电机一(9)；所述电机一(9)固定安装有所述转盘(10)；两个所述转盘(10)分别与所述金属丝(5)的一端连接；所述活动杆(4)靠近所述固定座二(3)的一侧固定安装有中间轴；所述中间轴转动连接有摆杆一(11)和摆杆二；所述摆杆一(11)与所述摆杆二均设置有导向孔一；所述活动杆(4)靠近所述固定座二(3)的一侧设置有导向孔二；所述金属丝(5)穿过所述导向孔一和所述导向孔二；所述摆杆一(11)和所述摆杆二远离所述活动杆(4)的一侧设置有磁铁一(16)；所述固定座二(3)固定安装有连接管(13)；所述连接管(13)设置有水平的活动槽；所述连接管(13)的内部设置有活动块；所述活动块通过弹簧与所述固定座二(3)连接；所述活动块对称固定安装有所述齿条(14)；所述齿条(14)分别与一个所述活动槽滑动连接；所述齿条(14)均固定安装有磁铁二(15)；所述磁铁二(15)与所述磁铁一(16)相互吸引；所述工作台(1)在所述连接管(13)的两侧对称固定安装有传动座一(17)；所述传动座一(17)转动连接有传动轴一(18)；所述传动轴一(18)固定安装有直齿轮一(19)；所述直齿轮一(19)与所述齿条(14)啮合；所述工作台(1)在靠近所述传动座一(17)的一端固定安装有传动座二(20)；所述传动座二(20)转动连接有传动轴二(21)；所述传动轴二(21)与相邻的所述传动轴一(18)通过伞齿轮传动；所述传动轴二(21)远离所述连接管(13)的一侧转动连接有限位板一(22)；所述限位板一(22)靠近所述连接管(13)的一侧固定安装有所述拉杆(6)；所述限位板一(22)靠近所述传动轴二(21)的内部固定安装有直齿轮二(23)；所述工作台(1)靠近一个所述传动轴二(21)的一侧固定安装有电机二(24)，所述工作台(1)靠近另一个所述传动轴二(21)的一侧固定安装有传动座三(25)；所述传动座三(25)与所述电机二(24)均固定安装有传动轴三(26)；所述传动轴三(26)均固定安装有直齿轮三(27)；所述直齿轮三(27)与所述直齿轮二(23)适配；所述固定座二(3)转动连接有传动轴四(28)；所述传动轴四(28)与两个所述传动轴三(26)均通过伞齿轮传动；所述工作台(1)在所述活动杆(4)的两侧固定安装有传动座五(29)；所述传动座五(29)转动连接有传动轴五(30)；所述传动轴五(30)固定安装有限位板二(31)；所述限位板二(31)在所述活动杆(4)和所述金属丝(5)之间固定安装有所述拉杆(6)；所述传动轴三(26)穿过所述传动座三(25)的一侧与一个所述传动轴五(30)通过同步带连接；所述工作台(1)在所述传动轴五(30)之间转动连接有传动轴六(32)；所述传动轴六(32)与两个所述传动轴五(30)通过伞齿轮传动；所述活动杆(4)通过驱动机构传动。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：曹镭，
申请(专利权)人：浙江金连接科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：