一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板及显示面板技术

本申请提供一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板及显示面板，其包括：设置在衬底基板之上的遮光层；设置在所述遮光层之上的有源层；其中，所述遮光层在面向所述有源层的一面设置有凹部，所述凹部的底面在所述衬底基板的正投影覆盖所述有源层在所述衬底基板的正投影，所述有源层在所述凹部侧壁的正投影位于所述凹部的侧壁范围内。本申请提供的薄膜晶体管，能避免环境光线经反射照射到有源层，减少了漏电流的产生。了漏电流的产生。了漏电流的产生。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板及显示面板


[0001]本申请涉及显示
，尤其涉及一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板及显示面板。

技术介绍

[0002]平面显示器(F1at Pane1Disp1ay，FPD)己成为市场上的主流产品，平面显示器的种类也越来越多，如液晶显示器(Liquid Crysta1Disp1ay，LCD)、有机发光二极管(Organic Light Emitted Diode，OLED)显示器、等离子体显示面板(P1asma Disp1ay Pane1，PDP)及场发射显示器(Field Emission Display，FED)等。
[0003]而作为FPD产业核心技术的薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)背板技术，也在经历着深刻的变革。串扰和闪屏不良一直是伴随平面显示器的顽固不良，其中一个主要的原因是薄膜晶体管关态时漏电流太大。漏电流的机制主要是沟道的空穴电流和光照产生的漏电流。由于薄膜晶体管各个膜层的折射率不相同，部分环境光经过多次折射后照射至有源层，增加光照时电子空穴对的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：设置在衬底基板之上的遮光层；设置在所述遮光层之上的有源层；其中，所述遮光层在面向所述有源层的一面设置有凹部，所述凹部的底面在所述衬底基板的正投影覆盖所述有源层在所述衬底基板的正投影，所述有源层在所述凹部的侧壁的正投影位于所述凹部的侧壁范围内。2.如权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管为底栅结构型薄膜晶体管或者顶栅结构型薄膜晶体管。3.如权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管还包括：设置在所述遮光层与所述有源层之间的缓冲层。4.如权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述凹部的开口深度为5000埃～15000埃。5.如权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述凹部的侧壁与所述凹部的底部之间的夹角大于或等于90
°
。6.一种阵列基板，其特征在于，包括如权利要求1
‑
5任一项所述的薄膜晶体管。7.一种显示面板，包括背光源，其特征在于，所述显示面板还包括如权利要求6所述的阵列基板，所述阵列基板设置在所述背光源的出光侧。8.一种薄膜晶体管的制作...

【专利技术属性】
技术研发人员：王佳琳，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：