滤网支架、滤网结构及其使用方法技术

本发明专利技术提供一种滤网支架、滤网结构及其使用方法，其中，滤网支架包含第一网栅以及第二网栅。第一网栅相对于第一轴向围成筒状。第二网栅相对于第一轴向环设于第一网栅外，包含多个相对于第一网栅为外凸，且沿平行于第一轴向的方向延伸设置的条状结构，每一条状结构相对于第一网栅的一侧，沿平行于第一轴向的方向延伸形成凹槽。伸形成凹槽。伸形成凹槽。

【技术实现步骤摘要】
滤网支架、滤网结构及其使用方法


[0001]本专利技术是关于滤网支架、滤网结构及其使用方法。

技术介绍

[0002]在例如半导体制造业的工业制造领域中，为了进一步提升产品合格率，无尘室被广泛使用以在洁净、无污染的隔离环境中进行产品的生产制造。
[0003]欲达成无尘室的环境要求，一般会在无尘室的进气口架设风机及过滤设备，使气流经由风机驱动通过过滤设备的滤网再进入无尘室，以此过滤粉尘及各种有机、无机污染物。
[0004]在污染物当中，气态分子污染物不像粉尘具有固定形状，无法利用控制滤网孔隙大小滤除，因此常见使用活性碳材料加以去除。其中，现有滤网结构是设置内外两层由例如丙烯腈
‑
丁二烯
‑
苯乙烯共聚物(Acrylonitrile Butadiene Styrene，ABS)等高分子或不锈钢等金属制成的筒状网栅，然后在其间填充活性碳滤材。然而，实际使用时会发现，现有滤网结构的各点面风速落差甚大，将导致压损极度不均匀，而使结构中的活性碳等滤材无法均匀耗用，使用效率有待提升。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种滤网支架，可增加表面积、降低压损、提升滤材使用效率、提升滤材吸附效果。
[0006]本专利技术的另一目的在于提供一种滤网结构，具有较大的表面积、较低的压损、较佳的滤材使用效率、以及较好的滤材吸附效果。
[0007]本专利技术的另一目的在于提供一种滤网结构使用方法，可降低压损、提升滤材使用效率、提升滤材吸附效果。
>[0008]本专利技术的滤网支架包含第一网栅以及第二网栅。第一网栅相对于第一轴向围成筒状。第二网栅相对于第一轴向环设于第一网栅外，包含多个相对于第一网栅为外凸，且沿平行于第一轴向的方向延伸设置的条状结构，每一条状结构相对于第一网栅的一侧，沿平行于第一轴向的方向延伸形成凹槽，条状结构沿垂直于第一轴向的虚拟截面上具有类U形截面，类U形截面朝向第一网栅的开口部位的宽度大于类U形截面的底部部位的宽度。
[0009]在本专利技术的实施例中，多个条状结构以长边两两相连。
[0010]在本专利技术的实施例中，第一网栅相对于第一轴向围成筒状。第二网栅相对于第一轴向环设于第一网栅外，包含多个沿平行于第一轴向的方向延伸设置的条状结构，每一条状结构具有依序以长边相连并共同形成凹槽的第一支架片、第二支架片、及第三支架片，且每一条状结构的凹槽面向第一网栅，条状结构沿垂直于第一轴向的虚拟截面上具有类U形截面，类U形截面朝向第一网栅的开口部位的宽度大于类U形截面的底部部位的宽度。
[0011]在本专利技术的实施例中，多个条状结构其中之一的第三支架片与多个条状结构的另一个的第一支架片相连接，使多个条状结构相对于第一轴向环设于第一网栅外。
[0012]在本专利技术的实施例中，类U形截面的两侧边的延伸线间具有介于45
°
～60
°
的夹角。
[0013]在本专利技术的实施例中，类U形截面的两侧边的延伸线间具有介于50
°
～55
°
的夹角。
[0014]在本专利技术的实施例中，条状结构的数目为8个。
[0015]在本专利技术的实施例中，第二网栅在垂直于第一轴向的虚拟截面的最大宽度与类U形截面的底部部位的宽度的比值介于5～15之间。
[0016]在本专利技术的实施例中，第二网栅在垂直于第一轴向的虚拟截面的最大宽度与类U形截面的底部部位的宽度的比值介于9～10之间。
[0017]在本专利技术的实施例中，围成筒状的第一网栅的两端分别形成第一开口及第二开口，滤网支架进一步包含固定装置以及封闭装置。固定装置具有通口，设置于第一开口的外侧，分别连接于第一网栅及第二网栅之一端，且使第一开口与通口连通。封闭装置，设置于第二开口的外侧，分别连接于第一网栅及第二网栅的另一端，且使第二开口由封闭装置封闭。
[0018]本专利技术的滤网结构包含前述滤网支架以及设置于第一网栅及第二网栅之间的滤材。
[0019]本专利技术的滤网结构使用方法，是在滤网结构外侧提供吸力，将被过滤气体由第一开口抽进入滤网结构，依序通过第一网栅、滤材、及第二网栅，离开滤网结构。
附图说明
[0020]图1A及1B是本专利技术滤网支架的实施例示意图。
[0021]图2A至2C是本专利技术滤网支架的实施例分解示意图。
[0022]图3A是本专利技术滤网支架沿垂直于第一轴向的虚拟截面的实施例截面示意图，图3B是沿垂直于第一轴向的虚拟截面的另一实施例截面示意图。
[0023]图4A是本专利技术滤网结构沿垂直于第一轴向的虚拟截面的实施例截面示意图。
[0024]图4B是本专利技术滤网结构的实施例示意图。
[0025]图5是本专利技术滤网结构沿垂直于第一轴向的虚拟截面的不同实施例截面示意图。
[0026]图6A是本专利技术中被过滤气体被推送进入滤网结构的实施例示意图。
[0027]图6B是本专利技术中被过滤气体被抽吸进入滤网结构的实施例示意图。
[0028]主要元件符号说明：
[0029]100...第一网栅
[0030]100A...端
[0031]100B...端
[0032]101...第一开口
[0033]102...第二开口
[0034]200...第二网栅
[0035]200A...端
[0036]200B...端
[0037]201...凹槽
[0038]202...凹谷
[0039]210...条状结构
[0040]211...第一支架片
[0041]212...第二支架片
[0042]213...第三支架片
[0043]240...类U形截面
[0044]300...固定装置
[0045]301...通口
[0046]400...封闭装置
[0047]500...滤材
[0048]510...滤布
[0049]600...被过滤气体
[0050]610...隔间物
[0051]620...风机
[0052]710...第一轴向
[0053]800...滤网支架
[0054]900...滤网结构
[0055]D800...距离
[0056]W200...宽度
[0057]W241...宽度
[0058]W242...宽度
[0059]θ...夹角
具体实施方式
[0060]如图1A及1B所示的实施例，本专利技术的滤网支架800包含第一网栅100以及第二网栅200。其中，滤网支架800可用于承载滤材以形成滤网结构。更具体而言，第一网栅100以及第二网栅200间具有容置空间供填充滤材。第一网栅100以及第二网栅200主要是作为支架，提供承载滤材所需的机械强度。有关滤网结构将进一步说明于后。
[0061]如图2A至2C所示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤网支架，其特征在于，包含：一第一网栅，相对于一第一轴向围成筒状；以及一第二网栅，相对于该第一轴向环设于该第一网栅外，包含多个相对于该第一网栅为外凸、且沿平行于该第一轴向的方向延伸设置的条状结构，每一条状结构相对于该第一网栅的一侧，沿平行于该第一轴向的方向延伸形成一凹槽，其中，该条状结构沿垂直于该第一轴向的虚拟截面上具有一类U形截面，该类U形截面朝向该第一网栅的开口部位的宽度大于该类U形截面的底部部位的宽度。2.如权利要求1所述的滤网支架，其特征在于，该多个条状结构以长边两两相连。3.一种滤网支架，其特征在于，包含：一第一网栅，相对于一第一轴向围成筒状；以及一第二网栅，相对于该第一轴向环设于该第一网栅外，包含多个沿平行于该第一轴向的方向延伸设置的条状结构，每一条状结构具有依序以长边相连并共同形成一凹槽的一第一支架片、一第二支架片、及一第三支架片，且每一条状结构的该凹槽面向该第一网栅，其中，该条状结构沿垂直于该第一轴向的虚拟截面上具有一类U形截面，该类U形截面朝向该第一网栅的开口部位的宽度大于该类U形截面的底部部位的宽度。4.如权利要求3所述的滤网支架，其特征在于，该多个条状结构其中之一的该第三支架片与该多个条状结构的另一个的该第一支架片相连接，使该多个条状结构相对于该第一轴向环设于该第一网栅外。5.如权利要求1或3所述的滤网支架，其特征在于，该类U形截面的两侧边的延伸线间具有介于45
°
～60<...

【专利技术属性】
技术研发人员：林泊宏，连于德，
申请(专利权)人：滤能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：