无胶式气密过滤设备制造技术

本发明专利技术涉及一种无胶式气密过滤设备，包括过滤箱体、多数个过滤构件及多数个载置构件，过滤箱体的相对二侧面与过滤箱体的过滤空间形成气流通道；多数个过滤构件各自具有过滤面，过滤构件以过滤面平行过滤箱体的二侧面的方式可拆卸地设置于过滤空间中；多数个载置构件对应多数个过滤构件而以一定的间距设置于过滤箱体的内壁，用以载置多数个过滤构件，其中过滤构件与过滤箱体的内壁之间有一间隙，过滤构件的过滤面以及间隙的最大值满足一关系式。

Glue-free air-tight filtration equipment

The invention relates to a rubber-free air-tight filtering device, which comprises a filtering box body, a plurality of filtering components and a plurality of loading components. The relative two sides of the filtering box body form an airflow passage with the filtering space of the filtering box body; most of the filtering components each have a filtering surface, and the filtering components are detachably arranged in the filtering space in a way that the filtering surface is parallel to the two sides of the filtering box body. Most of the loaded components correspond to most of the filter components and are set on the inner wall of the filter box at a certain distance to carry most of the filter components. There is a gap between the filter components and the inner wall of the filter box. The maximum of the filter surface and clearance of the filter components satisfies a relationship.

【技术实现步骤摘要】
无胶式气密过滤设备
本专利技术涉及技术过滤设备，具体是指一种无胶式气密过滤设备。
技术介绍
在工业制造领域中，特别是半导体制造业，为使产品良率进一步提升而广泛使用无尘室，让产品在洁净、无污染的隔离环境中被生产制造。为了达成无尘室的洁净度要求，过滤设备是绝对必要且重要的设施。实施的方式为，在无尘室的进气口架设风机及过滤设备，气流被风机抽吸而通过过滤设备的层层滤网再进入无尘室。过滤设备通常为一箱体，内部设有多种不同滤网，分别可过滤酸、碱、有机等污染物。然而，这样的过滤设备以黏胶将滤网与箱体黏合，当其中一部份滤网的使用有效时间到期，则必须更换整个过滤设备，如此相当浪费资源，并且非常不符合成本效益。除此之外，黏胶是为了降低过滤设备的气体泄漏率，然而黏胶本身就是一种高分子材料，会随着时间释放多种有机物到环境中，并不利于无尘室的要求。为了要避免使用胶，坊间产生了一种号称无胶的抽取式过滤设备，但这样的过滤设备的气体泄漏率都没有办法达到业界要求(低于10％)，因此并无法真正地推广到业界中。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服了上述现有技术的缺点，提供了一种无胶式气密过滤设备。为了实现上述目的，本专利技术具有如下构成，包含：过滤箱体，具有过滤空间，该过滤箱体的相对二侧面与该过滤空间形成气流通道；多数个过滤构件，该多数个过滤构件各自具有过滤面，该多数个过滤构件以该过滤面平行该过滤箱体的该二侧面的方式可拆卸地设置于该过滤空间中；以及数个载置构件，对应该多数个过滤构件而以一定的间距设置于该过滤箱体的内壁，用以载置该多数个过滤构件，其中，过滤构件与该过滤箱体的内壁之间有间隙，该过滤构件的过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式1：其中，a为该间隙的最大值，X、Y分别为该过滤面的长与宽，ΔP为过滤面的垂直两侧的压力差，ρ为空气密度，v1为自该过滤面进气的风速。在本专利技术的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式2：在本专利技术的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式3：在本专利技术的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式4：在本专利技术的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式5：在本专利技术的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤箱体的该内壁具有位置对应于该载置构件的凸沟，自该内壁的表面朝该过滤构件延伸而顶抵该过滤构件。在本专利技术的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，更具有压缩填补构件，设置于该间隙。在本专利技术的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤箱体的该内壁及该过滤构件夹合形成非直线间隙。经由本专利技术所采用的技术手段，可确保气体泄漏率低于业界要求。只要能确认用于无胶式气密过滤设备的风机的运作环境参数，就能对应设计适合的无胶式气密过滤设备。当环境所使用的风机的参数为固定值，且要求的过滤面的面积或长宽也为定值时，则经由式1可得知所设计的无胶式气密过滤设备的该间距的上限值。反过来说，当无胶式气密过滤设备已制造完成，过滤面的长宽及该间距为已知的固定值，也可以经由式1而推得风机的必要环境参数。因此，使得无胶式气密设备可真正地应用于业界中，并通过每次仅更换部分过滤构件，可充分有效利用每个过滤构件，并且降低更换成本。本专利技术所采用的具体实施例，将通过以下的实施例及附图作进一步的说明。附图说明图1为根据本专利技术一实施例的无胶式气密过滤设备的立体示意图。图2为根据本专利技术的实施例的过滤构件的俯视示意图。图3为根据本专利技术的实施例的无胶式气密过滤设备的部分剖面示意图。图4为根据本专利技术另一实施例的无胶式气密过滤设备的部分剖面示意图。附图标记说明：100无胶式气密过滤设备1过滤箱体11内壁12凸沟13内壁2过滤构件21过滤面22边缘部3载置构件4压缩填补构件5盖体51握把a间隙最大值A截面积A0截面积A1截面积A2截面积ax间隙最大值ay间隙最大值g重力加速度h1高度h2高度K泄漏率l方向m方向ΔP压力差P1压力P2压力S过滤空间v风速v0风速v1风速v2风速X长度Y宽度ρ空气密度具体实施方式为了能够更清楚地描述本专利技术的
技术实现思路
，下面结合图1至图4和具体实施例来进行进一步的描述。如图1所示，本专利技术的无胶式气密过滤设备100包含过滤箱体1、多数个过滤构件2及多数个载置构件3。过滤箱体1具有过滤空间S，过滤箱体1的相对二侧面与过滤空间S形成气流通道(如图中箭头方向所示)。在本实施例中，由过滤箱体1的下方设置风机而对过滤空间S抽气，使气体自过滤箱体1的上方通过该气流通道而被吸入至过滤箱体1的下方。多数个过滤构件2各自具有过滤面21，多数个过滤构件2以过滤面21平行过滤箱体1的该二侧面的方式可拆卸地设置于过滤空间S中。详细来说，在本实施例中，过滤箱体1的上侧面、下侧面及过滤空间S形成前述的气流通道，多数个过滤构件2的过滤面21平行而可拆卸地设置该上侧面及下侧面，而使流入前述气流通道的气体被多数个过滤构件2过滤。多数个载置构件3对应多数个过滤构件2而在过滤箱体1的上下方向上(方向l)以一定的间距设置于过滤箱体1的内壁11，用以载置多数个过滤构件2。详细来说，在本实施例中，过滤箱体1的左侧壁11及右侧壁11(各自连接上侧面及下侧面)设有多数个载置构件3，多数个载置构件3以平行过滤箱体1的上侧面、下侧面的方向(方向m)而朝过滤空间S延伸，多数个过滤构件2经设置而依序滑置于多数个载置构件3而卡合于过滤箱体1中。如图2及图3所示，过滤构件2的过滤面的长度为X，宽度为Y。过滤构件2与过滤箱体1的内壁11之间有间隙，过滤构件2的过滤面21以及该间隙的关系满足下列式1：其中，a为该间隙的最大值，ΔP为过滤面21的垂直两侧(方向l)的压力差，ρ为空气密度，v1为自过滤面21进气的风速。由于空气密度为已知条件(正常情况下为1.204kg/m3)，且过滤面21的垂直两侧(方向l)的压力差ΔP以及过滤面21进气的风速v1由前述的风机所控制，故ΔP及v1为可调，也可为固定的参数值。在此情况下，只要设置滤构件2与过滤箱体1的内壁11之间的该间隙不超过a，则可确保泄漏率不超过10％。换句话说，只要能确认用于无胶式气密过滤设备100的风机的运作情况(压力差、风速等环境参数)，就能对应设计适合的无胶式气密过滤设备100。当环境所使用的风机的参数为固定值，且要求的过滤面21的面积或长宽也为定值时，则经由数学式1可得知所设计的无胶式气密过滤设备100的该间距的上限值；反过来说，当无胶式气密过滤设备100已制造完成，过滤面21的长宽及该间距为已知的固定值，也可以经由数学式1而推得风机的必要环境参数。进一步地，在本实施例中，过滤面21以及间隙的关系满足下列数学式2。在数学式2中，若间隙值小于a，则泄漏率小于10％。进一步地，在本实施例中，过滤面21以及间隙的关系满足下列数学式3。在数学式3中，若间隙值小于a，则泄漏率小于7％。进一步地，在本实施例中，过滤面21以及间隙的关系满足下列数学式4。在数学式4中，若间隙值小于a，则泄漏率小于5％。进一步地，在本实施例中，过滤面21以及间隙的关系满足下列数学式5。在数学式5中，若间隙值小于a，则泄漏率小于3％。在一个例子中，过滤构件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无胶式气密过滤设备，其特征在于，包含：过滤箱体，具有过滤空间，所述的过滤箱体的相对二侧面与所述的过滤空间形成气流通道；多数个过滤构件，所述的多数个过滤构件各自具有过滤面，所述的多数个过滤构件以所述的过滤面平行所述的过滤箱体的所述的二侧面的方式可拆卸地设置于所述的过滤空间中；以及多数个载置构件，对应所述的多数个过滤构件而以一定的间距设置于所述的过滤箱体的内壁，用以载置所述的多数个过滤构件，其中，过滤构件与所述的过滤箱体的内壁之间有间隙，所述的过滤构件的过滤面以及所述的间隙的关系满足下列数学式1：

【技术特征摘要】
2017.11.28 TW 1061412661.一种无胶式气密过滤设备，其特征在于，包含：过滤箱体，具有过滤空间，所述的过滤箱体的相对二侧面与所述的过滤空间形成气流通道；多数个过滤构件，所述的多数个过滤构件各自具有过滤面，所述的多数个过滤构件以所述的过滤面平行所述的过滤箱体的所述的二侧面的方式可拆卸地设置于所述的过滤空间中；以及多数个载置构件，对应所述的多数个过滤构件而以一定的间距设置于所述的过滤箱体的内壁，用以载置所述的多数个过滤构件，其中，过滤构件与所述的过滤箱体的内壁之间有间隙，所述的过滤构件的过滤面以及所述的间隙的关系满足下列数学式1：其中，a为所述的间隙的最大值，X、Y分别为所述的过滤面的长与宽，ΔP为过滤面的垂直两侧的压力差，ρ为空气密度，v1为自所述的过滤面进气的风速。2.根据权利要求1所述的无胶式气...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄铭文，游议辉，
申请(专利权)人：滤能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71