一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，属于电子技术领域，包括箱体、盖板、抽风组件和固定组件，所述箱体一侧固定连通有抽风组件，所述箱体内部的底侧固定连接有放置板，所述放置板的内部设置有固定组件。本实用新型专利技术中，使用时，手摇转动转柄，带动正反丝杆转动，使螺纹套带动第一夹紧块相对移动，同时带动滑轮和导杆在第一夹紧块内滑动，第一弹簧带动第二竖板相对移动，对靶材进行全面固定，以防靶材在运输过程中遇到颠簸，产生变形，在转柄带动正反丝杆转动的同时，带动第一带轮转动，再经过传送带将动力输送到第二带轮上，带动连接轴和扇叶转动，将箱体内部的空气抽出，以防靶材氧化，对靶材的精度造成影响。对靶材的精度造成影响。对靶材的精度造成影响。

【技术实现步骤摘要】
一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件


[0001]本技术属于电子
，尤其涉及一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件。

技术介绍

[0002]所谓溅射是制备薄膜材料的主要技术，通过离子对目标物进行轰击，使靶材中的金属原子以一定能量溢出，从而在晶圆表面沉积，形成金属薄膜，其中被轰击的固体就是溅射靶材，是半导体制造中的关键材料。
[0003]芯片制造对溅射靶材金属纯度的要求非常非常高，一般都要达到99.999％以上纯度，在芯片生产过程中，通常对溅射靶材进行集装后运输，在对集装后的靶材组件进在运输过程时容易受到外力作用和颠簸，导致靶材组件产生变形，对靶材组件的使用造成影响，防护效果较差，且同时靶材组件在运输储存过程中，空气中的氧气容易对靶材的表面进行氧化，从而对靶材的使用精度造成影响，故需要一定的改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：为了解决传统靶材在对集装后的靶材组件进在运输过程时容易受到外力作用和颠簸，导致靶材组件产生变形，对靶材组件的使用造成影响，防护效果较差，且同时靶材组件在运输储存过程中，空气中的氧气容易本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，包括箱体(1)、盖板(2)、抽风组件(3)和固定组件(8)，其特征在于，所述盖板(2)通过合页转动连接在箱体(1)上，所述箱体(1)一侧固定连通有抽风组件(3)，所述箱体(1)内部的底侧固定连接有放置板(4)，放置板(4)顶部两侧均固定连接有第一竖板(5)，所述第一竖板(5)相对的一侧呈线性分布有多个第一弹簧(6)，第一弹簧(6)另一端固定有第二竖板(7)；所述放置板(4)的内部设置有固定组件(8)，所述固定组件(8)包括正反丝杆(801)，所述正反丝杆(801)转动连接在放置板(4)内部，且所述正反丝杆(801)一端依次穿过放置板(4)和箱体(1)并延伸至外侧固定连接有转柄，所述正反丝杆(801)上固定套接有第一带轮(806)，第一带轮(806)上套接有传送带(807)，所述正反丝杆(801)上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套上端固定连接有第一夹紧块(802)，所述第一夹紧块(802)的顶部固定连接有第二夹紧块(803)。2.根据权利要求1所述的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，其特征在于，所述抽风组件(3)包括壳体，所述壳体的内部转动连接有连接轴(301)，连接轴(301)相对外侧的一端固定套接有第二带轮(302)，所述第二带轮(302)经过传送带(807)与第一带轮(806)传动连接，所述连接轴(301)另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦建敏，张晓蓓，赵兴文，刘正斌，张小波，
申请(专利权)人：仁寿华赐半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：