本发明专利技术公开了一种用于晶圆边缘解胶的装置，包括第一箱体、滑槽、传动气缸、热风机和固定板，所述第一箱体内部安装有晶圆放置盘，所述传动气缸侧面连接于第一箱体和第二箱体内壁上，所述第一箱体内壁安装有计时器板，所述安装槽内部安装有计时器，所述热风机安装于第二箱体内部，所述热风机底面开设有圆环状出风口，所述第二箱体顶部设置有顶盖，所述顶盖表面安装有橡胶缓冲板。本发明专利技术通过设计的热风机构，热风机构中的热风机吹出的热风由圆环状出风口吹向晶圆的边缘，可加快紫外线对晶圆边缘解胶的速度，设计的计时器板、第一缓冲块和计时器，便于工作人员对晶圆的解胶过程进行实时的监测，可及时的将解胶完成的晶圆拉出。可及时的将解胶完成的晶圆拉出。可及时的将解胶完成的晶圆拉出。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆边缘解胶的装置
[0001]本专利技术涉及晶圆解胶
，具体涉及一种用于晶圆边缘解胶的装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，为便于晶圆后续切割以及其它构装工艺的进行，晶圆是预先黏着于胶膜上，胶膜外周缘固定于金属材质的固定环框中，并借胶膜黏着固定晶圆，以便于晶圆的运送，待晶圆欲进行后续工艺步骤时，再借助晶圆解胶装置对黏着有晶圆的胶膜照射紫外线，降低胶膜上的固结胶对晶圆的黏着性，从而达到轻松将胶带从晶圆切片上取下来，便于晶圆后续切割以及其它构装工艺的进行，但是，目前的对晶圆的边缘进行解胶的速度较慢，不太利于生产的进行。
[0003]现有的，例如公开号CN203871309U于2014年10月8日，公开了晶圆解胶装置，仅仅是通过在晶圆解胶装置中设计的驱动组件和驱动转盘，使紫外线LED与待解胶的晶圆间产生相对旋转运动，让晶圆与黏着其底面胶膜间的固结胶得以受到紫外线LED所发出的紫外线均匀照射，而达到良好的晶圆解胶质量。
[0004]因此，专利技术一种用于晶圆边缘解胶的装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是提供一种用于晶圆边缘解胶的装置，以解决技术中紫外线在对晶圆边缘进行解胶时速度较为缓慢导致工作效率不高的问题以及紫外线在对晶圆边缘进行解胶时不能对解胶的过程进行实时的监测导致操作员不能及时的将解胶完成的晶圆拉出。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于晶圆边缘解胶的装置，包括第一箱体、滑槽、传动气缸、第一箱体拉手、热风机、固定板和隔板，所述第一箱体内部安装有晶圆放置盘，所述晶圆放置盘设置于安装底座内部，所述滑槽设置于第一箱体内壁上，所述传动气缸侧面连接于第一箱体和第二箱体内壁上，所述第一箱体内壁安装有计时器板，所述计时器板的数量设置为两个，所述计时器板表面开设有若干个安装槽，所述安装槽内部安装有计时器，所述热风机安装于第二箱体内部，所述热风机底面开设有圆环状出风口，所述第二箱体顶部设置有顶盖，所述顶盖表面安装有橡胶缓冲板，所述隔板设置于热风机顶部。
[0007]优选的：所述第一箱体通过第一连接件和第二连接件连接于第二箱体，所述第一箱体内部的底面上安装有安装底座，便于对计时器板进行安装。
[0008]优选的：所述安装底座内部开设有圆形凹槽，所述圆形凹槽内部设置有紫外线灯，所述紫外线灯的数量设置为若干个，便于紫外线灯发出紫外线对晶圆边缘进行解胶作业。
[0009]优选的：所述晶圆放置盘外部设置有紫外线灯，所述滑槽下方设置有传动气缸，使得紫外线灯可以对晶圆边缘进行解胶作业。
[0010]优选的：所述传动气缸外侧安装有计时器板，所述计时器板内侧设置有晶圆放置
盘，使得计时器可以固定在计时器板。
[0011]优选的：所述安装槽内部的两侧安装有第一缓冲块和第二缓冲块，使得第一缓冲块和第二缓冲块可以对计时器起到一定的缓冲作用。
[0012]优选的：所述第一箱体拉手安装于第一箱体侧面，所述热风机两侧分别设置有第一连接件和第二连接件，所述第一连接件和第二连接件两者互相平行，所述第二箱体上方安装有橡胶缓冲板，便于工作人员对晶圆的解胶过程进行监测。
[0013]优选的：所述橡胶缓冲板侧面设置有连接片，所述连接片紧贴于顶盖上表面，所述连接片表面固定有固定螺丝，使得橡胶缓冲板可以牢固的固定在顶盖上。
[0014]优选的：所述固定板底面设置有热风机，所述固定板的材质是透明的，使得热风机可以不断的向晶圆的边缘吹去热风，加快晶圆边缘的解胶速度。
[0015]在上述技术方案中，本专利技术提供的技术效果和优点：
[0016]通过在第二箱体上方设计的热风机构，热水机构中的热风机吹出的热风由圆环状出风口吹向晶圆的边缘，可以加快紫外线对晶圆边缘解胶的速度，通过设计的光源，将需要进行解胶的晶圆的圆心和晶圆放置盘的圆心进行对应，达到了对心的效果，便于对晶圆的边缘进行解胶；
[0017]通过设计的计时器板、安装槽、第一缓冲块、第二缓冲块和计时器，工作人员可以通过计时器的提醒作用，工作人员可以较为直观的监测紫外线对晶圆的解胶，便于工作人员对晶圆的解胶过程进行实时的监测，可及时的将解胶完成的晶圆拉出；
[0018]通过设计的第一箱体、传动气缸、滑槽和隔板，使得隔板可以在传动气缸的带动下进出第一箱体，便于对需要解胶的晶圆进行送料以及便于对解胶完成的晶圆进行取出。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0020]图2为本专利技术传动气缸的立体结构示意图；
[0021]图3为本专利技术紫外线灯的立体结构示意图；
[0022]图4为本专利技术第二箱体的立体结构示意图；
[0023]图5为本专利技术图1中A处放大的结构示意图；
[0024]图6为本专利技术圆环状出风口的剖视图。
[0025]附图标记说明：
[0026]1、第一箱体；2、安装底座；3、圆形凹槽；4、紫外线灯；5、晶圆放置盘；6、滑槽；7、传动气缸；8、计时器板；9、安装槽；10、第一缓冲块；11、第二缓冲块；12、计时器；13、第一箱体拉手；14、热风机； 15、第一连接件；16、第二连接件；17、第二箱体；18、固定板；19、圆环状出风口；20、顶盖；21、橡胶缓冲板；22、连接片；23、固定螺丝； 24、隔板。
具体实施方式
[0027]为了使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面将结合附图对本专利技术作进一步的详细介绍。
[0028]本专利技术提供了如图1
‑
6所示的一种用于晶圆边缘解胶的装置，包括第一箱体1、滑槽6、传动气缸7、第一箱体拉手13、热风机14、固定板18 和隔板24，第一箱体1内部安装有晶
圆放置盘5，晶圆放置盘5设置于安装底座2内部，滑槽6设置于第一箱体1内壁上，传动气缸7侧面连接于第一箱体1和第二箱体17内壁上，第一箱体1内壁安装有计时器板8，计时器板8的数量设置为两个，计时器板8表面开设有若干个安装槽9，安装槽9内部安装有计时器12，热风机14安装于第二箱体17内部，热风机 14底面开设有圆环状出风口19，第二箱体17顶部设置有顶盖20，顶盖 20表面安装有橡胶缓冲板21，隔板24设置于热风机14顶部。
[0029]第一箱体1通过第一连接件15和第二连接件16连接于第二箱体17，第一箱体1体积稍小于第二箱体17的体积，第一箱体1内部的底面上安装有安装底座2，安装底座2内部开设有圆形凹槽3，圆形凹槽3内部设置有紫外线灯4，紫外线灯4的数量设置为若干个。
[0030]晶圆放置盘5外部设置有紫外线灯4，滑槽6下方设置有传动气缸7，传动气缸7外侧安装有计时器板8，计时器板8内侧设置有晶圆放置盘5，安装槽9内部的两侧安装有第一缓冲块10和第二缓冲块11，第一箱体拉手13安装于第一箱体1侧面，热风机1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆边缘解胶的装置，包括第一箱体(1)、滑槽(6)、传动气缸(7)、第一箱体拉手(13)、热风机(14)、固定板(18)和隔板(24)，其特征在于：所述第一箱体(1)内部安装有晶圆放置盘(5)，所述晶圆放置盘(5)设置于安装底座(2)内部，所述滑槽(6)设置于第一箱体(1)内壁上，所述传动气缸(7)侧面连接于第一箱体(1)和第二箱体(17)内壁上，所述第一箱体(1)内壁安装有计时器板(8)，所述计时器板(8)的数量设置为两个，所述计时器板(8)表面开设有若干个安装槽(9)，所述安装槽(9)内部安装有计时器(12)，所述热风机(14)安装于第二箱体(17)内部，所述热风机(14)底面开设有圆环状出风口(19)，所述第二箱体(17)顶部设置有顶盖(20)，所述顶盖(20)表面安装有橡胶缓冲板(21)，所述隔板(24)设置于热风机(14)顶部。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘解胶的装置，其特征在于：所述第一箱体(1)通过第一连接件(15)和第二连接件(16)连接于第二箱体(17)，所述第一箱体(1)内部的底面上安装有安装底座(2)。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆边缘解胶的装置，其特征在于：所述安装底座(2)内部开设有圆形凹槽(3)，所述圆形凹槽(3)内部设置有紫外线灯(4)，所述紫外...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡章坤，蔡国庆，周鑫，葛凡，张宁宁，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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