一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于硅片加工技术领域，具体涉及一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，包括：石英舟定位机构，篮具定位机构，机械手，所述机械手包括吸盘组，驱动构件；还包括合并机构，所述合并机构被装配为当两机械手携带的硅片相互插合时，能够驱动两机械手的吸盘组沿片状吸盘的法向相互合拢，进而使两者携带的两相邻两硅片贴合。两机械手将各自携带的两组硅片插合时，两组硅片之间互不接触；而当两组硅片插合到位后，合并机构使两吸盘组产生垂直于硅片方向的相对位移，从而使相邻两硅片贴合，以便将硅片两两一组的置于石英舟内，本发明专利技术在硅片转移、贴合过程中，相邻硅片之间不会产生相对摩擦，能够有效避免划痕的产生，提高硅片表面质量。面质量。面质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置


[0001]本专利技术属于硅片加工
，具体涉及一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置。

技术介绍

[0002]太阳能硅片在加工过程中需要将硅片在石英舟和篮具之间进行转移，硅片在篮具中一般是同向摆放，即所有硅片的正面均朝向同一方向，而在石英舟中则是两两为一组，且同组两硅片背对背摆放，以使两硅片的待加工面被裸露。申请号为201510513024 .1的中国专利技术专利《一种全自动石英舟上下料机》公开了一种用于硅片转移的机构，其包括双吸盘组件，双吸盘组件分别抓取两篮具中的硅片，然后双吸盘组件合拢，使两者携带的硅片相互插合，然后将插合为一组的硅片放入石英舟内。上述设备的缺陷在于，吸盘组件并不能沿硅片发法向进行位移，所以为保证两组硅片插合后相邻两硅片之间能够紧密贴合，在插合过程中硅片就已经处于相互贴合的状态了，这会导致两硅片之间产生相对滑动摩擦，严重时可能会在硅片表面产生划痕，这对于硅片的精密加工是及其不利的。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，能够在物料转移过程中避免物料之间产生摩擦，避免物料表面产生划痕。
[0004]本专利技术采取的技术方案具体如下：一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，包括：石英舟定位机构，用于固定石英舟；以及篮具定位机构，分置于石英舟定位机构的两侧，用于固定篮具；机械手，所述机械手包括吸盘组，由多个片状吸盘叠置而成，各片状吸盘相互间隔设置；驱动构件，用于驱动所述吸盘组进行位移，驱动构件被装配为能够驱动吸盘组沿水平和竖直方向平移，且能够驱动吸盘组沿水平轴线翻转，该水平轴线与片状吸盘的盘面垂直；所述机械手设有两组且分置于石英舟定位机构的两侧，两组机械手上的片状吸盘相互交错设置，使各自携带的各硅片之间的缝隙与对方携带的各硅片相对，当两机械手相互靠近时能够使两者携带的硅片交错插合，且两机械手上的片状吸盘分别吸附在相邻两硅片的不同侧；还包括合并机构，所述合并机构被装配为当两机械手携带的硅片相互插合时，能够驱动两机械手的吸盘组沿片状吸盘的法向相互合拢，进而使两者携带的两相邻两硅片贴合。
[0005]所述驱动构件包括摆臂，所述吸盘组沿垂直于片状吸盘的方向滑动设置在摆臂上，所述合并机构包括用于驱动吸盘组相对于摆臂滑动的活塞缸。
[0006]所述活塞缸的一侧腔体以及吸盘组的吸气口分别与截止阀的两个端口连通，所述截止阀具有工位a和工位b，当截止阀处于工位a时能够将所述两端口连通，当截止阀处于工位b时能够将所述两端口断开；所述吸盘组件的吸气口还与真空气源连通且两者之间设有开关阀。
[0007]所述两机械手之间设有一挡块，两机械手上的截止阀的阀芯分别与挡块的两侧相对设置，截止阀上设有驱动阀芯滑动的第一弹簧，当两机械手相互合拢时，所述挡块能够挤压所述阀芯使截止阀由工位b切换至工位a，当两机械手相互远离时，阀芯能够在第一弹簧的作用下由工位a切换至工位b。
[0008]所述摆臂转动设置在第一平移支架上，且第一平移支架上设有驱动摆臂摆动的第一驱动元件；所述第一平移支架滑动设置在第二平移支架上，且第二平移支架与第一平移支架之间设有第二弹簧；所述第二平移支架安装在水平电缸的滑座上；所述截止阀安装在第二平移支架上，当两机械手的第二平移支架相互合拢时，两机械手的第一平移支架先与所述挡块贴合，此时两第二平移支架能够继续合拢一段距离以驱动截止阀由工位b切换至工位a，此时所述第二弹簧被压缩。
[0009]所述吸盘组与摆臂之间设于第三弹簧，第三弹簧作用在吸盘组上的弹力与活塞缸驱动吸盘组滑动时的方向相反。
[0010]所述水平电缸沿竖直方向滑动设置在机架上，且机架上设有用于驱动水平电缸上下运动的第二驱动元件。
[0011]所述挡块固定在水平电缸的中部。
[0012]所述水平电缸上对称固接有两滑块，两滑块与机架上设置的竖直轨道构成滑动配合。
[0013]所述第一驱动元件为伺服电机，所述第二驱动元件为竖直电缸。
[0014]本专利技术取得的技术效果为：本专利技术在现有硅片机械手的基础上增设了合并机构，两机械手将各自携带的两组硅片插合时，两组硅片之间互不接触；而当两组硅片插合到位后，合并机构使两吸盘组产生垂直于硅片方向的相对位移，从而使相邻两硅片贴合，以便将硅片两两一组的置于石英舟内，本专利技术在硅片转移、贴合过程中，相邻硅片之间不会产生相对摩擦，能够有效避免划痕的产生，提高硅片表面质量；本专利技术利用机械手的合拢动作实现对活塞缸的联动控制，当机械手合拢后，能够自动的将活塞缸与真空气源连通，并且活塞缸直接连在吸盘组上，当吸盘组将硅片放在石英舟内以后，吸盘组与真空气源断开，此时活塞缸也与真空气源断开，进而使各片状吸盘沿硅片法向远离硅片，此时再驱动吸盘组上行，能够避免卸料过程中吸盘组与硅片之间产生摩擦；本专利技术将吸盘组设置在第一平移支架上，而第一平移支架与第二平移支架弹性连接，当两吸盘组合拢后，第二平移支架能够继续合拢一段距离以驱动截止阀动作，这样能够保证两组硅片是在完全插合到位后再进行合并，彻底避免相邻硅片之间的相对滑动摩擦。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的实施例所提供的石英舟上下料装置的原理图；
图2是本专利技术的实施例所提供的机械手的主视图；图3是本专利技术的实施例所提供的吸盘组的俯视图；图4是本专利技术的实施例所提供的其中一个机械手的立体结构示意图；图5是本专利技术的实施例所提供的另一个机械手的立体结构示意图；图6是本专利技术的实施例所提供的吸盘组的立体结构示意图。
具体实施方式
[0016]为了使本专利技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本专利技术进行具体说明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本专利技术的一种或几种具体的实施方式，并不对本专利技术具体请求的保护范围进行严格限定。
[0017]如图1所示，一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，包括石英舟定位机构，用于固定石英舟1；篮具定位机构，分置于石英舟定位机构的两侧，用于固定篮具2；机械手，所述机械手包括吸盘组11，由多个片状吸盘111叠置而成，各片状吸盘111相互间隔设置；驱动构件，用于驱动所述吸盘组11进行位移，驱动构件被装配为能够驱动吸盘组11沿水平和竖直方向平移，且能够驱动吸盘组11沿水平轴线翻转，该水平轴线与片状吸盘111的盘面垂直；所述机械手设有两组且分置于石英舟定位机构的两侧，两组机械手上的片状吸盘111相互交错设置，使各自携带的各硅片3之间的缝隙与对方携带的各硅片3相对，当两机械手相互靠近时能够使两者携带的硅片3交错插合，且两机械手上的片状吸盘111分别吸附在相邻两硅片3的不同侧；还包括合并机构，所述合并机构被装配为当两机械手携带的硅片3相互插合时，能够驱动两机械手的吸盘组11沿片状吸盘111的法向相互合拢，进而使两者携带的两相邻两硅片3贴合。本专利技术在现有硅片机械手的基础上增设了合并机构，两机械手将各自携带的两组硅片3插合时，两组硅片3之间互不接触，如图3下方的局部放大图所示；而当两组硅片3插合到位后，合并机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于，包括：石英舟定位机构，用于固定石英舟；以及篮具定位机构，分置于石英舟定位机构的两侧，用于固定篮具；机械手，所述机械手包括吸盘组，由多个片状吸盘叠置而成，各片状吸盘相互间隔设置；驱动构件，用于驱动所述吸盘组进行位移，驱动构件被装配为能够驱动吸盘组沿水平和竖直方向平移，且能够驱动吸盘组沿水平轴线翻转，该水平轴线与片状吸盘的盘面垂直；所述机械手设有两组且分置于石英舟定位机构的两侧，两组机械手上的片状吸盘相互交错设置，使各自携带的各硅片之间的缝隙与对方携带的各硅片相对，当两机械手相互靠近时能够使两者携带的硅片交错插合，且两机械手上的片状吸盘分别吸附在相邻两硅片的不同侧；还包括合并机构，所述合并机构被装配为当两机械手携带的硅片相互插合时，能够驱动两机械手的吸盘组沿片状吸盘的法向相互合拢，进而使两者携带的两相邻两硅片贴合。2.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述驱动构件包括摆臂，所述吸盘组沿垂直于片状吸盘的方向滑动设置在摆臂上，所述合并机构包括用于驱动吸盘组相对于摆臂滑动的活塞缸。3.根据权利要求2所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述活塞缸的一侧腔体以及吸盘组的吸气口分别与截止阀的两个端口连通，所述截止阀具有工位a和工位b，当截止阀处于工位a时能够将所述两端口连通，当截止阀处于工位b时能够将所述两端口断开；所述吸盘组件的吸气口还与真空气源连通且两者之间设有开关阀。4.根据权利要求3所述的用于太阳能硅片加工的石英舟上下料装置，其特征在于：所述两机械手之间设有一挡块，两机械手上的截止阀的阀芯分别与挡块的两侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯显火，
申请(专利权)人：江苏泰明易自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：